187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
1 187 686 2 mennyi 96-99 katódszerelvény 85 csövénél egyetlen sorban lévő U-alakú 102 permanens mágnesekből álló mágneses eszköz van, amely 102 permanens mágnesek ellentétes szárai a mágneses 103 és 104 szalagokhoz kapcsolódnak, amelyekhez a 105 és 106 csavarokkal vannak rögzítve. A mágneses 103 szalagok alkotják az északi pólust, míg a mágneses 104 szalagok alkotják a déli pólust. A 96, 97, illetve a 98, 99 katódszerelvények mágneses 103 szalagjai egyik végükön túlnyúlnak az egyesített 104 szalagokon, és a 107 és 108 végeiknél befelé vannak hajlítva. Másrészről a 97 és 98 katódszerelvények mágneses 104 szalagjai túlnyúi- • nak az egyesített mágneses 103 szalagokon a 102 permanens mágnesek sorának másik végén, és 109 végüknél befelé vannak hajlítva. A 96 és 97 katódszerelvények mágneses 102 szalagjai befelé hajlított 107 végei között U-alakú 110 permanens mágnes van elhelyezve, és egy hasonló 111 permanens mágnes található a 98 és 99 katódszerelvények mágneses 103 szalagjainak befelé hajlított 108 végei között. A 97 és 98 katódszerelvények mágneses 104 szalagjai befelé hajlított 109 végei között szintén található egy hasonló 112 permanens mágnes. A különálló 110, 111 és 112 permanens mágnesek a 96-99 katódszerelvények ellentétes végeinél az egyesített mágneses 103, 104 szalagok végei közötti rést hidalják át, és azokkal együtt egy szerpentin vonalú mágneses mezőt hoznak létre. A 96, 97, 98 és 99 katódszerelvények 101 csövei a 100 bevonó kamrában vannak felszerelve oly módon, hogy azok egymástól függetlenül elforgathatok, és amelyeken azonos vagy különböző bevonó anyagok lehetnek. A 96-99 katódszerelvények belülről szintén hűtve vannak a 113, 114,115 és 116 vezetékeken keresztül áramoltatott hűtőközeggel, amely 113-116 vezetékekhez a 102 permanens mágnesek vannak rögzítve. A találmány egy másik kiviteli alakját a 9-13. ábrák szemléltetik, amely a korábban ismertetett kiviteli alakoktól lényegében abban különbözik, hogy míg korábbi kiviteli alakoknál a cső alakú 20, 82, 83, 96-99 katódszerelvény forgatása hossztengelye körül szakaszonként történt, addig ennél a kiviteli alaknál a cső alakú katódot a porlasztó bevonási művelete alatt folyamatosan forgatjuk. A 9-13. ábrákon látható kiviteli alaknál bemutatott katód egy hosszúkás, hengeres 120 cső vagy cső alakú elem, amely vízszintes hossztengelye körül forgatható, és amely egy légteleníthető 121 bevonó kamra felső részében van elrendezve, külső felületére a porlasztandó bevonó anyagból lévő 122 réteg van fel vive. A 120 cső ellentétes végein 123 és 124 véglapok vannak, amely így egy forgatható céltárgyat alkot. A 120 cső belsejében ahhoz képest térközzel és koncentrikusan egy viszonylag kisebb, hosszúkás, hengeres 125 cső van elrendezve, amelyen belül a 126 mágneses eszköz található. A belső 125 cső két végén 127 és 128 véglapokkal van lezárva, amelyekre 129 és 130 tengelycsapok vannak rögzítve, ezek a 129 és 130 tengelycsapok a 120 cső 123 és 124 véglapjain lévő nyílásokon keresztül vannak csapágyazva. A 129 és 130 tengelycsapok kisebb méretű, négyszögletes 131 és 132 végrészekkel rendelkeznek, amelyek a hozzájuk tartozó és megfelelő alakú 133 bemélyedésekben vannak megtartva (11. ábra), amely 133 bemélyedések 134 és 135 tartóbakokat alkotnak. Ezeknek a 134 és 135 tartóbakoknak 136 és 137 részeik vannak, amelyek a 121 bevonó kamra részét alkotó 139 és 138 vízszintes falakon túlnyúlnak és ahhoz 140 és 141 csavarokkal vannak rögzítve. Ebben az elrendezésben a belső 125 cső rögzített helyzetű, nem tud elforogni, mig a külső 120 cső ehhez képest el tud forogni. Annak érdekében, hogy a 120 cső el tudjon forogni, annak 123 és 124 véglapjain - amint azt már fentebb említettük - központi nyílásokkal vannak ellátva, amelyeken keresztül a belső 125 cső 129 és 130 tengelycsapjai keresztülnyúlnak. Ezeket a nyílásokat kifelé irányuló 142 és 143 karimák veszik körül, amelyek a 129 és 130 tengelycsapokra felhúzott 144 és 145 csapágyperselyeket tartják. A 120 cső oldalirányú mozgását a 142 és 143 karimákhoz csatlakozó 146 gyűrűk akadályozzák meg, és a 144 és 145 csapágyperselyek belülről 147 tömítésekkel vannak ellátva. Amint azt már fentebb említettük, a 120 cső úgy van beszerelve, hogy az a bevonás művelete alatt folyamatosan elforoghat. A meghajtóeszköz egy 148 motor, amely a 121 bevonó kamra felső 149 falára van szerelve, amely felső 149 falat ellentétes végein a 121 bevonó kamra függőleges 150 és 151 falai támasztják alá. A felső 149 falat a 121 bevonó kamra 152 és 153 véglapjai is tartják. A 121 bevonó kamra felső 149 fala és függőleges oldalfalai, valamint 152 és 153 véglapjai között, továbbá a függőleges 150 és 151 falak, valamint a vízszintes 138 és 139 falak között 154 és 155 tömítőgyűrűk vannak. A 148 motor meghajtó tengelyére 156 lánckerék van rögzítve, amely egy 157 láncot hajt, amely egy vízszintes 159 tengelyen lévő 158 lánckereket hajt. Ez a 159 tengely a 121 bevonó kamra függőleges 151 falához rögzített 161 csapágy tömbben lévő 160 csapágyakban van csapágyazva, amely 161 csapágytömb a 151 falra 162 csavarokkal van rögzítve (10. ábra). A 159 tengely a függőleges 151 falban lévő nyíláson keresztülnyúlik, és belső végére 162 fogaskerék van felékelve, amely egy másik 163 fogaskerékkel kapcsolódik, amely viszont a 120 cső függőleges 124 falán lévő gyűrű alakú 143 karimához van rögzítve. A 148 motor működése közben a 120 csövet a 162 és 163 fogaskerekek hajtják, miközben a belső 125 cső helyben marad. A 126 mágneses eszköz a belső 125 csőben van rögzítve, és lényegében U-alakú 164 permanens mágnesek elrendezéséből áll, amelyek két párhuzamos D és E sorban helyezkednek el a 125 cső hossza mentén. Ezeknek a 164 permanens mágneseknek az alakja és elrendezése azonos a már fentebb, az 1., 2. és 13. ábra kapcsán ismertetettel. Az azonos alkatrészeket azonos hivatkozási számokkal láttuk el. A katód úgy van kialakítva, hogy azt belülről hűteni lehet, és e célból hűtőközeget, mint például vizet áramoltatunk a 165 téren keresztül a külső 120 cső és a belső 125 cső között, azok hossza mentén, továbbá azok véglapjai között. A hűtőkö-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 5
