196011. lajstromszámú szabadalom • Porlasztó katód
1 2 A találmány tárgya porlasztó katód síktól eltérő alakú szubsztrátumra porlasztóit bevonat készítéséhez, amelynek forgatható, hosszúkás csöve van,ennek külső felületén a porlasztandó bevonóanyagból lévő rétege van. A4.356.073. számú US szabadalmi leírásban (megjelent: 1982 október 26.) egy vákuum alá helyezhető bevonó kamrában forgatható magnetron katód van ismertetve, amely katódnak hosszúkás, hengeres, csőalakú eleme van amelynek az átmérője annak hossza mentén lényegéin állandó, és egy lényegében síkalakú szubsztrátumra porlasztandó bevonó anyagból levő réteggel van ellátva, amely szubsztrátum a porlasztás közben a katódhoz képest mozog. Ennek az ismert berendezésnek az a hátránya, hogy síktól eltérő alakú szubsztrátumra nem lehet egyenletes rétegvastagságot rápodasztani. A találmány elő célul tűztük ki egy olyan porlasztó katódnak a kidolgoztását, amelynek segítségével az ismert berendezés fent említett hátránya kiküszöbölhető, és síktól eltérő alakú szubsztrátumra is egyenletes rétegvastagság podasztható fel. A kitűzött célt a bevezetőben körülírt porlasztó kálóddal a találmány szerint úgy értük el, hogy a csőnek a porlasztófelülete hosszirányban a hengerestől eltérő alakú. Ennek a megoldásnak az az előnye, hogy a síktól eltérő alakú szubsztrátumra egyenletes bevonatot lehet ráporlasztani. A találmány szerinti podasztó katód egy előnyös kiviteli alakjánál a csőnek lényegében hordószerű alakja van. Egy másik lehetséges kiviteli alak szerint hengerestől eltérő profilja van. Célszerű lehet egy olyan cső is amelynek az átmérője a hossza mentén változó. Ezekkel a kiviteli alakokkal lehetőség van a szubsztrátum alakjának követésére. A találmány szerint a csőbe mágneses eszköz van beszerelve. A mágneses eszköz a cső hosszirányában húzódik, és annak alakhához igazodik. Ezáltal a változó keresztmetszetű cső esetén is biztosítható fiz egyenletes porlasztás. A találmány szerinti podasztó katód egy magnetronos katódos porlasztó berendezésbe építhető be, amelynek vákuum alá helyezhető bevonó kamrája van. Ebben a berendezésben a csövet hossztengelye körül forgató szerkezet van, és egy olyan mozgatószerve is van, amely a bevonandó szubsztrátumot a cső hossztengelyére merőleges irányban mozgatja. A találmány szerinti berendezést az alábbiakban a mellékelt rajzok segítségével ismertetjük részletesebben, ahol 1. ábra egy bevonó kamrának a függőleges hosszmetszetét mutatja, amelybe a találmány szerinti forgatható magnetron katód van beszerelve, a 2. ábra az 1. ábra 2-2 vonala mentén vett függőleges keresztmetszete, a 3. ábra az 1 . ábra 3-3 vonala mentén vett függőleges keresztmetszete, és végül a 4. ábra az 1. ábra 4-4 vonala mentén vett függőleges keresztmetszete. Az ábrán látható, vákuum alá helyezhető 10 bevonó kamrába egy találmány szerinti forgatható 11 magnetron katód van beszerelve. A 10 bevonó kamra előnyösen szögletes kialakítású, amelynek 12 alsó fala, 13 felső fala, a két végén 14 és 15 véglala, valamint az ábrán fel nem tüntetett oldalfalai vannak, amelyek egymáshoz tömítéssel vannak rögzítve, és ílymódon