187713. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető amorf vékonyrétegek előállítására különösen félvezető eszközökhöz

.187 713

NSZ04: C 01 B 33 02;

B 05 D 5/í 2

Elszívás

1 ■ábra

1

212

I

211

213

9