198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
9 HU 198230 B 10 kúp alakú, kisebb alaplapjával egymásnak fordított szakaszból áll. Ez lehetővé teszi, hogy felgőzöléssel egyenletes vastagságú vékonyréteget vigyünk fel nagyméretű 6 hordozóra. A 4 csővezetéket az 1 tégelyben csavarmenettel lehet rögzíteni. Ez az elrendezés szükséges akkor, ha nagy felgózőlési sebességet (néhány száz Angstrom másodpercenként) szükséges fenntartani, mert másként a 2 felgőzölendő anyag gőzének nyomása miatt a 4 csővezeték kilökődhet az 1 tégelyből. A 4 csővezetéket lehet másképpen is kivitelezni, ha például a végein minimális a keresztmetszete. Ilyenkor a 4 csővezetéknek az 5 szimmetriaslkra szimmetrikusnak kell maradnia. A hőmérséklet-gradiens megnövelése céljából a 4 csővezeték középső részén legalább egy gyűrű alakú 14 vájat van (1. és 2. ábra). A 4 csővezeték középső részében a hőmérséklet-gradiens növekedése csökkenti a magas- és alacsony hőmérsékletű szakasz közötti átmeneti zóna hosszúságát. Ennél a megoldásnál az átmeneti zóna hosszúsága még kisebb lesz a 14 vájat hosszúságánál is. A 14 vájat különösképpen olyankor szükséges, ha a 4 csővezetéket jó hóvezetóképességű anyagokból, például grafitból vagy nehezen olvadó fémből készítjük. Ha a 4 csővezetéken egyetlen egy gyűrű alakú 14 vájat van kiképezve és a 2 felgőzólendő anyag által nem nedvesíthető anyagból van, akkor a 14 vájat tartományéban végül anyag halmozódhat fel, mivel a nedvesithetetlenség megnehezíti a lefolyás folyamatát és az ebből a zónából történő felgőzölés sebessége kisebb, mint a lecsapódási sebesség. A 14 vájat és a 4 csővezeték egyik vége a 4 csővezeték másik végének az 1 tégelybe való behelyezése után is kívül lesz a fűtőzónán és újra összegyűlik benne az anyag. A 14 vájat zónájában összegyűlő anyag csökkenti a 4 csővezeték középső szakaszában a hőellenállást és növeli a folyadék fázis-átmeneti szakaszt amely a 2 felgőzölendő anyagnak az átmeneti szakaszon való elgőzölgése következtében további veszteségekhez vezet, ha az anyag gőznyomása az olvadási hőmérsékleten magas. Ebben az esetben növelni kell a 14 vájatok számát. Ha például a 4 csővezeték középső részén két 14 vájatot helyezünk el (a rajzon nem ábrázoltuk) és a 4 csővezeték alsó része a felső 14 vájatig ér a fűtőzónában, akkor lecsapódás csak a felső 14 vájat zónájában és ennél magasabban jön létre, azaz a szimmetriasik fölött. A 4 csővezeték áthelyezése után az egész lecsapódási szakasz a fűtőzónába kerül és a rajta lecsapódott anyag elgőzölög. A gőzölögtető berendezés továbbá a 4 csővezetékben (3. ábra) elrendezett, a 2 felgőzölendő anyag irányított 7 gőzáramának intenzitás-eloszlását korrigáló eszközzel van ellátva, amely a 4 csővezetékben rögzített, 16 lyukkal ellátott 15 diafragma, amely a 4 csővezeték 5 szimmetriasíkjában van elhelyezve. A 4 csővezeték ebben az esetben két 17, 18 részből áll, amelyek egymással és a 15 diafragmával nehezen olvasztható fémből készült 19 csapokkal vannak összekötve. A 15 diafragma ugyanúgy, mint a 4 csővezeték alsó 18 része a fűtőzónában van és hőmérséklete egyenlő a 2 felgőzölendő anyag elgózölgési hőmérsékletével. A 4 csővezeték felső 17 részének hőmérséklete a 2 felgőzölendő anyag olvadáspontja alatt van. Ennél a kiviteli példánál a 4 csővezetékben nincs átmeneti szakasz, amelyben a folyadékfázisba való átmenet, a lecsapódás létrejöhetne. A gőzölögtető berendezésnek a 4. ábrán bemutatott kiviteli példájánál az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz 16 lyukkal ellátott 20 diafragma, amely azonos a 15 diafragmával. A 15 és 20 diafragmák egymás fölött vannak elhelyezve és közöttük rés van és a 16 lyukak kerületén vannak összekötve. Itt a 4 csővezeték a 3. ábrán bemutatott módon két azonos, 17 és 18 részből áll, közöttük rés van, ebben helyezkednek el a 15 és 20 diafragmák. A 15 diafragma a 4 csővezeték 18 részével, a 20 diafragma pedig a 4 csővezeték 17 részével mereven össze van kötve. A 15 és 20 diafragmák között elhelyezhető legalább egy 21 hőpajzs, amely a 4 csővezeték középső részében megnöveli a hőmérséklet-gradienst. Ehhez hozzájárul a 15 és 20 diafragmák sugárirányú nagy hőellenállása is. A 15 és 20 diafragmák a 4 csővezeték átmeneti zónájában helyezkednek el a magas hőmérsékletű szakasz (18 rész) és az alacsony hőmérsékletű szakasz (17 rész) között. Ezért a 15 diafragma alsó felületére lecsapódik a 2 felgőzölendő anyag egy része, folyékony fázissá alakul, és lefolyik a 4 csővezeték alsó 18 részére, innen pedig az anyag újra elgőzölög. Az ilyen jellegű konstrukció esetén a folyékony fázisba való átmenet, a lecsapódási zóna a 4 csővezeték magas hőmérsékletű szakasza felé irányul, ezért az ebből a zónából való elgőzölögtetés nem vezet további veszteségekhez. A 21 hőpajzsnak 15 és 20 diafragmák közé való elhelyezésével elérjük, hogy a 20 diafragma felső felületére való lecsapódás már szilárd fázisba történő átmenet. A 2 felgőzölendő anyag kondenzálódott rétegének vastagsága nem lesz nagy, a 20 diafragma felső felületére kerülő gőz jelentéktelen intenzitása miatt. Ezen felület közel 90°-os szögben áll a 16 lyuk tengelyéhez képest. így a 20 diafragma felületére kondenzálódott réteg gyakorlatilag nem csökkenti annak hőellenállásét. A 4 csővezeték - ugyanúgy, mint a 15 és 20 diafragmák a 21 hőpajzzsal - készíthető nehezen olvaszható lemezből és az 1 tégelybe való elhelyezéshez kigészithető 22 és 23 grafitgyűrűkkel, amelyek hermetikusan leszigetelik az érintkezési helyet és megakadá5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 7
