187713. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető amorf vékonyrétegek előállítására különösen félvezető eszközökhöz
1 187 713 2 13. A 12. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a poliszilánt 300 °C és 500 °C közötti hőmérsékleten bontjuk meg. (Elsőbbsége: 1981.03. 11) 14. A 12. vagy 13. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy egy vagy több dópolt amorf szilíciumréteget választunk le dópoló anyagokat tartalmazó gázkeverékekből. (Elsőbbsége: 1981. 03. 11.) 15. A 12. vagy 14. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a dópolt amorf szilíciumrétegek között tiszta szilícium vékonyrétegeket választunk le. (Elsőbbsége: 1981. 03. 11.) 16. Az 1-11. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a félvezető-fém polivegyületeként legfeljebb hat germánium atomos poligermán(oka)t bontunk meg. (Elsőbbsége: 1981.03.11.) 17. A 16. igénypont szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a poligermánt 150 °C és 220 °C közötti hőmérsékleten bontjuk meg. (Elsőbbsége: 1981.03. 11.) ö 18. A 12-17. igénypontok szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a félvezető-fém polivegyületét a g£ ztérben létrehozott parázsfénykisüléssel bontjuk meg. (Elsőbbsége: 1984. 09. 21.) 19. Az 1-18. igénypontok bármelyike szerinti 10 el árás, azzal jellemezve, hogy a félvezető-fém polivegyületét olyan gáztérben bontjuk meg, amelyben e vegyület parciális nyomása 1,3-105 Pa alatti, előnyösen 0,1 és l^-WPa közötti. (Elsőbbsége: 1981.03.11.) 15 20. Az 1-18. igénypontok bármelyike szerinti eljárás, azzal jellemezve, hogy a félvezető fém polivegyületét 102 Pa és 1,5-104 közötti nyomáson bontjuk meg. (Elsőbbsége: 1981. 03. 11.) 5 oldal rajz
