187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
187 686 zeget 166 tápcsövön keresztül vezetjük be, amely a 121 bevonó kamra felső 149 falának 167 részén van rögzítve (11. ábra). A 166 tápcső a 130 tengelycsapban kialakított 168 vezeték külső végéhez torkollik, amely a 165 térbe csatlakozik a katód szomszédos végénél. Miután a hűtőközeg keresztüláramlott a 165 téren, a katód ellenkező végén távozik a 129 tengelycsapban lévő 169 vezetéken keresztül, amely a 170 kiömlöcsöhöz csatlakozik. Ez a 170 kiömlőcső a 121 bevonó kamra felső 149 falához van rögzítve a 171 részen. A katódporlasztással bevonandó, sík alakú 172 szubsztrátumok a 121 bevonó kamrában vízszintesen vannak alátámasztva, és a katód előtt vízszintes irányban mozognak a továbbító 173 görgők által. A 173 görgők vízszintes 174 tengelyekhez vannak rögzítve, amelyek a 121 bevonó kamra 177 aljára erősített csapágytömbökben vannak csapágyazva. A 121 bevonó kamrában a megkívánt nyomáshoz szükséges légtelenítést a 178 vákuumszivattyú biztosítja. Abban az esetben, ha a 121 bevonó kamrába valamilyen gázokat kellene bevezetni, úgy az a 180 szeleppel szabályozott 179 vezetéken keresztül lehetséges. Amint azt fentebb már ismertettük, a külső 120 cső úgy van kialakítva, hogy a porlasztóbevonás művelete alatt az folyamatosan forog. Ezzel egyidejűleg a 172 szubsztrátumok a katód előtt vízszintes irányban mozognak és felfogják a 120 csőről leporlasztott bevonó anyagot. A 120 cső hossztengelye keresztirányú a 172 szubsztrátumok mozgási irányára. A porlasztáshoz szükséges katódpotenciált a porlasztandó anyaghoz egy - az ábrán fel nem tüntetett - egyenfeszültségű feszültségforrás biztosítja a 181 vezetéken keresztül, amely a 120 csőhöz 182 csúszóérintkezőn keresztül csatlakozik. A találmány előnyös kiviteli alakjait a rajzokon bemutattuk és a fentiekben ismertettük; azonban nyilvánvaló, hogy változtatások, módosítások lehetségesek anélkül, hogy a találmány lényegét megváltoztatnánk vagy túllépnénk a szabadalmi igénypontok oltalmi körét. Ilyen változtatás lehet például, hogy különböző típusú permamens mágneseket alkalmazunk, vagy például elektromágneseket alkalmazunk az U-alakú permanens mágnesek helyett. Szabadalmi igénypontok 1. Berendezés sík szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására, amelynek légteleníthető bevonó kamrája, a bevonó kamrába vízszintesen beszerelt katód van, a kátédon belül mágneses eszköz van, továbbá a bevonó kamrában a szubsztrátumot vízszintesen alátámasztó és azt a porlasztott anyag felfogására a mágneses eszköz előtt mozgató eszköze van, azzal jellemezve, hogy a katódszerelvény (20, 82, 83, 96-99) egy hosszúkás hengeres cső (31, 85, 101), amelynek a külső felületén a porlasztandó anyagból levő réteg (33, 85a, 122) van, a hengeres csőben (31,85, 101) levő mágneses eszköz (32, 70, 86, 126) mentén hosszirányban húzódó porlasztó zóna van, továbbá a hengeres csövet (31, 85, 101) hossztengelye körül forgató szerve van. 25 2. Az 1. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mágneses eszköz (32, 70, 86, 136) egyes mágnesek elrendezéséből áll, amelyek a csövön (31, 85, 101) belül hosszirányban, legalább egy sorban (C) vannak elrendezve. 3. A 2. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mágnesek permanens mágnesek (47, 71, 87, 102, 164). 4. A 3. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mágnesek U-alakú permanens mágnesek (47, 71, 87, 102, 164), amelyeknek a szárai (48, 50, 52, 53, 72, 73) a csövön (31, 85, 101) belül hosszirányban elnyúló mágneses szalagokhoz (49, 15 51, 54, 74, 75, 88, 89, 103, 104) vannak rögzítve. 5. A 4. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mágneses szalagok (49, 51, 54, 74, 75, 88, 89, 103, 104) a cső (31, 85, 101) falánál vannak elrendezve, és a cső (31, 85, 101) fala felé néző felületük (59, 78, 79) alakja a cső (31,85,101) belső felülete görbületének felel meg. 6. Az 1-5. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a cső (31, 85, 101) egyik vége zárt, másik vége nyitott, és a csövön (31, 85, 101) belül hosszirányban elnyúló vezetéke (44, 80, 95, 113-116) van, amelynek külső végén (45) hűtőfolyadék csatlakozó van, és a vezetéken (44, 80,95, 113-116) a cső (31, 85, 101) belsejébe torkolló nyílások (46, 81) vannak. 7. A 6. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy a mágneses eszköz (32, 70, 86, 126) a vezetékhez (44, 80,95,113-116), azzal együttforgóan van rögzítve, és a vezeték (44, 80, 95, 113-116) a hossztengelye körül a csőhöz (31, 85, 101) képest elforgatható. 8. Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy egy bevonó kamrában (84, 100) több katódszerelvény (82, 83, 96-99) van, amelyek egy síkban, egymással párhuzamosan vannak elrendezve, és a szomszédos katódszerelvé-0 nyék (82, 83, 96-99) mágneses szalagjai (88, 89, 103, 104) ellentétes végeiken (92, 107, 108, 109) egymás felé hajlanak és közöttük permanens mágnesek (93, 94, 110, 111, 112) vannak elrendezve. 9. A 2-7. igénypontok bármelyike szerinti beren- 45 dezés, azzal jellemezve, hogy a mágnesek (47, 164) két párhuzamos sorban (A, B, illetve D, E) vannak, és a két sor (A, B, illetve D, E) mágnesei (47, 164) váltakozva és egymást átlapolva vannak elrendezve. 50 10. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy második, hosszúkás csövet (125) is tartalmaz, amely az első csőbe (120), azzal koncentrikusan és ahhoz térközzel rögzített helyzetben van beszerelve, továbbá az első és 55 második cső (120 és 125) között hűtőközeget vezető tere (165) van. 11. A 10. igénypont szerinti berendezés, azzal jellemezve, hogy az első csőnek ( 120) véglapjai ( 127. 128) vannak, amelyen belül a második csőnek (125) 60 az első cső (120) véglapjaihoz (127, 128) térközzel elrendezett véglapjai (123, 124) vannak, továbbá az első és második cső (120, 125) közötti térbe (165) az egyik végén hűtőközeget bevezető tápcsöve (166), a másik végén a hűtőközeget a térből (165) 65 elvezető vezetéke (166) van. 35 6
