187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
1 187 686 2 katódpotenciált a 3! csőhöz egy nem-ábrázolt egyenfeszültségű forráshoz csatlakozó 60 vezetéken keresztül, valamint a 31 csőhöz csatlakozó csúszóérintkezővel vezetjük. A berendezés egyébként földelve van. A bevonandó S szubsztrátumok a 21 bevonó kamrában a 20 katódszerelvény előtt vannak felfüggesztve és mozgatva egy 64 tengelyhez rögzített 62 és 63 görgők segítségével. A 64 tengely 65 és 65a csapágytömbben van csapágyazva, amelyek a 21 bevonó kamra alsó részére vannak helyezve. Amint azt már fentebb említettük, a 31 cső külső felülete az S szubsztrátumokra, azok elhaladása közben ráporlasztandó anyagból lévő 33 réteggel van bevonva. A 31 cső külső végére rögzített 66 fogantyú segítségével a 31 cső elforgatható az óramutatójárásával egyező vagy azzal ellentétes irányban, annak hossztengelye körül olyan helyzetbe, hogy a bevonó anyagnak a kiválasztott porlasztandó része a 47 permanens mágnesekkel, illetve azok mágneses terével kerüljön szembe. Amikor ennek a bevonó anyagnak ez a része elfogyott, akkor a 31 csövet tovább lehet forgatni, és a bevonó anyagnak egy új részét lehet porlasztó helyzetbe hozni. Ez az eljárás folytatható mindaddig, amíg a bevonó anyagnak a legnagyobb mennyiségét hasznosítottuk. A forgatható 31 cső külső felületének különböző részeire különböző bevonó anyagokat felvive, lehetőség van arra is, hogy különböző kiválasztott bevonó anyagokat lehet porlasztó helyzetbe hozni. Ily módon lehetővé válik, hogy az S szubsztrátumokra különböző bevonó anyagokat poriasszunk rá egyetlen katódról. A 32 mágneses eszközök a 31 csőben vannak felfogva a mágneses 49, 51 és 54 szalagokkal együtt, amelyek közvetlenül érintkeznek a 31 cső belső felületével. Ebben az elrendezésben a 31 cső forgása közben, valamint a 31 cső és a 49, 51 és 54 szalagok közötti súrlódó kapcsolat következtében, a 47 permanens mágnesek eredeti helyzetükből kismértékben elmozoghatnak a bevonó anyagnak a porlasztón részéhez képest. Ha ez előfordul, akkor a 47 permanens mágnesek a 44 vezetéknek a külső végére szerelt 67 fogantyú segítségével könnyen eredeti helyzetükbe forgathatók vissza. A 4., 5. és 6. ábrák hasonló nézetben vannak, mint az 1., 2. és 3. ábrák; ezeken azonban a 70 mágneses eszköznek egy változata látható. Ettől eltekintve a berendezés kialakítása és működése megegyezik az 1., 2. és 3. ábrával kapcsolatban leírtakkal, és az azonos alkatrészeknek azonos hivatkozási számuk van. A találmány ezen kiviteli alakjánál a 70 mágneses eszköz egyetlen C sorban elrendezett U-alakú permanens 71 mágnesekből áll, amelyeknek 72 és 73 szárai egymáshoz képest térközzel elrendezett, hosszirányban elnyúló mágneses 74 és 75 szalagokhoz csatlakoznak, amelyekhez 76 és 77 csavarokkal vannak rögzítve. A mágneses 74 és 75 szalagok alsó 78 és 79 felülete a 31 cső belső felülete görbületének felel meg. Ennél a kiviteli alaknál a létrehozott mágneses tér szintén egyenes vonalú, amely a bevonó anyag egyenes vonalú erózióját hozza létre. A 31 csövön hosszirányban elnyúló és a 71 mágnesek C sora mentén-|£vő hütó 80 vezeték van, amelyhez a 71 mágnesek vannak rögzítve. A hűtőfolyadék például víz, a 80 vezeték külső'végén van bevezetve, és a 80 vezetéken lévő 81 nyílásokon keresztül a 31 csőbe távozik. A hűtőfolyadék a 31 csövön belül körbeáramlik, és annak külső végén távozik. A 31 cső a 66 fogantyú segítségével forgatható annak érdekében, hogy a bevonó anyagnak különböző kiválasztott részei kerüljenek a 71 mágnesekkel szembe a mágneses térbe. Miután a 31 csövet abba a kiválasztott helyzetbe forgattuk, amelyben a porlasztandó bevonó anyag még nem használt része van, a 70 mágneses eszköz beállítható szükség esetén a 67 fogantyú segítségével oly módon, hogy a porlasztandó bevonó anyag megfelelő helyzetbe kerüljön. A 7. és 8. ábrákon a találmány egy másik lehetséges kiviteli alakja vázlatosan látható, amelyeknél több, a 4., 5. és 6. ábrákon bemutatott forgatható katód van alkalmazva. A 7. és 8. ábrákon két 82 és 83 katódszerelvény van vízszintesen, egymáshoz képest párhuzamosan és térközzel elhelyezve egy légteleníthető 84 bevonó kamrában. Mindkét 82 és 83 katódszerelvény hoszszúkás, hengeres alakú 85 csőből áll, amelynek külső felületére a porlasztandó bevonó anyagból lévő 85a réteg van felvive. A 85 csövön belül egyetlen sorban elhelyezett U-alakú 87 permanens mágnesekből álló 86 mágneses eszköz van elhelyezve, amelynél a 87 permanens mágnesek ellentétes szárai hosszirányban elnyúló mágneses 88 és 89 szalagokhoz kapcsolódnak, amelyekhez a 90 és 91 csavarokkal vannak rögzítve. A 82 és 83 katódszerelvények külső mágneses 88 szalagja az északi pólust alkotja, és a belső mágneses 89 szalag a déli pólust. A külső mágneses 88 szalag a belső mágneses 89 szalag mellett húzódik, és a 92 végüknél egymás felé befelé vannak hajlítva. A 82 és 83 katódszerelvények közé, azok ellentétes végeinél további U-alakú 93 és 94 permanens mágnesek vannak elhelyezve, amelyek a mágneses 88 szalagok befelé hajlított 92 végei közötti rést áthidalják, és ezekkel együtt egy zárt hurok alakú vagy „lóversenypálya” alakú mágneses teret hoznak létre. A 82 és 83 katódszerelvények a 95 vezetékeken bevezetett hűtőfolyadékok által hütve vannak, amint azt már fentebb az 1., 2. és 3. ábrákkal kapcsolatban részletesen leírtuk. A 82 és 83 katódszerelvények 85 csöve egymástól függetlenül forgatható annak érdekében, hogy az azok külső felületén lévő bevonó anyagnak még nem használt része a 87 permanens mágnesek előtti megfelelő helyzetbe kerülhessenek. A 85 csövekre akár azonos, akár különböző bevonó anyagokat lehet felvinni. A 8. ábrán bemutatott találmány szerinti kiviteli alak abban különbözik a 7. ábrán bemutatottól, hogy ebben az esetben négy 96, 97,98 és 99 katódszerelvény van vízszintesen, egymástól térközzel, párhuzamosan elhelyezve a 100 bevonó kamrában. Ezek a 96-99 katódszerelvények előnyösen azonos kialakításúak, mint az a 7. ábrán látható, amely mindegyike egy hosszúkás, hengeres, forgatható 101 csőből áll, és amelyek külső felületére a porlasztandó anyagból lévő réteg van felvive. Vala5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 4
