195337. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nedvességérzékelő detektor előállítására
1 HU 195 337 B 2 A dielektrikum kialakítása előtt vagy után vákuumtechnikai úton készítjük el a két fegyverzet elektromos kivezetését biztosító két kontaktfelületet. Megjegyezzük, hogy a 16 első kontaktfelület lehet egymagában az első fegyverzetet képező 13 alumíniumréteg is. Ezeken a helyeken kontaktus céljára az eszköz meghatározott felületrészére tapadórétegként krómot vagy nikkelt, stb., majd erre korrózióálló vezetőfémet, pL arany vagy palládiumréteget viszünk fel alkalmas árnyékoló maszkon keresztül. A tapadóréteg vastagsága kb 50 nm. A tapadó és a vezetőréteg tapadását a két anyag részben egyidejű felvitelével segítjük elő. A rétegek együttes vastagsága általában nem nagyobb, mint kétszáz nm. A példakénti kiviteli alaknál az oxidálás előtt a 13 alumíniumrétegre - első fegyverzet - a 16 első kontaktfelület, oxidálás után pedig a 14 oxidrétegre a 17 második kontaktfelület van felvive az előbbiek szerint A 17 második kontaktfelület kialakítása után, mint már ismertettük, készítjük el a 15 második fegyverzetet, ami nedvességet áteresztő arany vagy palládium réteg, amit vákuumtechnikai úton viszünk fel kb. 60 nm vastagságban, megfelelő árnyékoló maszkon keresztül. A 12 szilárd hordozó felületnagysága olyan méretű is lehet, hogy azon egyidejűleg több nedvességdetektort alakítunk ki Az egyes nedvességdetektorok szétválasztását a 12 szilárd hordozó jellege határozza meg. Üveghordozó esetén az egyes nedvességdetektorokat gyémánttal való vágással választjuk szét. Arra azonban ügyelnünk kell, hogy az egyes nedvességdetektorok fegyverzetének egymást fedő területrészei, vagyis az egyes nedvességdetektorok aktív tartománya mechanikai hatásoktól - pl. átszúrás, karc - ne károsodjék. Az 1. ábrán látható nedvességdetektort egy folírozott lemezből készített 11 tartólemezre ragasztjuk, melyre előzőleg két, egy 22 első és egy 23 második vezetősávot marattunk. A két, 22 és 23 vezetősávhoz egy 24 első és egy 25 második forrasztással végezzük a 20 első és a 21 második kivezetés rögzítését, miután azokat all tartólemez egy-egy furatán átfűztük. A16 első kontaktfelülethez 18 első kontaktragasztással a 20 első kivezetést, a 17 második kontaktfelülethez a 19 második kontaktragasztással pedig a 20 második kivezetést rögzítjük. A kivezetéseket rugalmas vékony aranyszálakból készítjük, a kivezetések rögzítését és kontaktálását vezető kontaktragasztóval végezzük. Ezután az egyes nedvességdetektorokat levegőatmoszférán 120 °C-nál nem magasabb hőmérsékleten, legalább egy órán át történő hőkezeléssel előregítjük és stabilizáljuk, ami egyben a vezető kontaktragasztó kikeményítését - térhálósítását - is szolgálja. A fentiek szerint elkészült nedvességdetektorok dielektrikumának átütési feszültsége nam túl magas, ezért a kezelések során óvni kell a magas statikus feszültségek roncsoló hatásától. A 2. ábra a nedvességdetektort elölnézetből szemlélteti, melyen all tartólemez, a 14 oxidréteg, a 15 második fegyverzet, a 16 első kontaktfelület, a 18elsőésa 19 második kontaktragasztás, a 20 első és a 21 második kivezetés látható. A példakénti kiviteli alaknál a 12szüárd hordozó mérete 20 x5x 1 nm, a 15 második fegyverzet - aranyréteg - felülete 13x2 mm, a nedvességdetektor kapacitása pedig nF nagyságrendű. A 3. ábrán all tartólemez látható, a 24 első és a 25 második forrasztással biztosítottuk a 20 első és a 21 második kivezetés, valamint a 26 első és 27 második kivezető huzal elektromos kapcsolatát A 4.ábra a szerelt nedvességdetektort szemlélteti a 28 csatlakozó dugasszal és a 29 védőburával, mely szinterbronzból készüL A 29 védőbura védi a nedvességdetektort a mechanikai sérülésektől, ugyanakkor porózus szerkezete biztosítja a nedves gázok akadálymentes áthaladását. A 28 csatlakozó dugaszhoz a 29 védőbura csavarmenettel van rögzítve. A nedvességdetektor a 26 első és a 27 második kivezető huzalja elektromosan forrasztással csatlakozik a 28 csatlakozó dugasz egy-egy kivezető lábához. A találmány szerinti nedvességdetektor pl. az alább felsorolt fontosabb eljárási lépésekkel készülhet: 1. - Nagytisztaságú alumíniumréteg kialakítása, vagy nagytisztaságú alumínium hordozó lemez;- Kezelés f orró vízzel vagy gőzzel;- Kontaktusok kialakítása és a második fegyverzet felvitele;-Darabolás;- Hőkezelés 120 °C-on, egy órán át öregítő kezelés. 2. - Nagytisztaságú alumíniumréteg kialakítása;- Kezelés forró vízzel vagy gőzzel;- Hőkezelés kb. 400 °C-on;- Kezelés forró vízzel vagy gőzzel;- Kontaktus és második fegyverzet kialakítása; -Darabolás;- Hőkezelés 120 °C-on, egy órán át öregítő kezelés. 3. - Nagytisztaságú alumíniumréteg kialakítása;- Kezelés f orró vízzel vagy gőzzel;- Hőkezelés kb. 400 °C-on;- Kezelés forró vízzel vagy gőzzel;- Anódos oxidáció vízszegény elektrolitban;- Kontaktus és második fegyverzet kialakítása; -Darabolás;- Hőkezelés 120 °C-on, egy órán át öregítő kezelés. 4. - Nagytisztaságú alumíniumréteg kialakítása;- Kezelés forró vízzel vagy gőzzel;- Hőkezelés kb. 400 °C-on;- Kezelés forró vízzel vagy gőzzel;- Hőkezelés kb. 400 °C-on;- Kezelés forró vízzel vagy gőzzel;- Anódos oxidáció vízszegény elektrolitban;- Kontaktus és második fegyverzet kialakítása; -Darabolás;- Hőkezelés 120 °C-on, egy órán át öregítő kezelés. Az 5. ábra néhány nedvességdetektor tipikus logaritmikus skálaértékét szemlélteti a vízszintes tengelyen harmatponti hőmérséklet függvényében. A három 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 4
