198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
7 HU 198230 B 8 berendezés a felgőzölendő anyagot tartalmazó tégelybe való adagolási módok széles tartományéban működik: nagy anyagmennyiség egyszerre való felgözőlésétől kezdve olyan kis mennyiségekig (egy milligramm tized része), amelyek csak egy vékonyréteg felviteléhez elegendőek. A gózölögtetó berendezés szerkezete egyszerű, egyszerű a gyártása és az üzemeltetése is, alkalmazható felgőzőlögtetéshez rögzített vagy mozgatható hordozóknál, tetszőleges technológiájú vákuumberendezésekben, köztük automatikus berendezésekben is, azok átalakítása nélkül. A kővetkezőkben a találmányt konkrét kiviteli példák kapcsán, rajzok segítségével ismertetjük részletesebben. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti vákuumgőzölögtetó berendezés teljes nézetét (részben hosszmetszetét), a 2. ábra a találmány szerint kialakított változó keresztmetszetű csővezetékkel ellátott tégelyt ismertet hosszmetszetben, a 3. ábra a találmány szerint kialakított, a csővezeték szimmetriasíkjában elhelyezett diafragmával ellátott tégelynek egy előnyös kiviteli példáját hosszmetszetben, a 4. ábra a 3. ábra szerinti kiviteli példát kibővítve a fődiaf ragmával a lyukkerületen összekötött újabb diafragmával és egy hópajzzsal (hosszmetszet), az 5. ábra a 3. ábra szerinti kiviteli példát, kibővítve egy profilírozott lyukkal ellátott diafragmával hőpajzsokkal és további, a csővezeték végein rögzített diafragmákkal (hosszmetszet), a 6. ábra a csővezeték végeire szerelt, gyűrű alakú hasítékokkal ellátott diafragmákkal működő berendezés egy kiviteli példáját hosszmetszetben, a 7. ábra a 6. ábra szerinti gőzölögtető berendezés a hordozó középpontjára hatásos sugárzási felületének alakját, a 8. ábra a gőzölögtető berendezésnek a hordozó szélére hatásos sugárzási felületének alakját, a 9. ábra a 6. ábra szerinti kiviteli példát, kibővítve a diafragma belső részének rögzítésére szolgáló támaszokkal (hosszmetszet), a 10. ábra a 9. ábra szerinti kiviteli példát felülnézetben, a 11. ábra a 3. ábra szerinti kiviteli példát kibővítve több lyukkal rendelkező diafragmával hosszmetszetben, a 12. ábra a 11. ábra szerinti diafragmán lévő lyuk sematikus ábrázolását 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 nagyobb léptékben (axonometrikusan), a 13. ábra profilírozott kivágásokkal ellátott rátéttel rendelkező csővezeték egy részét (axonometrikusan), és a 14. ábra a találmány szerint kialakított tégelyt, a benne elhelyezett porózus betéttel hosszmetszetben ismerteti. A vákumragőzölés útján vékonyrétegeket felvivő vákuumgózölőgtetó berendezés (1. ábra) 2 felgőzölendő anyagot tartalmazó 1 tégellyel van ellátva, amely 3 hevítővei fűtött fütőzónában van elhelyezve és összeköttetésben áll a 2 felgőzölendő anyag irányított 7 gőzáramát képző eszközzel, amely keresztirányú 5 szimmetriaslkkal kialakított 4 csővezeték, amelynek vége az 1 tengelyben van. A 4 csővezeték fölött a 4 csővezetékből kilépő 2 felgőzölendő anyag gőzáramlásénak útjában 6 hordozó van elhelyezve. A 7 gőzáramot a rajzon nyíllal jelöltük. A 4 csővezeték fűtőzónában levő alsó, magas hőmérsékletű szakaszának hőmérséklete egyenlő a 2 felgózölendó anyag párolgási hőmérsékletével. A 4 csővezeték felső szakasza elhelyezése miatt kívül esik a fűtőzónán és így a hószóródás miatt annak hőmérséklete a 2 felgőzölendő anyag olvadási pontja alatt van. A 4 csővezetéknek ezen az alacsony hőmérsékletű szakaszán történik a 7 gőzáramnak a 6 hordozóra rá nem került 8 perifériális részeinek a kondenzációja, átalakulása szilárd halmazállapotúvá. A 4 csővezeték magas és alacsony hőmérsékletű szakaszai közötti keskeny átmeneti zónában történik a folyékony fázisban való kondenzáció, amely folyékony fázis a magas hőmérsékletű szakaszon való felgózölógtetési művelet alatt lefolyik és el is gőzölög. Mint fent bemutattuk, a 4 csővezetéknek keresztirányú 5 szimmetriasíkja van, ami által lehetővé válik, hogy periodikusan a 4 csővezeték egyik vagy másik végét tegyük az 1 tégelybe és biztosítjuk a 4 csővezetékben lecsapódott anyagnak az újbóli elgőzölögtetéshez való visszavezetését. A hőveszteségek kiküszöbölése a gőzölőgtető berendezésben 9 hőpajzs van, amely például molibdénből készíthető és körülveszi a 3 hevítőt. Az 1 tégely, a 4 csővezeték és a 3 hevítő például grafitból lehet kialakítva. A gózolögtetó berendezés itt leírt kiviteli példájánál a 3 hevítőt egységes egészként állitjuk elő a 3 hevítő alatt elhelyezett 10 hőpajzzsal és a 11 áramhozzávezetőkkel együtt, amelyek és 13 tartók segítségével a gőzölögtető berendezés közvetlenül a vákuumberendezés (nincs ábrázolva) 12 átvezetöire rögzíthető. Az irányított 7 gőzáram kilépési szögének megnövelése céljából a 4 csővezetéket (4. ábra) a hossza mentén változó keresztmetszetűvé képezzük ki, nevezetesen két 6
