198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
11 HU 198230 B 12 lyozzák a 4 csővezetéknek az 1 tégelyre való ráhegesztését. A felgözölögtetés útján vékonyrétegeket felvivő berendezésnek olyan kiviteli példája is lehetséges, amelynél a 4 csővezetékben rögzített 15 diafragmának (5. ábra) olyan az alakja, mint két, kisebb alaplapjával összetör ditott 24, 25 kúpnak. Az alaplapok a 4 csővezeték 5 szimmetriasíkjában helyezkednek el. Ez a profilírozott 16 lyuk egyenletesebbé teszi az irányított 7 gőzáram intenzitását a 6 hordozó tartományában, mint egy hengeres lyuk. A 15 diafragma és a 4 csővezeték 17 és 18 része közé behelyeztük 26 és 27 hőpajzsokat. A felső 26 höpajzs a 15 diafragma és a 4 csővezeték felső 17 része közötti hőmérséklet-gradiens növelésére szolgál. A fűtózónában található 15 diafragma átmelegitése az oldalfelületén keresztül történik, ehhez speciálisan megnövelhető a felülete. A 15 diafragma további átmelegitéséhez csökkenthető a 3 hevítő (1. ábra) kereszmetszete is ezen 15 diafragma közelében, ez megnöveli ennek a zónának az energiafejlesztését. A 4 csővezeték felépítése lehetővé teszi, hogy csak egy 3 hevitőt használjunk, mivel a 4 csővezeték alacsony hőmérsékletű részében a felgőzölés bármilyen körülményei mellett létrejön a folyékony fázisba való kondenzáció és a magas hőmérsékletű részben az elgőzölés. A csak egy 3 hevitö használata leegyszerűsíti a hőmérséklet felügyelő- és fenntartó rendszert és egyszerűsíti az egész gózölögtető berendezést. Az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz két azonos, gyűrű alakú 30, 31 hasítékkal ellátott 28, 29 diafragma formájában is kialakítható (6. ábra). A 30, 31 hasiték belső átmérője Dl, külső átmérője D2. A 28, 29 diafragmákat a 4 csővezeték végein, az 5 szimmetriasiktól egyenlő távolságban rögzítettük. A 4 csővezeték és a 28, 29 diafragma lehet például nehezen olvasztható lemezből és fel lehet helyezni rájuk a 22, 23 grafitgyűrűket az 1 tégelybe való bevezetéshez. Hőmérséklet-eloszlása szerint az ilyenfajta 4 csővezeték hasonlít az 1. ábrán látható 4 csővezetékre. A 6. ábra szerint 32 sík alatt található a 4 csővezeték magas hőmérsékletű szakasza, amelyből az előző felgőzölési ciklusban kondenzálódott 2 felgőzölendő anyag elgőzölögtetése történik. Ezért a 4 csővezeték keresztmetszete a 32 síkban olyan forrást képez, amely a 6 hordozóra kerülő 7 gőzáramot kisugározza. A 32 sík fölött kezdődik meg a 2 felgőzölendő anyag gőzének lecsapódása a 4 csővezeték falaira és a 28 diafragmára. A 28 diafragmának a gyűrű alakú 30 hasiték által 'határolt 33 belső része, amelynek széle 34 síkban van, összegyűjti a 7 gázáram egy részét és így csökkenti a 6 hordozó középső részére irányuló anyag felgőzőlögtetési sebességét, így a felgőzölt réteg vastagsága az egész 6 hordozón egyenletes lesz. A 28 diafragma 35 külső részének széle 36 sikban van. A 7. és 8. ábrán bemutatjuk azokat a hatásos kisugárzási felületeket, amelyek a 6 hordozónak a 6. ábrán található N és M pontjából láthatók. A hatásos kisugárzási felületeket a 4 csővezetéknek a 32 sikban lévő keresztmetszete (6., 7. és 8. ábra) és a 28 diafragmának (6. ábra) a 34, 36 sikban lévő keresztmetszete (6., 7. és 8. ábra) képezi. A 9. és 10 ébrén a 28 diafragma 33 belső részének (6. ábra) a 4 csővezeték végeire való felerősítésének egyik változatát ábrázoljuk olyan 37 támasztékok (9. és 10. ábra) segítségével, amelyek keresztmetszete a lehető legkisebb, hogy a 7 gőzéram szabadon átjuthasson. (A rajz egyszerűsítése érdekében a 28 diafragma 35 külső része nincs ábrázolva.) A diafragma 33 belső része kialakítható Dl átmérőjű lapos korong formájában. A gyűrű alakú 30 hasíték (6. ábra) D2 külső átmérője egyenlő lehet a 4 csővezeték belső átmérőjével. Ebben az esetben a 28 diafragma 35 külső része hiányzik és a 4 csővezeték felső homlokoldala betölti a 28 diafragma 35 külső részének funkcióját. Az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz kiképezhető a 4 csővezeték (11. ábra) 5 szimmetriasikján rögzített, több 39 lyukkal ellátott 38 diafragmával, amely 39 lyukak geometriai 40 tengelye adott szögben áll egymáshoz képest és a 4 csővezeték geometriai 41 tengelyéhez képest (11. ábra). Valamennyi 39 lo i.' T.-’Z (12. ábra) a gőz-kisugárzás intenzitásának egy meghatározott 42 szögeloszlása tartozik, ami szaggatott vonallal van megjelölve. A 39 lyukak 40 tengelyei és a 4 csővezeték 41 tengelye közötti 0 szög nagyságát (11. ábra) abból a feltételből kiindulva választjuk meg, hogy valamennyi 39 lyukból való kisugárzás intenzitásának teljes eloszlása biztosítsa az irányított 7 gözáram cC kilépési szögén belül a felgőzölt réteg egyenletes vastagságát. Általános esetben (12. ábra) a 0 szög 0“-t01 55°-változik, ahol a 39 lyukak 40 tengelyei azonos és különböző (az ábrán nem látható) 0 szögekben állhatnak a 4 csővezeték geometriai 41 tengelyéhez képest (11. ábra). Az utóbbi különösen fontos az öö^ot megközelítő maximális 0 szögeknél (12. ábra), mivel ebben az esetben, ha az összes 39 lyuk 40 tengelye maximális 0 szögben áll, az irányított 7 gözáram intenzitása a 4 csővezeték 41 tengelye mentén (11. ábra) olyan mértékben csökken, hogy a 6 hordozó közepén a felgőzölt réteg vastagsága kisebb lesz, mint a szélén. Ha a 39 lyukak egy részének geometriai 40 tengelye a geometriai 41 tengellyel kisebb 0 szöget zár be, akkor ez megnöveli az irányított 7 gőzáram intenzitását erre a 41 tengelyre és így kiegyenlíti a felgőzölt réteg vastagságát a 6 hordozó teljes felületén (11. ábra). 5 io 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 8
