203821. lajstromszámú szabadalom • Pozícionálóberendezés félvezetőelemek előállításához
1 HU 203 821 B 2 A találmány tárgya pozicionálóberendezés félvezető elemek előállításához, különösen huzalkivezetések előállításához, melynél a félvezető elemek pozicionálása egy x-y mozgatható tárgyasztalon történik. Különféle pozicionálóberendezések ismeretesek, például a Delvotec S. A., München cég, a Laser Optronic, München és a Schneeberger AG., Svájc cég berendezései, melyek egy x- és y-meghajtással ellátott mozgatható tárgyasztalból állnak, ahol a hajtások, illetve a megvezetések tengelyei egymáshoz képest 90*-ban vannak elhelyezve. Az egyik hajtótengely ezeknél hozzá van erősítve az állványhoz, a másik berendezés viszont mozgatható. Ezeknél a megoldásoknál mindig egy nagy tömeget kell mozgatni, mely a munka sebességét korlátozza. A hajtó- és megvezetőtengelyek egymáshoz képesti 90°-os elrendezése miatt ezeknek a berendezéseknek nagy a helyigénye. A találmány célja félvezető elemek előállítására alkalmas olyan pozicionálóberendezés kialakítása, mely lehetővé teszi a kivezető érintkezők megfelelően pontos kialakítását, továbbá az optimálisan nagy munkavégzési sebességet és hely takarékos kialakítást. A találmány feladata tehát egy olyan félvezető elemek előállításánál alkalmazható pozicionálóberendezés kialakítása, melynél csak csekély tömeget mozgatunk, és amelyet jól be lehet illeszteni a félvezető elemek előállításánál használatos berendezések közé. A feladat megoldásánál egy olyan pozicionálóberendezésből indultunk ki, mely egy x- és y-hajtóegységgel rendelkező, mozgatható tárgyasztalt tartalmaz. A találmány szerint a kitűzött feladatot olyan pozicionálóberendezés kialakításával oldottuk meg, melynél a megtett utat mérő rendszerekkel ellátott hajtómotorokból álló hajtóegységek egymással párhuzamosan vannak elhelyezve. Az x-hajtómotor a hozzá tartozó útmérő rendszerrel együtt egy alaplemez egyik oldalánál mereven hozzá van erősítve az állványzathoz, mely alaplemez a hajtóorsó csapágyazását is tartja. A hajtóorsón található egy elfordulás ellen egy megvezetőcsappal biztosított hajtóanya, mely a hajtótengely forgatásakor a hajtóanyát hosszirányban mozgatja. Az alaplemezen található továbbá egy függőleges csapágyazás, mely egy beállítható emelőkart tart, az emelőkarban egy hengertest található, és a gördülőcsapágy úgy van elrendezve, hogy az megfelel a hajtóanya homlokfelületének. Ezenkívül a csapágyazáson található egy második beállítható emelőkar és annak végénél egy gördülőcsapágy, és a második emelőkar az első emelőkarhoz képest 90°-kal eltolva van elrendezve, továbbá a második emelőkar a saját gördülőcsapágyán keresztül össze van kötve a mozgatható tárgyasztal csatlakozódarabjával. A hajtóanya és az azzal összekötött emelőkar, valamint a mozgatható tárgyasztal csatlakozódarabja a második hozzátartozó emelőkarral együtt két- két rugóval egymásnak van feszítve erőzáró kialakítással. Az y-hajtőegység, mely az útmérő rendszerrel ellátott y-hajtómotorból áll, szintén mereven van egy alaplemezhez hozzáerősítve, amelyhez ezenkívül a hajtóorsó csapágya is fel van szerelve. A hajtóorsón van elhelyezve továbbá egy hajtóanya, mely elfordulás ellen egy vezetőcsappal van biztosítva. Egy, az alaplemezhez erősített függőleges csapágyazás egy kétkarú emeltyűt tart, melynél a főkar egy, a tartókarban található hengertesttel rendelkezik, mely a hajtóanya homlokoldalával van összekapcsolva. A főtartó végénél egy gördülőcsapágy-pár van elrendezve, mely a mozgatható tárgyasztalra szerelt és az x- koordinátával párhuzamosan elhelyezkedő vezetősínnel kapcsolódik. A főkar ezenkívül két rugón keresztül a hajtóanyával erőzáróan kapcsolódik. Egy, a főkarban csapágyazott második emelőkar, mely végénél egy, a vezetősínnel együttműködő hengertesttel rendelkezik, egy feszítőrugón, egy feszítőcsavaron és egy beállítócsavaron keresztül hozzá van feszítve a főkarhoz. Az x-hajtás mozgásakor a hajtóanya hosszirányú mozgását a szögben meghajlított emelkőkaros hajtás a hajtóorsó tengelyéhez képest derékszögben eltéríti és a mozgatható tárgyasztal x-megvezetésére viszi át, ahol az emelőkar-pár átviteli aránya a mozgatható tárgyasztal optimális mozgatási tulajdonságaihoz van illesztve. A vezetősínek, mint az y-hajtás átviteli tagjai ezenközben a mozgatható tárgyasztal x-megvezetésével pontosan párhuzamosan helyezkednek el, úgy, hogy az x-koordináta hajtásakor a vezetősínek az y-koordináta hajtókar-párjában fognak elcsúszni. Az y-hajtóegység mozgásakor a hajtóanya hosszirányú mozgása az x-hajtás átviteli viszonyaihoz hasonlóan a kétkarú emeltyűn keresztül a mozgatható tárgyasztal optimális mozgási tulajdonságaihoz illesztve lesznek átvíve. A találmány szerinti pozicionálóberendezést az alábbiakban kiviteli példa kapcsán a mellékelt rajz alapján ismertetjük részletesebben, ahol az 1. ábrán a találmány szerinti pozicionálóberendezés egészében látható felülnézetben; a 2. ábrán az x-hajtóegység látható felülnézetben; a 3. ábrán a hajtóanya és emelőkar rugós feszítésének nézete látható; a 4. ábrán a mozgatható tárgyasztalnál és az emelőkarnál a csatlakozódarab rugós megfeszítésének nézete látható; az 5. ábrán az y-hajtóegység látható felülnézetben; a 6. ábrán a hajtóanya és a kétkarú emeltyű rugós feszítésének nézete látható; a 7. ábrán az emelőkar nézete látható a gördülőcsapágypárral együtt. A találmány szerinti pozicionálóberendez és egy az x-koordinátához és egy, az y-koordinátához tartozó hajtóegységgel ellátott mozgatható tárgyasztalból áll. Az x-koordinátához tartozó hajtóegység egy 1 útmérő rendszerrel ellátott x-hajtómotorból áll, mely 2 alaplemezen peremezéssel van felerősítve és 3 csapágyazásból áll, mely 5 hajtóorsót tart, melyre 6 hajtóanya van felszerelve oly módon, hogy 7 vezetőcsappal elfordulás ellen biztosítva van, és egy 4 nyomásszabályozó 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 % 6Q 1 2
