199036. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető alkatrészek szereléséhez
15 HU 199036 B 16 állja ki a húzóerőt, vagyis elszakad. Ha azonban a 40 vezérlő egységre kerülő információ nem jelent egyenlőtlenül csökkenő húzóerőt, akkor ez azt jelenti, hogy az 5 áthidalás szilárdsági tulajdonságai megfelelőek. Ha az 5 áthidalás nem bírja ki az előírt húzóerőt, akkor a 40 vezérlő egység 47 kimenetén át utasítást ad a 34 hajtószerkezetnek a 32 huzalrögzítő egység elmozdítására. Ezen elmozdulás felfelé irányul egészen a munkaállás eléréséig, és az 51 kimeneten át kiadott utasítás hatására a 39 hajtószerkezet a 11 koordináta asztalt kiindulási helyzetbe állítja. Ezzel egyidejűleg a 40 vezérlő egység 65 kimenetén át utasítást ad az 59 elektromágnes bekapcsolására, amelynek 60 horgonya elbillenti a kétkarú és L alakú 63 emeltyűt a 61, 6? csapokon. Az elbillenés sorén a 67 rúd (4. ábra) 70 szakasza kiemelkedik az 5 áthidalás alól. Ezután a félvezető eszközt leveszik a 11 koordináta asztalról és újabb félvezető eszközzel helyettesítik. Ezután a munkaművelet megismétlődik. Ha az 5 áthidalás kiállta a húzóerőt, akkor a 40 vezérlő egység az 51 kimeneten ét utasítást ad a 11 koordináta asztal 39 hajtószerkezetének, amely a 11 koordináta asztalt kiindulási állapotba viszi vissza. Ezután kikapcsolódik az 59 elektromágnes, a 60 horgony elbillenti a kétkarú L alakú 63 'emeltyűt a 61, 62 csapokon és a 33 munkaelem 67 rúdjának harmadik 70 szakasza (4. ábra) kicsúszik az 5 áthidalás alól. Ezzel egyidejűleg a 40 vezérlő egység olyan utasításokat ad ki a 47 és 42 kimeneteken át, amelyek a 34 hajtószerkezetet működésbe hozzák és a 32 huzalrőgzitő egységet munkahelyzetbe, valamint a 15 hajtószerkezet segítségével a 14 kocsit kiindulási állapotba mozdítják. A 40 vezérlő egység 48, 49 és 50 kimenetein kiadott parancsok hatására a 11 koordináta asztal a 36, 37 és 38 hajtószerkezetek behatására a félvezető eszközt az x, y és z koordináták mentén elmozdítja oly módon, hogy a 6 bondoló szerszám függőleges középvonala egybe essen a félvezető eszköz tokozatának következő bondolási helyével. A továbbiakban megismétlődik az áthidalás kialakítására szolgáló munkaciklus, valamint a létrehozott áthidalás szilárdságát roncsolásmentesen vizsgáló ciklus. A találmány szerinti megoldás lehetővé teszi olyan áthidalások kialakítását, a félvezető eszköz bondolási helyei között, amelynek szakaszai azonos szöget zárnak be a vízszintes síkkal. Az áthidalásra közvetlen előállítása után gyakorolt húzóerő alkalmazásával garantált szilárdsági tulajdonságokkal rendelkező áthidalások alakíthatók ki, amelyek mindegyike ugyanakkora húzóerő alkalmazásával kerül ellenőrzésre és a húzóerő hatására az áthidalás alakja nem változik nagymértékben. Ennek következtében nem alakulnak ki mikrorepedések a huzal és a bondolási kötés átmeneti helyein, ami viszont javítja a félvezető eszköz szerelési jóságát. Az áthidalás kialakításakor a huzalrögzítő egység együttműködik a huzallal és egyúttal húzóerőt gyakorol az áthidalásra. Ezzel lehetővé válik, hogy a találmány szerinti eljárás és berendezés nagy alkatrész sűrűsége félvezető eszközök szereléséhez legyen alkalmazható, amely más megoldásokkal nem lehetséges, mivel ezt a szomszédos áthidalások lehetetlenné teszik. Miközben az áthidalás szilárdsági tulajdonságainak ellenőrzése céljából megtörténik a húzóerőnek az áthidalásra történő gyakorlása, aközben a bondoló szerszám visszatér kiindulási helyére. Ez az időzítés lehetővé teszi a félvezető eszköz szerelési gyorsaságának növelését. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás félvezető eszközök szereléséhez, amelynek során a félvezető eszköz tokozatának és félvezető morzsájának bondolási helyei között huzalból áthidalást alakítunk ki oly módon, hogy a huzalt bondoló szerszám segítségével a bondolási helyek közül az elsőhöz rögzítjük, majd a huzalt a bpndoló szerszámmal áthúzzuk a második bondolási helyhez, és ahhoz csatlakoztatjuk, azzal jellemezve, hogy a huzalt (22) olyan pálya mentén húzzuk át, amely meghatározza az áthidalás (5) alakját, amely pályának az első bondolási helytől (1) emelkedő szakasza (7), górbitési helye (8), és a második bondolási hely (2) felé süllyedő szakasza (9) van, és az áthidalás (5) kialakítása során a huzalt (22) a görbítési helyen (8) rögzítjük és a második bondolási hely (2) felé süllyedő szar kaszt (9) akkora erő alkalmazásával alakítjuk ki, amely maradandó, plasztikus deformációt okoz a huzalban (22) a görbítési helyen (8). 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a huzal (22) áthúzását olyan pálya mentén végezzük, hogy az áthidalás (5) emelkedő szakasza (7) és süllyedő szakasza (9) egymással egyforma szöget (oC) zár be a vonatkozó bondolási hellyel (1, ill. 2), továbbá a huzalnak (22) a második bondolási helyhez (2) való rögzítése után a bondoló szerszámot (6) kiindulási állapotba vezetjük vissza és ezzel egyidejűleg görbítési helyre (8) akkora erőt (P) gyakorolunk, mely maradandó alakváltozást hoz létre az áthidalásban (5), majd azután a húzóerőt (P) megszüntetjük. 3. Berendezés az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, amelynek alaplapja, az alaplapon elrendezett és félvezető eszközök elhelyezésére alkalmas koordináta asztala, valamint kocsija van és a kocsihoz az alaplaphoz viszonyítva kétirányú és a koordináta asztal egyik vízszintes tengelyével párhuzamos elmozdulást létrehozó hajtószerkezet, valamint bondolófej csatlakozik, és a bondolófej függőleges síkban működő hajtó5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 10
