195927. lajstromszámú szabadalom • Berendezés vékonyrétegű bevonatok felvitelére elektrosztatikus szórással
2 195927 3 A találmány tárgya olyan berendezés, amelynek segítségével elektrosztatikus térben célszerűen elektrosztatikus szórással lehet vékonyrétegű bevonatokat felvinni különféle termékekre. A találmány szerinti berendezés segítségével legeredményesebben fémek felületére lehet katalitikusán aktív fémoxidréteget felvinni, amelyek az elektrokémiai folyamatokban mint elektródák vagy szerves szintézisnél mint katalizátorok kerülnek felhasználásra. A gyakorlatban a fómoldatok elektrosztatikus szórásával létrehozott vékonyréteg bevonatoknál a bevonat felvitelénél több probléma vetódik fel, amely abból adódik, hogy a fémoldatból túl nagy mennyiség fogy el inproduktiv úton, ami már csak azért is hátrányos, mert általában titánelektródákról van szó, amelyek platinacsoportbeli fém oxidjával vannak bevonva, így a nagy anyagveszteség nem engedhető meg. A SU 568466 sz. szerzői tanúsítvány egy olyan berendezést ismertet, amelynek segítségével elektrosztatikus szórással lehet különféle bevonatokat felvinni a bevonni kívánt termékre. Ez a berendezés tartalmaz egy szórandó folyadékot tartalmazó tartályt, nagyfeszültségű generátort, amelynek az egyik pólusa az elektrosztatikusán szórandó folyadékkal van összekapcsolva, másik pólusa pedig földelve van. Ugyancsak tartalmaz ez a berendezés egy porlasztót, amely az elektrosztatikusán szórandó folyadékot tartalmazó tartállyal összekapcsolt hajBzálcBÖvet és egy az előbbi fő hajszálcsőként kiképezett hajszálcsőtől villamosán szigetelt és azzal egy tengelyben elhelyezett fókuszáló elektródát foglalja magába. Ennél a berendezésnél a fő hajszálcső fémből van, a fókuszáló elektróda pedig földelve van. A fent ismertetett berendezés azonban nem teszi lehetővé, hogy nagyobb villamos vezetőképességgel rendelkező folyadékok, például fómsóoldatok, elektrosztatikus szórásával egyenletes bevonatot lehessen létrehozni. További hiányosságként kell megemlítenünk, hogy a fenti berendezéssel készíteti bevonat nemcsak ott alakul ki, ahol előzetesen kívántuk, így ez a folyadékból a veszteséget megnöveli. További hátrány, hogy nem kerülhető el a szórandó folyadék kiöntése sem, így ez további veszteséget fog okozni. A fentiek sorén ismertetett hiányosságok, amelyek következtében tehát egyrészt bevonat, illetve anyag kerül a nemkívánatos helyekre, továbbá a folyadék egy része kiöntésre kerül, adott esetben a szórandó folyadéknál akár 50%-os veszteséget is okozhat. Ismeretes továbbá, hogy a berendezés vékonyrótegű bevonatok számára úgy is használható, hogy a Bzórandó folyadék igen kis kifolyási sebességgel hagyja el a hajszálcsövet, azaz sebessége legfeljebb 10"< -- 10~3 cmVs, így tehát igen kis teljesítményre van csak szükség. Ha azonban a szórandó folyadék sebességét megnöveljük, a folyadék a hajszálcsöböl nagy cseppként kerül át a fókuszáló elektródára, és a fém hajszálcső és a földelt fókuszáló elektróda között koronakisülés jön létre, amely a bevonat egyenletességét beleértve a szórás folyamatának a beállítását is hátrányosan befolyásolja. A találmány feladatául tűzte ki egy olyan berendezés kialakítását vékonyrétegű bevonatoknak elektrosztatikus szórással való készítésére, ahol a hajszálcső olyan anyagból van kiképezve és a fókuszáló elektródával olyan kapcsolatban van, amely lehetővé teszi az egyenletes bevonat elkészítését úgy, hogy azzal egyidejűleg lecBÖkkfin egyrészt a szóróshoz használt folyadék vesztesége és nő a szórandó folyadéknak a kifolyási sebessége a hajszálcsőből. A találmány szerinti berendezés tehát berendezés vékonyrétegű bevonatok készítésére elektrosztatikus szórással, amely berendezés tartalmaz egy, a szórandó folyadékot magába foglaló tartályt, nagyfeszültségű generátort, amelynek egyik pólusa a szórandó folyadékkal van ÖBSzekapcsolva, másik pólusa pedig földelve van, tartalmaz továbbá a berendezés porlasztót, amely egy az elektrosztatikusán szórandó folyadékkal összekapcsolt hajszálcsövet és egy ettől a hajszálcsótől villamosán szigetelt és azzal egytengelyűén kiképezett fókuszáló elektródát tartalmaz. A találmány szerinti, berendezés úgy van kialakítva, hogy a porlasztóban lévő hajszálcső dielektrikumból van kiképezve, a fókuszáló elektróda pedig a nagyfeszültségű generátornak arra a pólueiára van csatlakoztatva, amely az elektrosztatikusán szórandó folyadékkal van összekapcsolva. Célszerű a találmány szerinti berendezésnek azon kiviteli alakja is, ahol a porlasztóban még legalább egy további szintén dielektrikumból kiképezett és az elektrosztatikusán porlasztandó folyadékkal kapcsolatban álló hajszálcső és ezzel megegyező bzómú, ettől szigetelt fókuszáló elektróda is ki van képezve, amely(ek) szintén a nagyfeszültségű generátornak azzal a pólusával van(nak) összekapcsolva, amely a porlasztandó folyadék is össze van kapcsolva. A találmány szerinti berendezés még egy további előnyös kiviteli alakját az jellemzi, hogy a porlasztóban még egy további, az elektrosztatikusán porlasztandó folyadékkal összekapcsolt cső van kialakítva, amelynek a falában vannak a hajszálcsövek elhelyezve, ób ezzel egytengelyűén egy további, az előző csőnél nagyobb átmérőjű cső is ki van képezve, amelynek faléban a fókuszáló elektródák vannak elhelyezve. A találmány szerinti berendezés egyik további előnyös kiviteli alakja, úgy van ki5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 3