196011. lajstromszámú szabadalom • Porlasztó katód
1 2 196.011 nek az alsó részén hosszirányban húzódnak. Az 56 mágnesek az egyes A, illetve B sorokban egyvonalba esnek, és az egyik A sor 56 máaiesei a másik B 5 sor 56 mágneseihez képest eltolt helyzetűek, és egymást átlapolják. Az 56 mágnesek az A és B sorokban egymáshoz képest szögben vannak elhelyezve, amint az a 4. ábrán látható. Valamennyi A, illetve B sorban levő 56 mágnesek külső 57 szára egy hosszirányban ..q húzódó, viszonylag keskeny, megfelelő mágneses anyagból levő 58 szalaghoz kapcsolódik, míg az 56 mágnesek belső 59 szára egy hasonló mágneses 60 szalaghoz kapcsolódik, amely párhuzamos az 58 szalagokkal. A permanens 56 mágnesek a mágieses 58 és 60 -|5 szalagokkal együtt a 61 és 62 csavarokkal rögzítve vannak, amely 58 és 60 szalagok alakja hosszirányban megfelel a 16 cső tengelyirányú görbületének, és amelynek az alsó 63 felülete megfelel a 16 cső belső felülete keresztmetszeti görbületének. Az U-alakú 16 mágnesek előnyösen úgy vannak 20 elrendezve, hogy az északi pólusuk a mágneses 60 szalaghoz kapcsolódnak. Természetesen azonban más permanens mágnesek vagy elektromágnesek is alkalmazhatók az említett U-alakú 56 mágnesek helyett. Az 56 mágnesek a 16 cső belső felületéhez közel _ helyezkednek el, amelyeket egy vízszintes 64 rúd ^ tart, 65 függesztőkengyelek segítségével, amely 64 rudat a két végén a 26 és 27 csap támaszt alá. Amint fentebb említettük, a bevonandó S szubsztrátumoknak a felső felülete lényegében megegyezik a 16 cső hosszirányú körvonalával. Az S szubsztrá- qq tumok vízszintesen vannak alátámasztva, és a 16 cső előtt mozognak, ílymódon- felfogják a leporlasztott bevonóanyagot. Az S szubsztrátumokat bármilyen alkalmas továbbító eszköz mozgathatja, például a 66 és 67 görgők segítségével, amelyek a 68 tengelyhez vannak rögzítve. A 68 tengely a 69 és 70 csapágyba- 35 kokban van csapágyazva, amelyek a 10 bevonó kamra 12 alsó falára vannak rögzítve, A porlasztás létrejöttéhez szükséges, katódfeszültséget a 16 csőhöz egy egyenfeszültségű feszültségforrás biztosítja (az ábrán nincs feltüntetve) egy 71 vezetéken keresztül, amely egy villamos 72 érintkezőhöz csatlakozik, amely 72 érintkező csúszó érintkezést biztosít a 16 csőhöz. Nyilvánvaló, hogy változtatások és módosítások a fentebb ismertetett berendezésnél lehetségesek; anélkül azonban, hogy a találmányi gondolattól és az oltalmi körtől eltérnénk. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Porlasztó katód síktól eltérő alakú szubsztrátumra porlasztóit bevonat készítéséhez, amelynek forgatható, hosszúkás csöve van, ennek külső felületén a porlasztandó bevonó anyagból levő rétege van, azzal jellemezve, hogy a cső (16) porlasztó felülete hosszirányban a hengerestől eltérő alakú. 2. Az 1. igénypont szerinti porlasztó katód, a zzal jellemezve, hogy a csőnek (16) lényegében hordószerű alakja van. 3. Az 1. igénypont szerinti porlasztó katód, a z - zal jellemezve, hogy a csőnek (16) hengerestől eltérő profilja van. 4. Az 1. igénypont szerinti porlasztó katód, a zzal jellemezve hogy a csőnek (16) az átmérője a hossza mentén változó. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti porlasztó katód, azzal jellemezve, hogy a csőbe (16) mágneses eszköz (55) van beszerelve. 6. Az 5. igénypont szerinti porlasztó katód, a zzal jellemezve, hogy a mágneses eszköz (55) a cső (16) hosszirányában húzódik, és annak alakjához igazodik. 2 db rajz Kiadja: Országos Találmányi Hivatal Felelős kiadó; Himer Zoltán KODEX 3
