195337. lajstromszámú szabadalom • Eljárás nedvességérzékelő detektor előállítására
görbe, mint az ábrán látható, jellegében azonos, de induló értékben és meredekségben különböző. A példa szerinti 1. pontnak megfelelő eljárási lépésekkel előállított nedvességdetektor görbéjét a szaggatott vonallal rajzolt a görbe mutatja. Gyártási kihozatala kb. 80%. A 2. pont szerinti eljárási lépésekkel előállított nedvességdetektor görbéjét a folyamatos vonallal rajzolt b görbe mutatja. Ezen görbe meredeksége a legnagyobb, de gyártási kihozatala a legkisebb, kb. 58%. A 3. pont szerinti eljárási lépésekkel előállított nedvességdetektor görbéjét az eredményvonallal rajzolt c görbe mutatja. Ezen görbe meredeksége az előbbinél kisebb, de gyártási kihozatala jobb, kb. 83%. A találmány szerinti eljárás előnye, hogy a nedvességdetektor egyszerű technológiával állítható elő és stabil üzemi paraméterekkel rendelkezik. Használata különösen száraz közegek (pL permanens, nem korrozív gázoknak szobahőmérsékleten -80 °C harmatpont értékig is) nedvességtartalmának mérésére előnyös. SZABADALMI IGÉNYPONTOK 1. Eljárás nedvességérzékelő detektor előállítására, melynek során egy kondenzátor két, első és második fegyverzetét kivezetéssel, valamint a köztük lévő dielektrikum réteget alakítjuk úgy, hogy egy szilárd hordozó, pL üveg felületén első fegyverzetként legalább 0,5 jun vastagságú nagytisztaságú 99,99%-os alumíniumréteget (13) alakítunk ki, vagy vákuumtechnikai úton jól tapadó alumíniumréteget (13) viszünk fel, azzal jellemezve, hegy a szilárd hordozót (12) az alumíniumréteggel (13) legalább három percig, előnyösen 100 °C hőmérsékleten kétszer desztillált vízben főzzük, vagy annak egy bar-nál nagyobb nyomású gőzében kezeljük, majd víztelenítés után a dielektrikumot alkotó oxidrétegre (14), vagy annak egy felületrészére vákuumtechnikai úton visszük fel a második fegyverzetet (15), ami nedvességet áteresztő vékony réteg, célszerűen aranyréteg, és a második fegyverzetet (15) egyben a második kontaktfelülethez (17) is csatlakoztatjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a szilárd hordozóra (12) felvitt alumíniumréteg (13) tapadásást levegőatmoszférán a vizes főzés vagy gőzkezelés előtt, előnyösen 250 °C hőmérsékleten, célszerűen két óráig tartó hőkezeléssel növeljük. 1 HU 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy közvetlenül a vizes főzés vagy gőzkezelés előtt az alumíniumréteggel (13) ellátott szüárd hordozót (12) befogó szerelvényeivel együtt, előnyösen 100 °C hőmérsékletre előmelegítjük. 4. Az 1 -3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a vizes főzéssel vagy a gőzkezeléssel kialakított oxidréteget (14) szárítás után a második fegyverzet (15) - aranyréteg - felvitele előtt fokozatos felfűtéssel és a felfűtést követő lehűtéssel legalább három percig, célszerűen 400 °C hőmérsékleten hőkezeljük, majd legalább három percig, előnyösen 100 6C hőmérsékleten kétszer desztillált vízben főzzük, vagy gőzben kezeljük. 5. A 4. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a hőkezelést célszerűen 400 °C hőmérsékleten és az ezt követő vizes főzést vagy gőzkezelést legalább egyszer megismételjük. 6. Az 1 -5. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy az oxidréteget (14) a második fegyverzet (15) pl aranyréteg felvitele előtt vezérlő vízszegény elektrolitban anódosan oxidáljuk. 7. A 6. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a vízszegény elektrolitban nátriumvolframátot a1kalTna7imk-8. Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a második fegyverzet (15) pL aranyréteg felvitele előtt a villamos csatlakozásra szolgáló második kontaktfelületet (17) az oxidrétegen (14) maszkolással, a másodikfegyverzet (15) részeként vákuumtechnikai úton egy tapadó pl króm vagy nikkel és egy vezető fém, amely célszerűen nemesfém-réteg, egymást követő vagy részben egyidejű felvitelével állítjuk elő, melyek együttes vastagsága nem nagyobb 200 nm-nél, miközben a tapadóréteg vastagsága kb. 50 nm. 9. Az 1 -8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a detektor készítés záró fázisaként a nedvességdetektort célszerűen 120 °C hőmérsékleten egy órán át tartó hőkezeléssel elööregítjük, illetve stabilizál juk. 10. Az 1-9. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a hordozó felületén kialakított detektorokat elkészítés után a szilárd hordozó darabolásával szétválasztjuk. 337 B 2 195 5 10 15 20 25 30 35 40 45 5