egy hennetikusan lezárt 10 bevonókamrát alkotnak. A 11 magnetron katód egy hosszúkás 16 csőből áll, amelynek tengelyirányú felülete síktól eltérő alakú S szubsztrátum podasztó bevonására alkalmas. Amint az ábrákon látható, a 16 csőnek lényegében hordószerű alakja van, amelynek 17 középrészöl viszonylag nagyobb a vastagsága, és amely a 18 és 19 végrészek felé csökken. A kiválasztott porlasztandó anyagból levői 20 bevonat a 16 cső külső felületére van felvíve. A 10 bevonó kamra vákuum alá helyezéséhez egy 21 vákuumszivattyú szolgál, amellyel a kívánt nyomás állítható be. Abban az esetben, hogyha valamilyen gázt kellene bevezetni a kamrába, akkor az a 22 vezetéken és az ebbe beiktatott 23 szelep segítségével vezethető be. A 16 cső vízszintesen van alátámasztva a két végén a 24 és 25 karimáknál fogva, amelyek egybefüggően vannak kialakítva a 26, illetve 27 csappal. A 16 cső a 24 és 25 karimákhoz 28 és 29 csavarok segítségével rögzíthető. A 26 és 27 csapok forgathatóan vannak behelyezve a 30 és 31 csapágytömbökbe, amelyek a 10 bevonó kamra 13 felső falához 30a csavarok segítségével vannak rögzítve. A 30 és 31 csapágytömbök a 10 bevonó kamra 13 felső falától térközzel vannak rögzítve, szigetelő anyagból levő 32 és 33 szalagok segítségével. A 30 és 31 csapágy tömbök nyílásának átmérője kismértékben nagyobb, mint a beléjük nyúló 26 és 27 csapok átmérője, és ílymódon a 26 és 27 csapokat egy viszonylag szűk, gyűrűalakú 34 és 35 csatorna veszi körül. A gyűrűalakú 34 és 35 csatornák az ellentétes oldalaikon 36, illetve 37 tömbcsapágyakkal vannak lezárva, amely 36 és 37 tömbcsapágyak a 26, illetve 27 csapokat a 30, illetve 31 csapágytömbökben lévő nyílásokban központosán megtartják. A 26 és 27 csapokon lévő 24 és 25 karimák, valamint a 30 és 31 csapágy tömbök közé 40, illetve 41 szigetelő alátét van behelyezve, amely meggátolja, hogy a 16 csőhöz továbbított hűtőközeg a 10 bevonó kamrába juthasson. A 26 csapban két vízszintes 42 és 43 vezeték van kialakítva, amelyek a gyűrűalakú 34 csatornától vezetnek, és amelyek a 16 csővel közlekednek. A 30 csapágy tömbben egy rövid függőleges 44 vezeték van kialakítva, amely a 34 csatornától a 30 Csapágytömbbe becsavart bevezető 45 csőhöz vezet. A 45 Csövön és a 44 vezetéken keresztül hűtőközeget, mint például vizet, vezetünk a 34 csatornába, ahonnan az a 42 és 43 vezetékeken keresztül a 16 csőbe áramlik. A hűtőközeg körüljárja a 16 csövet, és amkk másik végén távozik a 27 csapban levő vízszintes 46 és 47 vezetékeken keresztül a 35 csatornába, majd innen a 31 csapágy tömbben levő függőleges 48 vezetékbe, majd egy kivezető 49 csőbe. A 16 csövet egyik végén egy 50 motor hajtja, amely a 10 bevonó kamra 13 felső falára van szerelve. Az 50 motor egy szigetelt 51 tengelykapcsolón keresztül csatlakozik egy függőleges 52 orsóhoz, amelyhez egy 53 csiga kapcsolódik, és alkot egy 54 csigahajtást, amely a hozzá tartozó 26 csaphoz van rögzítve. Egy 55 mágneses eszköz két párhuzamos A és B sorban elrendezett, U-alaku permanens 56 mágneseket tartalmaz (4. ábra), amely A és B sorok a 16 cső-196.01 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 2
