203821. lajstromszámú szabadalom • Pozícionálóberendezés félvezetőelemek előállításához
1 HU 203 821 B 2 tengelykapcsoló köti össze az 1 útmérő rendszerrel ellátott x-hajtómotort és az 5 hajtóorsót. A 2 alaplemezen egy 8 függőleges csapágyazás, melyet hengeres persely formájában lehet kialakítani, egy 10 gördülőcsapággyal ellátott beállítható 9 emelőkart és egy második 12 gördülócsapággyal ellátott, beállítható 11 emelőkart tart, ahol az utóbbi 11 emelőkar az előbbi 9 emelőkarhoz képest 90*-ban el van forgatva, a 9 emelőkar a 6 hajtóanyával két darab 14 rugóval, all emelőkar pedig az x-megvezetés 13 csatlakozó darabjával két darab 15 nigóval erőzáróan van megfeszítve. Az x-hajtás mozgatása során a 6 hajtóanya hosszirányú mozgását az egymáshoz képest 90*-kal elforgatott helyzetben lévő 9, illetve 11 emelőkarokkal kialakított szögben elrendezett emelőim! segítségével függőlegesen az 5 hajtóorsóra térítjük el és egy 16 mozgatható tárgyasztal x-megvezetésére visszük át, melynél az emelőkar-pár átviteli aránya a 16 mozgatható táigy asztal optimális mozgási tulajdonságainak megfelelően van megválasztva. Az y-koordinátához tartozó hajtóegység egy 17 útmérő rendszerrel ellátott y-hajtómotorból áll, mely a 18 alaplemezhez van peremezéssel hozzáerősítve, és egy 19 csapágyazásból áll, mely egy 21 hajtóorsót fog fel, melyre egy 22 hajtóanya van felerősítve és a 22 hajtóanya 23 vezetőcsap segítségével elfordulás ellen biztosítva van, továbbá egy 20 nyomásszabályozó tengelykapcsoló köti össze egymással a 17 útmérő rendszerrel ellátott y-hajtómotort és a 21 hajtóorsót. Egy 24 függőleges csapágyazás, melyet hengeres persely formájában lehet kialakítani, egy beállítható 25 kétkarú emeltyűt tart, melynek 26 főkaija egy 27 gördülőcsapággyal van ellátva, a 22 hajtóanya két 32 rugóval van megfeszítve és egy további 28 gördülőcsapágy-párt tart. Egy második 30 emelőkar, mely a 26 főkaron van csapágyazva, hasonló módon egy 31 gördülőcsapágyat hordoz és a 26 főkarral, egy 34 feszítőcsavarral és egy 33 feszítőrugóval van megfeszítve, a 28 gördülőcsapágy-pár és a 31 gördülőcsapágy között pedig egy 35 beszabályozó csapszeg biztosítja a kívánt távolságot, mely a 16 mozgatható tárgyasztalra erősített 29 vezetősínnel összeköttetésben áll. A 29 vezetősín a 16 mozgatható tárgyasztal x-megvezetésével pontosan párhuzamosan van elrendezve és a 24 függőleges csapágyazás és az orsótengely, valamint a 24 függőleges csapágyazás és a 28 gördülőcsapágy-pár közötti távolságok képezik azt az átviteli arányt, mely az x-hajtáshoz hasonlóan a 16 mozgatható tárgyasztal optimális mozgási tulajdonságainak megfelelően van megválasztva. A 2 alaplemeznek és az emelőkarrendszemek 36 és 37 rugókkal történő további megfeszítése kiegyenlíti az 5 hajtóorsó és a 6 hajtóanya közötti esetleges játékot SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Pozicionálóberendezés félvezető elemek előállításához, különösen huzalos kivezetéseket előállító készülékekhez, ahol a pozicionálóberendezés egy x-koordinátához tartozó hajtóegységgel és egy az y-koordinátához tartozó hajtóegységgel ellátott mozgatható tárgyasztalból áll, azzal jellemezve, hogy mindkettő útmérő rendszerrel ellátott hajtómotorból álló hajtóegységei egymással párhuzamosan helyezkednek el, az útmérő rendszerrel ellátott x-hajtómotor (1) egy alaplemez (2) egyik oldalánál van peremezéssel felerősítve, az alaplemez (2) egy hajtóorsóhoz (5) egy csapágyazást (3) tart, a hajtóorsóra (5) egy hajtóanya (6) van felerősítve, mely elfordulás ellen vezetőcsappal (7) van biztosítva, az alaplemezhez (2) egy függőleges csapágyazás (8) van erősítve, melyen egy emelőkarban (9) található gördülőcsapággyal (10) ellátott beállítható emelőkar (9) található, ahol a gördülőcsapágy (10) teste úgy van elrendezve, hogy az a hajtőanya (6) homlokoldalával kapcsolódik, a függőleges csapágyazáson (8) egy gördülőcsapággyal (12) ellátott második, beállítható emelőkar (11) található és a gördülőcsapágy (12) az emelőkar (11) végénél van elrendezve, mely az első emelőkaihoz (9) képest 90*-kal el van forgatva, az emelőkar (11) a gördülőcsapágyon (12) keresztül egy csatlakozó darabbal (13) kapcsolódik, az emelőkar (9) két rugóval (14) a hajtóanyához (6), a másik emelőkar (11) pedig a mozgatható tárgyasztal (16) x-megvezetésének csatlakozó darabjához (13) másik két rugóval (15) erőzáróan van hozzáfeszítve, az útmérő rendszerrel ellátott y- hajtómotor (17) egy alaplemez (18) egyik oldalánál peremezéssel van felerősítve, az alaplemez (18) egy hajtóorsó (21) számára egy csapágyazással (19) van ellátva, a hajtóorsón (21) egy elfordulás ellen vezetőcsappal (7) biztosított hajtóanya (22) található, az alaplemezhez (18) egy függőleges csapágyazás (24) révén a kétkarú emeltyű (25) van felfogva, melynek főkaija (26) egy, a főkarban (26) található gördülőcsapággyal (10) van ellátva, mely a hajtóanya (22) homlokfelületével kapcsolódik, a főkar (26) végénél egy gördülőcsapágy-pár (28) van elrendezve, mely egy, a mozgatható tárgyasztalra (16) erősített és az x-koordinátával párhuzamosan elrendezett vezetősínnel (29) kapcsolódik, a főkar (26) két rugón (32) keresztül a hajtóanyával (22) erőzáróan van hozzáfeszítve, egy, a főkarban (26) csapágyazott és a kétkarú emeltyű (25) második emelőkarja (30), melynek végénél egy, a vezetősínnel (29) kapcsolódó gördülőcsapágy (31) van elrendezve, egy feszítőrugón (33), egy feszítő csapszegen (34) és egy beszabályozó csapszegen (35) keresztül hozzá van feszítve a főkarhoz (26). 2. Az 1. igénypont szerinti pozicionálóberendezés, azzal jellemezve, hogy az x- és y-hajtóegységek emelőd karrendszereinek áttételi aránya a mozgatható tárgyasztal (16) optimális mozgási paramétereinek megfelelően választhatók meg. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 3