199036. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető alkatrészek szereléséhez
7 HU 199036 B 8 áthidalások garantált szilárdsági tulajdonságokkal rendelkeznek. A találmány szerinti megoldás előnyös tulajdonsága, hogy az áthidalás ellenőrzése céljából a húzóerő kifejtése közvetlenül a következő áthidalás kialakítása előtt történik és ez csökkenti a félvezető eszközök szerelésének idejét és költségét, ami különösen nagyszámú áthidalással rendelkező félvezető eszközök esetében jut jelentőséghez. A továbbiakban a találmányt konkrét gyakorlati példa és a mellékelt rajzok alapján ismertetjük részletesebben. A rajzon: az 1. ábra félvezető eszköz részlete a bondolási helyek között a találmány szerinti eljárással kialakított áthidalással, a 2. ábra a találmány szerinti eljárás foganatosítására szolgáló berendezés nézeti képe, a 3. ábra a találmány szerinti berende ■ zés elektromos tömbvázlata, a 4. ábra a 2. ábra szerinti berendezés A részlete kinagyítva, az 5. ábra a találmány szerinti berendezés húzóerőt mérő mérőegysége nagyobb léptékben. A félvezető eszközök szerelésére szolgáló találmány szerinti eljárás során az 1. ábrán részletben bemutatott félvezető eszköz 3 tokozatának 1 bondolási helye, valamint 4 félvezető morzsájának 2 bondolási helye között huzalból 5 áthidalást alakítunk ki, amelynek során 6 bondoló szerszám segítségével a huzalt a bondolási helyhez kapcsoljuk, majd a huzalt meghatározott pálya mentén a 6 bondoló szerszámon áthúzva kialakítjuk az 5 áthidalás alakját és azt létrehozzuk. Az ily módon kialakított 5 áthidalásnak emelkedő 7 szakasza, 8 görbitési helye, valamint a 2 bondolási hely felé süllyedő 9 szakasza van. A 8 görbitési helyen a huzalt rögzítjük. Ezt követóleg a huzalt a félvezető eszköz 4 félvezető morzsájának 2 bondolási .helyén rögzítjük, miközben a süllyedő 9 szakaszt akkora erővel alakítjuk ki, amely a huzalt a 8 görbitési helyen maradandóan alakítja. A huzal, áthúzása olyan pálya mentén történik, amelynek emelkedő 7 szakasza és süllyedő 9 szakasza azonos szöget zár be a velük szomszédos 1, illetve 2 bondolási helyekkel. A huzalnak a második 2 bondolási helyhez való rögzítése után a 6 bondoló szerszámot kiindulási helyzetbe visszük viszsza, és ezzel egyidejűleg P húzóerőt gyakorolunk a 8 görbitési helyre, amíg akkora értékű erőt nem érünk el, amely rugalmas alakváltozást okoz az 5 áthidalásba. Ezután a P húzóerőt megszüntetjük. Mivel az oC szögek egymással egyenlöek, ezért a P húzóerő ugyanakkora Pl és P2 reakcióeróket ébreszt a megfelelő bondolási helyekben. A 2. ábra félvezető eszközök szerelésére alkalmas berendezést mutat. A berendezésnek 10 alaplapja van, amelyre félvezető eszközök elhelyezésére szolgáló 11 koordináta asztal van felszerelve. A rajzon a félvezető eszköz szaggatott vonallal van feltüntetve. A 10 alaplapon 12 és 13 vezetékekben 14 kocsi van elhelyezve, amelyhez 15 hajtószerkezet csatlakozik. A 15 hajtószerkezet a 14 kocsit a 10 alaplaphoz viszonyítva a 11 koordináta asztal egyik vízszintes tengelye mentén, jelen esetben a rajzon feltüntetett y tengely mentén mindkét irányban képes elmozgatni. A 15 hajtószerkezet a 10 alaplapon, rögzített léptető motort tartalmaz és . a 14 kocsit 16 rugó szorítja a 15 hajtószerkezetnek. A 14 kocsihoz 17 bondolófej kapcsolódik, amely függőleges síkban működő 18 hajtószerkezettel van kapcsolatban, amely a 17 bondolófejet jelen esetben a 11 koordináta asztal x tengelyére merőlegesen képes elcsúsztatni. A 18 hajtószerkezet a 14 kocsihoz erősített léptető motort tartalmaz és a 17 bondolófejet 19 rugó szorítja a 18 hajtószerkezetnek. A 17 bondolófej a 14 kocsival összekapcsolt L alakú 20 konzolt, továbbá 6 bondoló szerszámot tartalmaz, amely a 14 kocsihoz rögzített 21 tartóelemben van rögzítve. A 21 tartóelem jelen esetben ultrahangos rezgésátalakítóként van kialakítva. A 6 bondoló szerszámban a 3 tokozat és a 4 félvezető morzsa 1, 2 bondolási helyei közötti 5 áthidalás kialakítására szolgáló 22 huzal van elhelyezve. A 22 huzal az ábrán nem ábrázolt csévéról van a 6 bondoló szerszámhoz hozzávezetve. A 17 bondolófej továbbá huzalvezető és daraboló egységgel van ellátya, amely 23 kart tartalmaz, amelyet 24 rugó rugalmasan szorít neki az L alakú 20 konzolnak. A 23 karhoz 25 elektromágnes van rögzítve, amely az L alakú 20 karhoz dönthetően csatlakoztatott 26 támasztó elemtől való oldásra szolgál. A 26 támasztó elem 27 és 28 elektromágnesek horgonyaival van kapcsolatban, amelyek a 22 huzalnak a 26 támasztó elemhez való hozzávezetésére, ill. eldarabolására szolgálnak. Ezenkívül az L alakú 20 konzolon a rajzon fel nem tüntetett .szerszám-termék" érzékelő 29 érintkezője továbbá bondolási erőt előállító egység van felerősítve, amely a jelenlegi kiviteli alaknál egyik végénél fogva az L alakú 20 konzolhoz erősített 30 kapocsból, valamint a 30 kapocs másik végét a 6 bondoló szerszám 21 tartóelemével összekapcsoló 31 rugóból van kialakítva. A találmány szerinti berendezés továbbá 32 huzalrögzitó egységgel van ellátva, amely a 10 alaplaphoz elfordithatóan van rögzítve oly módon, hogy függőleges síkban ingamozgást képes végezni. Az ingamozgás síkja párhuzamos a 17 bondolófej elmozdulási síkjával, vagyis merőleges az x tengelyre. A 32 huzalrögzitó egységnek 33 munkaeleme van, amely az 5 áthidalásnak a 4 félvezető morzsa 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 6
