199036. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető alkatrészek szereléséhez
5 HU 199036 B 6 és egyidejűleg a görbítési helyre akkora erőt gyakorolunk^ amely az áthidalást rugalmasan deformálja, majd a húzóerőt megszüntetjük. A fenti eljárás foganatosítására a találmány szerint olyan berendezést alakítottunk ki, amelynek alaplapja az alaplapon elrendezett, félvezető eszközök elvezetésére szolgáló koordináta asztala és kocsija van, amely kocsihoz a koordináta asztal egyik vízszintes tengelyével párhuzamos, és az alaplaphoz viszonyítva kétirányú elmozdulást előidéző hajtószerkezet, valamint egy bondolófej van társítva. A bondolófejhez függőleges sikban történő elmozdulást előidéző hajtószerkezet kapcsolódik és a bondolófej bondoló szerszámában félvezető eszköz tokozatának és félvezető morzsájának bondolási helyei közötti áthidalás kialakítására szolgáló huzal van elrendezve. A találmány szerinti berendezés továbbá vezérlő egységgel van ellátva, amelynek kimenetei a bondolófejjel, a bondolófejhez csatlakozó és függőleges sikban történő elmozdulást eredményező hajtószerkezettel, továbbá a kocsi kétirányú elmozdulását előidéző hajtószerkezettel vannak elektromos kapcsolatban. A találmány értelmében az alaplapon huzalrőgzító egység van elrendezve, amely függőleges síkban ingamozgásra képes, és amely sik párhuzamos a bondolófej elmozdulási síkjával. A bondolófej az áthidalásnak a második bondolási helyhez süllyedő szakaszának kialakításakor a huzallal együttműködik. A huzalrögzitó egységhez azt függőleges sikban elcsúsztatni képes hajtószerkezet csatlakozik, amely a vezérlő egység járulékos kimenetével elektromos kapcsolatban van. A koordináta asztalhoz vízszintes és függőleges síkban működő hajtószerkezetek, valamint vízszintes síkban szögelfordulást létrehozó hajtószerkezet kapcsolódik, amely hajtószerkezetek a vezérlő egység további járulékos kimeneteihez csatlakoznak. A találmány értelmében célszerű, ha a bondolófej oly módon van elrendezve a kocsin, hogy ingamozgást végezhessen egy olyan sikban, amely párhuzamos a huzalrögzítő egység ingamozgásának síkjával. A találmány szerint előnyös, ha a huzalrögzítő egység nyakrészt, két vízszintes és az alaplapon rögzített, a nyakrészt tartó csapot, a nyakrészre erősített és a vezérlő egység hozzátársított járulékos kimenetével elektromos kapcsolatban lévő elektromágnest, két függőlegesen fekvő és a nyakrészhez erősített csapot, a függőlegesen fekvő csapok által hordozott, a nyakrésznek rugósán nekiszoritott kétkarú és L alakú, egyik karjánál fogva az elektromágnes horgonyával együttműködő emeltyűt tartalmaz, és a munkaelem a kétkarú, L alakú emeltyű másik karjához csatlakozik. A találmány értelmében előnyös továbbá, ha a huzalrögzitó egység munkaeleme tartóval és rúddal van ellátva, amely rúd függőleges és a bondolófej elmozdulási síkjára merőleges síkban fekszik és három szakaszból áll, amely szakaszok közül az első a tartóhoz van rögzítve, a második a bondolófej elmozdulási síkjával párhuzamos síkban fekszik és az első szakasszal tompaszöget zár be. A harmadik szakasz a második szakaszhoz képest derékszögben fekszik és az áthidalásnak a második bondolási helyhez süllyedő szakaszának kiképzése közben együttműködik a huzallal. A bondoló szerszám testében továbbá a rúd második szakaszát befogadó kikönnyítés van. A találmány szerinti berendezés előnyösen húzóerő mérésére alkalmas mérőegységgel van ellátva, amely a huzalrögzítő egységhez csatlakozik, és elektromosan a vezérlő egység bemenetére kapcsolódik. , A húzóerő mérésére alkalmas mérőegység a találmány értelmében előnyösen rugalmas elemmel van ellátva, és a huzalrögzítő egység munkaeleme erre" a rugalmas elemre van felerősítve. A rugalmas elem továbbá út-’ adóval van ellátva. Az a találmány szerinti jellemző, amely szerint a huzal áthúzása akkora erővel történik, amely a huzal plasztikus alakítását eredményezi, és hogy ezzel egyidóben történik a bondoló szerszám és a félvezető eszköz elmozdítása, valamint a huzalnak a görbítési helyen való rögzítése lehetővé teszi a bondolási helyek közötti kívánt alakú áthidalások létrehozását és annak a gyakori hibának az elkerülését, hogy az áthidalás a bondolási helyet környező topológiával és vezetőpályákkal rövidre záródjék. Ezen túlmenően lehetővé válik az áthidalások alakjának reprodukálható módon való kialakítása, függetlenül a huzal mechanikai tulajdonságainak hosszmenti eloszlásától. A görbítési helynek a helyzete, valamint az áthidalások bondolási helyekhez viszonyított dőlési szöge szükség szerint változtatható, amely lehetővé teszi olyan félvezető eszközök szerelését, amelyeknél nagy a magasságbeli különbség a tokozat és a félvezető morzsa bondolási helyei között, és a kialakított áthidalás és a félvezető morzsa között nem alakul ki rövidzár. A bondoló szerszámnak az áthidalás alakját meghatározó pálya mentén való elmozdítása lehetővé teszi a félvezető eszközök nagyobb termelékenységgel való szerelését. Az áthidalásoknak a bondolási helyekhez viszonyított azonos dőlési szöggel történő kialakítása, valamint az áthidalás csúcsára gyakorolt húzóerő lehetővé teszi magas alkatrész sűrűségű félvezető eszközök minőségének növelését. Ez egyrészt annak köszönhető, hogy a húzóerő kifejtésekor nem változik lényegesen az áthidalás formája, ami különben mikrorepedéseket okozna a bondolási kötésben, a hozzávaló csatlakozás helyén. A minőség javulása másrészt annak köszönhető, hogy a találmány szerint előállított bondolt 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 5
