199036. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető alkatrészek szereléséhez
13 HU 199036 B 14 végrehajtás után történő egyidejű elmozdítása lehetővé teszi annak elkerülését, hogy repedések keletkezzenek a 22 huzalnak az első bondolási kötéssel való átmeneti helyén, vagyis kizárható a félvezető eszközök szerelésekor leggyakrabban képződő hiba, ami egyébként a 22 huzal többszörös hajlitása miatt alakulna ki ezen a helyen. Ezenkívül a 22 huzalnak olyan erővel való áthúzása, amely visszamaradó alakváltozást okoz a 8 görbitési helyen, lehetővé teszi az 5 áthidalásoknak a kívánt formában és pontosan ismételhetően való előállítását. A 8 görbitési helynek a helye, valamint az emelkedő 7 szakasz és a süllyedő 9 szakasz vízszintes síkhoz viszonyított dőlési szöge változtatható, amelynek különösen nagy jelentősége van olyan félvezető eszközök szerelésekor, amelyeknél a 3 tokozat és a 4 félvezető morzsa 1 és 2 bondolási helyei között viszonylagosan nagy magasságkülönbség van. Elérhetővé válik, hogy a félvezető eszközök szerelésének minősége lényegesen megjavuljon az olyan hiba okok kizárása miatt, mint például a 22 huzalnak a 4 félvezető morzsa 2 bondolási helyét környező vezetópályákkal való rövidre záródása. Igen fontos az a körülmény is, hogy az 5 áthidalás kialakítása sorén a 6 bondoló szerszám olyan pályát ír le, amely teljesen megegyezik az 5 áthidalás alakjával, ami lényeges mértékben lecsökkenti a félvezető eszközök 1 bondolási helyei között kialakítandó áthidalások létrehozásához szükséges időt. A legtöbb félvezető eszközzel szemben igen magas követelményeket állítanak a szerelési megbízhatóság tekintetében, és ehhez szükség van az áthidalások szilárdsági tulajdonságainak roncsolásmentes vizsgálatára. Ennek megvalósításához a 22 huzalnak a 6 bondoló szerszám által a második 2 bondolási helyhez való csatlakoztatása után a 18 hajtószerkezet a 6 bondoló szerszámot 40 vezérlő egység (3. ábra) 43 kimenetén kiadott utasítás hatására kiindulási helyzetébe vezeti vissza. Ezzel egyidejűleg a 40 vezérlő egység (3. ábra) 51 kimenetén utasítást ad a 39 hajtószerkezetnek, (2. ábra) amely a 11 koordináta asztalt a rajta elhelyezett félvezető eszközzel együtt lesüllyeszti. Ennek során azzal összefüggésben, hogy a. 32 huzalrögzitő egység 33 munkaeleme, mégpedig a 67 rúd harmadik 70 szakasza (4. ábra) a 8 görbitési helyen található P húzóerőt gyakorol erre a 8 görbitési helyre. A félvezető eszközzel együtt lesüllyed az 5 áthidalás és meggörbül a húzóerőt mérő 72 mérőegység 73 rugalmas eleme (5. ábra). A 73 rugalmas elem elmozdulásának mértéke a 73 rugalmas elemhez társított 74 útadó segítségével határozható meg és ebből viszont az 5 áthidalásra gyakorolt húzóerő határozható meg (4. ábra). A húzóerő a 32 huzalrögzitő egység 33 munkaelemének felfelé történő elmozdítása révén is létrehozható (2. ábra), ha közben a 11 koordináta asztal állva marad. Az 5 áthidalások kialakításakor a bondőlt kötéseknek a 22 huzalhoz való átmeneti helyein, valamint a 8 görbitési hely közelében a 22 huzal rugalmas tulajdonságai következtében radiális görbületek alakulnak ki. Ennek következtében a húzóerő növekedésével a kezdeti időben a 22 huzal megnyúlik a rugalmas alakítási tartományban és a húzóerő további növekedése során a 22 huzal kigörbül a bondolási kötésekhez viszonyítva az 1, 2 bondolási helyek környezetében, továbbá a 67 rúd (4. ábra) harmadik 70 szakaszához viszonyítva, amely a 22 huzalt a 8 görbitési helyen rögzíti, és ezáltal maradandó alakváltozást hoz létre az 5 áthidaláson, aminek következtében annak emelkedő 7 szakasza és süllyedő 9 szakasza egyenes vonalúvá vélik. Az 5 áthidalás további terhelése során újból rugalmas alakváltozás következik be. Ha a húzóerő értéke akkorára növekszik, hogy az 5 áthidalás ismételten maradandó plasztikus alakváltozást szenved, akkor egyúttal el is szakadhat. Ezért az 5 áthidalásra célszerűen akkora . húzóerőt kell gyakorolni, amely nem haladja túl azt az értéket, amely ismételten maradandó alakváltozást hoz létre. Ennek a húzóerőnek azonban legalább akkora értékűnek kell lennie, hogy alkalmas legyen az alacsony szilárdsági tulajdonságú bondolt kötések kiszűréséhez. A találmány szerinti berendezés lehetővé teszi, hogy egy 5 áthidalás kialakításával egyidejűleg roncsolásmentesen megvizsgálhassuk annak szilárdsági tulajdonságait megfelelő mértékű húzóerőnek az 5 áthidalásra való gyakorlása révén. Ennek végrehajtásához a 22 huzalnak az első 1 bondolási helyhez való csatlakoztatása után (2. ábra) a 22 huzal áthúzása olyan sebességgel történik, hogy az első 1 bondolási helytől emelkedő 7 szakasznak és a második 2 bondolási hely felé süllyedő 9 szakasznak megfelelő áthúzási pálya, és ezzel egyidejűleg a 6 bondoló szerszám mozgáspálya, azonos cC szögű dőléssel rendelkezzék a vízszintes síkhoz képest (1. ábra). Az előírt értékű P húzóerő elérésének pillanatában a húzóerő mérését végző 72 mérőegységről, pontosabban a 73 rugalmas elemhez társított 74 útadóról megfelelő információ érkezik a 40 vezérlő egység 75 bemenetére (3. ábra), aminek hatására a 40 vezérlő egység 51 kimenetén át utasítást ad ki a 39 hajtószerkezet mozgásénak beszüntetésére (2. ábra). Ekkor a P húzóerő 5-10 msec ideig hat az 5 áthidalásra. Ezen behatási idő alatt a 40 vezérlő egységre (3. ábra) 75 bemenetén át a 73 rugalmas elemhez társított 74 útadóról az erő nagyságára jellemző információ kerül. Ha az érzékelés egyenlőtlenül változó, csökkenő húzóerőt mutat, akkor ez azt jelenti, hogy az 5 áthidalás (2. ábra) nem 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 9
