199036. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető alkatrészek szereléséhez
3 HU 139036 B 4 helyhez vezetik (lásd a SU 821.100 sz. szerzői tanúsítványt). Ezen ismert eljárás során a huzal áthúzása olyan pálya mentén történik, amelynek az első bondolási helyhez viszonyítva hegyesszőg alatt fekvő emelkedő szakasza van, és ezen intézkedés révén a bondolási hely és a huzal találkozásánál elkerülhető a mikrorepedések kialakulása, amelyet a huzalsúrlódás okoz a bondoló szerszámnak függőleges irányú emelése közben. Ennek ellenére azonban kialakulnak olyan mikrorepedések, amelyek abból származnak, hogy a huzalt meg kell hajlítani a második bondolási helyre való lesüllyesztéskor, pedig ekkor a huzalt nem kell áthúzni a szerszámon. Ezen ismert eljárás megvalósítása során- akárcsak a korábban említett eljárásoknál- az áthidalások alakját befolyásolják a huzal mechanikus tulajdonságai és ez az alak kiszámíthatatlan módon változik. Ez lehetőséget ad arra, hogy az áthidalás rövidzárt hozzon létre a vezetőpályák és a bondolási hely körüli topológiák között. Az egymást követő és a leírt módon előállított áramátvezető hidak formája különbözik a megelőző áthidalás alakjától. Ezenkívül egymástól eltérő szintben fekvő bondolási helyek összekötésekor létrehozott áthidalások nagyobb valószínűséggel okoznak rövidzárakat. Az eljárás foganatosítására szolgáló berendezésnek alaplapja, az alaplapra szerelt és félvezető eszközök elhelyezésére szolgáló koordináta asztala és egy kocsija van, és a kocsihoz alternáló elmozdulást létrehozó hajtószerkezet van társítva, amely a kocsit a koordináta asztal egyik vízszintes tengelyével párhuzamosan mozgatja el az alaplaphoz viszonyítva. A kocsi továbbá bondolófejjel van összekapcsolva, amely a fejet függőleges irányban elmozdító hajtószerkezettel van kapcsolatban. A bondolófej bondoló szerszámmal van ellátva, amelyben a tok és a félvezető morzsa bondolási helyei közötti áthidalások kialakítására szolgáló huzal van. A berendezés továbbá vezérlő egységgel van ellátva, amelynek kimenetei a bondolófejjel, a bondolófejet a függőleges síkban elmozdító hajtószerkezettel, valamint a kocsik váltakozó irányban elmozdító hajtószerkezettel vannak kapcsolatban. Ilyen fajta berendezést ismertet a 821.100 sz. SU szerzői tanúsítvány. A fent ismertetett berendezés kocsija az alaplaphoz képest olyan szögben mozdul el, amely azonos a huzalnak a bondolási szerszámhoz történő hozzá vezetésének szögével, és ez meghatározza a huzal áthúzásakor a pályaszakasz emelkedő részének dőlési szögét és lerontja a félvezető eszköz szerelésének minőségét. Annak ellenére, hogy az ismertetett berendezésben a bondoló szerszám nincs függőleges irányban emelve, azonban a bondoló szerszám mozgáspályája még mindig túlhaladja az áthidalás hosszát, ami miatt a berendezés teljesítménye nem elégséges. Nagy megbízhatóságú félvezető eszközök esetében szükség van az áthidalások minőségének, tehát az áthidalások szilárdsági tulajdonságainak ellenőrzésére. Bizonyos esetekben a minőség ellenőrzéséhez egy erre a célra készített ellenőrző berendezés segítségével húzóerőt gyakorolnak a kialakított éthi-' dalás tetszőleges helyére. Ennek során a félvezető eszköz valamennyi összekötését a húzóerő mérésére szolgáló mérőberendezéshez kell igazítani és ezután fejti ki a húzóerőt. A minőség ellenőrzésének ez a módja különösen nehézkes olyan félvezető eszközök esetében, ahol magas az alkatrész sűrűség, mivel ezekben az áthidalások egymástól való távolsága igen kicsi. Ezen túlmenően az áthidalás tetszőlegesen megválasztott pontjára ható erő megváltoztatja az áthidalás alakját, aminek következtében viszont mikrorepedések alakulnak ki a bondolási hely és a huzal találkozási helyénél. Az ellenőrzés során az egyes áthidalásokra gyakorolt húzóerő változó, ami annak folyománya, hogy változik az áthidalás hajlási szöge a tok és a félvezető morzsa bondolási helyeihez viszonyítva. A minőség ellenőrzése lecsökkenti az ismert szerelési eljárás, valamint az eljárás fo•ganatositására szolgáló berendezés teljesítményét, mivel ezt a félvezető eszköz áthidalásainak kialakítása után kell elvégezni, de ezenkívül a szerelés minőségét is lerontja. A találmánnyal célunk félvezető eszközök szerelésével olyan eljárás és az eljárás foganatosítására szolgáló berendezés kidolgozása, amelyben a huzal áthúzása olyan pálya mentén történik, amely lehetővé teszi a kívánt formájú áthidalások kialakítását. • A kitűzött cél elérésére alkalmas eljárás során a félvezető eszközök szerelése oly módon történik, hogy a tok és a félvezető morzsa bondolási helyei közül az elsőhöz bondoló szerszám segítségével hozzácsatlakoztatjuk a huzalt, a huzalt áthúzzuk a bondoló szerszámon, majd a bondoló szerszámot a második bondolási helyhez csatlakoztatjuk. A találmány szerint a huzal áthúzása a bondoló szerszámon olyan pálya mentén történik, amely meghatározza az áthidalás alakját. A pályának az első bondolási helytől számítva emelkedő szakasza görbítési helye - amelynél a huzalt rögzítik -, továbbá a második bondolási hely irányában süllyedő szakasza van, amely süllyedő szakaszt olyan erővel alakítjuk ki, amely a huzalban a görbítési helyen maradandó alakváltozást hoz létre. A találmány értelmében a huzal áthúzása olyan pálya mentén történik, amelynek emelkedő és süllyedő szakaszai a hozzájuk tartozó bondolási helyhez képest azonos szög alatt fekszenek, és nem kevésbé célszerű módon a bondoló szerszámot a huzalnak a második bondolási helyhez való csatlakoztatása után kiindulási állapotába vezetjük vissza, 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 (>5 4
