203821. lajstromszámú szabadalom • Pozícionálóberendezés félvezetőelemek előállításához

1 HU 203 821 B 2 tengelykapcsoló köti össze az 1 útmérő rendszerrel ellátott x-hajtómotort és az 5 hajtóorsót. A 2 alaplemezen egy 8 függőleges csapágyazás, melyet hengeres persely formájában lehet kialakítani, egy 10 gördülőcsapággyal ellátott beállítható 9 emelő­kart és egy második 12 gördülócsapággyal ellátott, beállítható 11 emelőkart tart, ahol az utóbbi 11 emelő­kar az előbbi 9 emelőkarhoz képest 90*-ban el van forgatva, a 9 emelőkar a 6 hajtóanyával két darab 14 rugóval, all emelőkar pedig az x-megvezetés 13 csat­lakozó darabjával két darab 15 nigóval erőzáróan van megfeszítve. Az x-hajtás mozgatása során a 6 hajtóanya hosszirá­nyú mozgását az egymáshoz képest 90*-kal elforgatott helyzetben lévő 9, illetve 11 emelőkarokkal kialakított szögben elrendezett emelőim! segítségével függőlege­sen az 5 hajtóorsóra térítjük el és egy 16 mozgatható tárgyasztal x-megvezetésére visszük át, melynél az emelőkar-pár átviteli aránya a 16 mozgatható táigy asz­tal optimális mozgási tulajdonságainak megfelelően van megválasztva. Az y-koordinátához tartozó hajtóegység egy 17 út­mérő rendszerrel ellátott y-hajtómotorból áll, mely a 18 alaplemezhez van peremezéssel hozzáerősítve, és egy 19 csapágyazásból áll, mely egy 21 hajtóorsót fog fel, melyre egy 22 hajtóanya van felerősítve és a 22 hajtóa­nya 23 vezetőcsap segítségével elfordulás ellen biztosí­tva van, továbbá egy 20 nyomásszabályozó tengely­­kapcsoló köti össze egymással a 17 útmérő rendszerrel ellátott y-hajtómotort és a 21 hajtóorsót. Egy 24 függőleges csapágyazás, melyet hengeres persely formájában lehet kialakítani, egy beállítható 25 kétkarú emeltyűt tart, melynek 26 főkaija egy 27 gör­dülőcsapággyal van ellátva, a 22 hajtóanya két 32 ru­góval van megfeszítve és egy további 28 gördülőcsa­págy-párt tart. Egy második 30 emelőkar, mely a 26 főkaron van csapágyazva, hasonló módon egy 31 gördülőcsapágyat hordoz és a 26 főkarral, egy 34 feszítőcsavarral és egy 33 feszítőrugóval van megfeszítve, a 28 gördülőcsa­­págy-pár és a 31 gördülőcsapágy között pedig egy 35 beszabályozó csapszeg biztosítja a kívánt távolságot, mely a 16 mozgatható tárgyasztalra erősített 29 vezető­sínnel összeköttetésben áll. A 29 vezetősín a 16 mozgatható tárgyasztal x-meg­­vezetésével pontosan párhuzamosan van elrendezve és a 24 függőleges csapágyazás és az orsótengely, vala­mint a 24 függőleges csapágyazás és a 28 gördülőcsa­págy-pár közötti távolságok képezik azt az átviteli arányt, mely az x-hajtáshoz hasonlóan a 16 mozgatható tárgyasztal optimális mozgási tulajdonságainak megfe­lelően van megválasztva. A 2 alaplemeznek és az emelőkarrendszemek 36 és 37 rugókkal történő további megfeszítése kiegyenlíti az 5 hajtóorsó és a 6 hajtóanya közötti esetleges játékot SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Pozicionálóberendezés félvezető elemek előállí­tásához, különösen huzalos kivezetéseket előállító ké­szülékekhez, ahol a pozicionálóberendezés egy x-koor­­dinátához tartozó hajtóegységgel és egy az y-koordiná­tához tartozó hajtóegységgel ellátott mozgatható tár­gyasztalból áll, azzal jellemezve, hogy mindkettő útmé­rő rendszerrel ellátott hajtómotorból álló hajtóegységei egymással párhuzamosan helyezkednek el, az útmérő rendszerrel ellátott x-hajtómotor (1) egy alaplemez (2) egyik oldalánál van peremezéssel felerősítve, az alaple­mez (2) egy hajtóorsóhoz (5) egy csapágyazást (3) tart, a hajtóorsóra (5) egy hajtóanya (6) van felerősítve, mely elfordulás ellen vezetőcsappal (7) van biztosítva, az alaplemezhez (2) egy függőleges csapágyazás (8) van erősítve, melyen egy emelőkarban (9) található gördülő­­csapággyal (10) ellátott beállítható emelőkar (9) találha­tó, ahol a gördülőcsapágy (10) teste úgy van elrendezve, hogy az a hajtőanya (6) homlokoldalával kapcsolódik, a függőleges csapágyazáson (8) egy gördülőcsapággyal (12) ellátott második, beállítható emelőkar (11) találha­tó és a gördülőcsapágy (12) az emelőkar (11) végénél van elrendezve, mely az első emelőkaihoz (9) képest 90*-kal el van forgatva, az emelőkar (11) a gördülőcsa­págyon (12) keresztül egy csatlakozó darabbal (13) kap­csolódik, az emelőkar (9) két rugóval (14) a hajtóanyá­hoz (6), a másik emelőkar (11) pedig a mozgatható tárgyasztal (16) x-megvezetésének csatlakozó darabjá­hoz (13) másik két rugóval (15) erőzáróan van hozzáfe­szítve, az útmérő rendszerrel ellátott y- hajtómotor (17) egy alaplemez (18) egyik oldalánál peremezéssel van felerősítve, az alaplemez (18) egy hajtóorsó (21) számá­ra egy csapágyazással (19) van ellátva, a hajtóorsón (21) egy elfordulás ellen vezetőcsappal (7) biztosított hajtóanya (22) található, az alaplemezhez (18) egy füg­gőleges csapágyazás (24) révén a kétkarú emeltyű (25) van felfogva, melynek főkaija (26) egy, a főkarban (26) található gördülőcsapággyal (10) van ellátva, mely a hajtóanya (22) homlokfelületével kapcsolódik, a főkar (26) végénél egy gördülőcsapágy-pár (28) van elrendez­ve, mely egy, a mozgatható tárgyasztalra (16) erősített és az x-koordinátával párhuzamosan elrendezett vezető­sínnel (29) kapcsolódik, a főkar (26) két rugón (32) keresztül a hajtóanyával (22) erőzáróan van hozzáfe­szítve, egy, a főkarban (26) csapágyazott és a kétkarú emeltyű (25) második emelőkarja (30), melynek végé­nél egy, a vezetősínnel (29) kapcsolódó gördülőcsapágy (31) van elrendezve, egy feszítőrugón (33), egy feszítő csapszegen (34) és egy beszabályozó csapszegen (35) keresztül hozzá van feszítve a főkarhoz (26). 2. Az 1. igénypont szerinti pozicionálóberendezés, azzal jellemezve, hogy az x- és y-hajtóegységek emelőd karrendszereinek áttételi aránya a mozgatható tárgyasz­tal (16) optimális mozgási paramétereinek megfelelően választhatók meg. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 3

Next

/
Thumbnails
Contents