187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére

1

187 686

2

12. Eljárás az 1-11. igénypontok bármelyike szerinti berendezés üzemeltetésére, azzal jellemezve, hogy a csövet (31, 85, 101, 120) a porlasztás művelete alatt hossztengelye körül folyamatosan forgatjuk, és ily módon a porlasztandó anyag különböző részeit a porlasztáshoz a porlasztó zónába hozzuk, és egyidejűleg a sík szubsztrátumot (S, 172) a porlasztó zóna mentén folyamatosan mozgatjuk.

13 db ábra