198230. lajstromszámú szabadalom • Vákuumgőzölögtető ber. vékonyrétegek felvitelére
5 HU 198230 B 6 Az állandó felgózölési sebesség biztosításához a csőben elhelyezkedő kanócot be kell mártani a felgőzölendő anyagba. Az anyagnak el kell lepnie a tégely teljes alsó részét, ez pedig tekintélyes térfogatot tesz ki. Ezért az eredetileg alkalmazott anyag minimális mennyisége néhányszor tíz gramm, ami drága anyagok felgőzölésekor további indokolatlan anyagfelhasználáshoz vezet, mert nem gőzölögtetik el a teljes anyagmennyiséget, az anyug jelenléte a tégelyben és a folyékony anyag túlfolyó csatornájában csak a berendezés normális működéséhez szükséges. Ezen ok miatt az előzőekben leirt berendezés két különálló hevitőt tartalmaz, amelyeknek segítségével pontosan fenntartható a gőzölögtető- és a kollimátorkamra hőmérséklete. Abban az esetben, ha például a kollimátorkamra hőmérsékletét nem tartják pontosan az adott szinten, akkor a benne található anyag vesztesége az újrafelhasználáshoz való visszavezetéskor (a gőzölögtető kamrába való lefolyáskor) jelentősen megnő. Az, hogy két hevítő és ebből következően két hőmérséklet-felügyelő és szabályozó rendszer szükséges, a berendezést és üzemeltetést jóval bonyolultabbá teszi. A találmány feladata, hogy olyan vákuumgőzölőgtetés útján vékonyréteget felhordó gőzölögtető berendezést hozzon létre, amely rendelkezik a felgőzölendő anyag irányított, gőr.áramának képzésére szolgáló eszközzel. Ez lehetővé teszi, hogy megszüntessük az újbóli elgőzölögtetéshez való viszavezetéskor a hordozóra rá nem került anyag veszteségeit, 63 a felgőzölendő anyagok széles körénél megnövelhessük a nagy hordozó felületen kialakuló réteg vastagságának egyenletességét. A feladat megoldására olyan vákuumgőzölög te tó berendezést hoztunk létre, amely a felgőzölendő anyag számára egy tégelyt tartalmaz, amely tégely hevítővei van ellátva és kapcsolatban áll a felgőzölendő anyag irányított gőzáramának képzésére szolgáló eszközzel. A találmány szerint a felgőzölendő anyag irányított gőzáramának képzésére szolgáló eszköz keresztirányú szimmetriasikkal kialakított csővezeték, amelynek vége a tégelyben van. Célszerű, hogy a gőzölögtető berendezésben a csővezeték keresztmetszete változik a hossza mentén. Előnyös, ha a gőzölögtető berendezésben a csővezeték középső részén legalább egy gyűrű alakú vájat van. Szintén előnyös, ha a csővezetékben az irányított gőzáram intenzitás-eloszlását korrigáló eszköz van. ' Előnyös, ha a gőzölögtető berendezésben az intenzitás-eloszlását korrigáló eszköz a csővezetékben rögzített, lyukkal ellátott diafragma. Előnyös továbbá, ha a gőzölögtető berendezésben az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz egy további, lyukkal ellátott diafragmát tartalmaz, amely azonos a fődlafragmával. A diaf rag mák egymás alatt vannak elhelyezve, köztük rés van, a lyukak kerülete össze van kötve. A csővezeték két azonos részből áll, amelyek egymás alatt résnyire vannak elhelyezve és a köztük lévő résben találhatók a diafragmák, amelyek mindegyike kapcsolatban áll a csővezeték megfelelő részével. Az is célszerű, hogy a gőzölögtető berendezésben a diafragmán a lyuknak olyan az alakja, mint két, kisebb alaplapjával összefordított kúpnak. Előnyős, ha a gőzölögtető berendezésben az intenzitáseloszlásl korrigáló eszköz két azonos, gyűrű alakú vájattal ellátott diafragina, amelyek a csővezeték két végén vannak rögzítve és azonos távolságra vannak annak szimmetriasik jától. Szintén előnyös, ha a gözölögtetö berendezésben az intenzitás-eloszlást korrigáló eszköz a csővezetékben, annak szimmetriasikjában rögzített diafragma, amely lyukakkal van kialakítva, amelyeknek geometriai tengelye egymáshoz és a csővezeték geometriai tengelyéhez képest adott szögben áll. Előnyös, hogy a csővezetékben az irányított gőzárain alakját korrigáló eszköz van. Előnyös továbbá, ha az irányított gőzáram alakját korrigáló eszköz két. azonos, lyukkal ellátott diafragma. amelyeknek alakja megfelel a felgőzölt réteg alakzatának, és a csővezeték végein, annak szimmetriasik jától azonos távolságra vannak rögzítve. Előnyös, ha a gőzölögtető berendezésben az irányított gőzáram .alakját korrigáló eszközt a csővezeték végein, a szimmetriasikjától azonos távolságra rögzített két azonos, profilírozott kivágásokkal ellátott rétét formájában képezzük ki, amelyek megfelelnek a felgözólt. réteg kialakításának. Célszerű, ha a gőzölögtető berendezésben a csővezetéknek legalább a középső része el van látva a felgőzölendő anyag által nedvesíthető bevonattal. Előnyös, ha a berendezésben minden diafragma a felgőzölendő anyag által nedvesíthető bevonattal van ellátva. Előnyős, ha a gőzölögtető berendezésben a felgőzölendő anyag számára olyan porózus betét van elhelyezve, amelynél a nyitott pórusok térfogata egyenlő vagy nagyobb, mint a felgőzölendő anyag térfogata. A betétet úgy helyezzük el a tégelyben, hogy annak a falaitól rés választja el. A vákuumgőzölés útján vékonyrétegeket felhordó gőzölögtető berendezés lehetővé teszi, hogy megszüntessük az újbóli elgózölögtetéshez való visszavezetéskor a hordozóra rá nem került anyag veszteségeit, megnöveljük a vékonyrétegek vastagságának egyenletességét, csökkentsük az anyagveszteséget a felgözölögtetésnél tetszőleges alakú és méretű hordozóra, valamint a vékonyréteg-technológiában használatos tetszőleges anyagot gőzölhessünk fel. Ezenkívül a gőzölögtető 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 5
