198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
13 HU 198230 B 14 A ß szög maximális értékének növelése 55°-on túl nem vezet az oC kilépési szög lényeges növekedéséhez (12. ábra). Az egymással szomszédos 39 lyukak 40 tengelyei közötti í szög maximális értékének olyannak kell lennie, hogy ne csökkenjen a kisugárzási intenzitás az ezen 40 tengelyek közötti irányban. A ß szög rögzített értékénél a 2 szög nagysága a 39 lyukak számának növelésével csökken. Ha például a ß szög nagysága egyenlő 45“-kal, az oC kilépési szög 30° lesz, és ha a 4 csővezeték átmérője 20 mm és távolsága a 6 hordozótól 155 mm, 200 mm átmérőjű 6 hordozóra lehet felgőzölní. A gőzölögtető berendezés továbbá az irányított 7 gőzáram alakját korrigáló eszközzel van ellátva, amelyet a 4 csővezetéken elhelyezett (5. ábra) 45 és 46 lyukakkal ellátott, azonos 43 és 44 diafragmákkal képeztünk ki. A 45, 46 lyukak alakja megfelel a felgőzőlt réteg konfigurációjának. Nevezett 43, 44 diafragmák a 4 csővezeték végein vannak rögzítve, azonos távolságra annak 5 szimmetriasíkjától. Például négyszög alakú 6 hordozóra való felgőzöléskor a 45 és 46 lyukakat négyszög alakúra képezzük ki a vékonyréteg négyszögű konfigurációjának megfelelően. A felső 43 diafragmán lévő 45 lyukon ót kilépő gőzáram keresztmetszete négyszög alakú lesz és egyenletes vastagságú vékonyréteget visz fel a 6 hordozóra, amelynek határoló egyenesén kívül az áramlás intenzitása erősen csökken, ami csökkenti a 2 felgózólendő anyag veszteségét. Ha mozgó 6 hordozóra gőzölőgtetünk fel vékonyréteget, a 45 és 46 lyukak formáját a 6 hordozó mozgási pályájának megfelelően választjuk meg. A pólyát a felgőzölt réteg konfigurációja határozza meg. Például karusszelszerű forgósba hozott (a rajzon nem ábrázolt) 6 hordozóra való felgözölésnél (a forgástengely nem megy át a 6 hordozón) a 45 és 46 lyukaknak trapéz alakúaknak kell lenniük, és a trapézok oldalait befelé kell görbíteni, hogy növekedjék a felgőzőlt réteg vastagságának egyenletessége, mivel a 6 hordozó középső szakaszai egy valamivel nagyobb áramlási intenzitású zónán haladnak át. Az irányított 7 gőzáramot korrigáló eszköz kialakítható a 4 csővezeték végeire (13. ábra), a keresztirányú 5 szimmetriasikjótól egyenlő távolságra felerősitett két azonos 47 rátét formájában (az elsőt a rajzon nem jelöltük), amelyeken a felgőzőlt réteg konfigurációjának megfelelően profilírozott 48 kivágások vannak. A profilirozott 48 kivágások alakját a 47 rátét felületének és egy olyan felületnek a metszete adja, amelyet 49 egyenes folyamatos eltoláséval állítunk elő három vezérvonal mentén, ahol a három vezérvonal: a 4 csővezeték 41 tengelye, a 16 lyuk kerülete és a vékonyréteg kerülete. Utóbbi egybeesik a 6 hordozó kerületével. A 2 felgózólendő anyagnak a 47 rátéttel ellátott 4 csővezetékből kilépő irányított 7 gőzáram megismétli a 6 hordozó felületén a vezeték alakját, ezáltal csökkenti a 2 felgőzölendő anyag veszteségeit. Ezenkívül a 4 csővezeték belső felületének legalább a középső részét (1. ábra) elláthatjuk például nehezen olvadó anyagból készült 50 bevonattal, hogy a 2 felgózólendő anyag nedvesíthesse. Ez megkönnyíti a 14 vájat tartományában lévő átmeneti zónából a folyékony fázis átfolyását a fűtőzónában lévő magas hőmérsékletű szakaszba, elgőzőlögtetés céljából. A 4 csővezeték egész belső felülete ellátható olyan 50 bevonattal, amit a 2 felgőzölendő anyag nedvesít. A 4 csővezeték átállítása (megfordítása) és az oda lecsapódott anyag olvadása után az anyag nem folyik le az 1 tégelybe, hanem elgözölőg a 4 csővezeték felületéről. Ha hiányzik ez az 50 bevonat, lehetséges, hogy a 4 csővezeték felületéről cseppek válnak le, amelyek szétfröcskölődnek az 1 tégelybe való lecsepegéskor és kórokat okozhatnak a vékonyrétegben. Mindegyik 15, 20, 28, 29, 38, 43, 44 diafragma (3., 3., 5., 6. és 11. ábra) ellátható a 2 felgózólendő anyag által nedvesíthető 50 bevonattal (ezt csak a 3. ábra mutatja). Például a 15, 20 diafragmák (4. ábra) bevonása a 2 felgőzölendő anyag által nedvesíthető 50 bevonattal megkönnyíti a folyékony fázis lefolyását az alsó 15 diafragmáról a 4 csővezeték alsó 18 részébe. így például ezüst felgőzölésénél a molibdén és wolframból álló 15 és 20 diafragmákat nióbium-bevonattal látjuk el. Ha a 43 és 44 diafragmákon (5. ábra) a felgözőlendő anyag által nedvesíthető 50 bevonat van, bármelyiket bevihetjük a fűtőzónába, a felületükön korábban lecsapódott anyag olvadás után is rajta marad, így elkerüljük az 1 tégelybe való lecsepegéskor való fröcskólést. Ha a 15 diafragmát (3. ábra) ellátjuk az 50 bevonattal - amely nedvesíthető a 2 felgózólendő anyaggal - megakadályozzuk a 2 felgőzölendő anyag cseppjeinek az áramlás okozta leválását és ezen cseppeknek a 6 hordozóra való jutását. A cseppek a 15 diafragmán képződhetnek, ha nincs felmelegitve az. elgózölgési hőmérsékletre, vagy ha a felmelegítési folyamat során hőmérsékletük a nagy tömeg miatt lassabban emelkedik, mint a 2 felgőzölendő anyag hőmérséklete az 1 tégelyben. Az 1 tégelybe helyezett 4 csővezeték, amely csökkenti az 1 tégely kilépési keresztmetszetét, a 2 felgózólendő anyag gőznyomását közelebb hozza a telítési gőznyomáshoz, ami megváltoztatja az elgőzölgés jellegét és megnöveli azon fröccs képződésének a valószínűségét, amely a 2 felgőzölendő anyag áramába kerül. Ezen kivül a 4 csővezetékben a 2 felgőzölendő anyag árama keresztmetszetének csökkenése a felgőzölési sebesség 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 9
