187686. lajstromszámú szabadalom • Berendezés sik szubsztrátumra kiválasztott bevonó anyagból filmbevonat ráporlasztására és eljárás a berendezés üzemeltetésére
1 187 686 2 4. ábra a találmány szerinti további kiviteli alaknak az 1. ábrához hasonló nézete; az 5. ábra a 4. ábra 5-5 vonala mentén vett vízszintes hosszmetszet; a 6. ábra a 4. ábrának az oldalnézete; a 7. és 8. ábra a találmány további két módosított kiviteli alakjának síkba kiterített, vázlatos rajza; a 9. ábra a találmány szerinti berendezés egy további kiviteli alakjának függőleges hosszmetszete; a 10. ábra a 9. ábrán látható kiviteli alaknak lényegében a 10-10 vonala mentén vett függőleges metszete; a 11. ábra a 9. ábrán látható kiviteli alaknak lényegében a 11-11 vonala mentén vett függőleges metszete; a 12. ábra a 9. ábrán látható kiviteli alaknak a lényegében 12-12 vonal mentén vett vízszintes metszete; és végül a 13. ábra a 12. ábra szerinti kiviteli alaknak a lényegében 13-13 vonala mentén vett keresztmetszete. A találmány szerinti berendezés egy kiviteli alakja látható az 1-8. ábrákon, egy második kiviteli alak látható a 9-13. ábrákon. Az 1., 2. és 3. ábrákon bemutatott találmány szerinti berendezésen a 20 katódszerelvény látható, amely egy légteleníthető 21 bevonó kamrába van beszerelve. A 21 bevonókamra négyszögletes, és a 22 alsó fal, 23 felső fal, egymással szemben fekvő 24 és 25 oldalfalak, valamint a nem ábrázolt véglapok határolják. A 22 alsó fal és a 23 felső fal a légmentes lezárást biztosító 26 és 27 tömítésekkel csatlakozik a 24 és 25 oldalfalakhoz. A véglapok hasonlóan vannak tömítve a 22 alsó falhoz és a 23 felső falhoz. A 21 bevonó kamrához egy 28 vákuumszivattyú csatlakozik, amellyel a 21 bevonó kamra a kívánt nyomásra légteleníthető. Abban az esetben, ha a 21 bevonó kamrába gázokat kellene injektálni, úgy az a becsatlakozó 29 vezetéken, illetve a rajta lévő 30 szelep segítségével történhet. A 20 katódszerelvény lényegében egy hosszúkás hengeres 31 csőből áll, amely a 21 bevonó kamrába van beszerelve, és amely 31 cső alsó részébe 32 mágneses eszköz van szerelve. A 31 cső valamilyen alkalmas, nem-mágneses anyagból van, mint például rézből vagy rozsdamentes acélból, és átmérője, falvastagsága és hosszúsága a kívánt működtetésnek megfelelően méretezhető. A 31 cső külső felületére a bevonandó S szubsztrátumra lecsapatandó bevonó anyagból lévő 33 réteg van felvíve. Ily módon a 31 cső és a bevonó anyagból lévő 33 réteg egy cső alakú céltárgyat vagy porlasztó forrást alkot, amely eltér a hagyományos, sík alakú céltárgyaktól. A 31 cső vízszintes helyzetben van felfogva a 21 bevonó kamra belsejében oly módon, hogy az a hossztengelye körül elforgatható. E célból a 31 cső belső végén 34 tengelycsappal van fölfogva, amely a 31 cső lezárt, belső 35 végére van szerelve. A 21 bevonó kamra 25 oldalfalára 37 csapágybak van rögzítve 38 csavarok segítségével, amely 37 csapágybak 36 csapágytömböt tart, amelyben a 34 tengelycsap van csapágyazva. A 31 cső külső vége nyitott, és a 21 bevonó kamra 24 oldalfalán lévő nyíláson keresztülnyúlik, és a 24 oldalfalban egy 40 szorítógyürüvel körülvett 39 gyűrűvel van alátámasztva, amely 40 szorítógyűrű a 24 oldalfalhoz 41 csavarokkal van rögzítve. A 21 bevonó kamra belső tere a külső tértől a 31 csővel, valamint a 21 bevonó kamra 24 oldalfalával érintkező 42 és 43 tömítőgyűrűkkel van elválasztva. A 20 katódszerelvény hűtésére egy megfelelő, nem-mágneses anyagból lévő hűtő 44 vezeték van, amely a 31 csövön belül, annak alsó részén hosszirányban húzódik. A 44 vezeték belső vége le van zárva, amely lezárt vég a 31 cső belső 35 végétől térközzel van elválasztva, míg annak 45 külső vége a 31 csövön túlnyúlik. A 44 vezeték 45 külső végénél megfelelő hűtőközeget, például vizet vezetünk be, amely a 46 nyílásokon keresztüláramlik, keresztüláramlik továbbá a 31 csövön belül, és annak nyitott végén eltávozik. A 32 mágneses eszköz U-alakú 47 permanens mágnesekből áll, amelyek két párhuzamos, egyenes vonalú A és B sorban vannak elrendezve, a 31 csövön belül, hosszirányban. A 47 permanens mágnesek az A és B sorokban egymás után vannak elrendezve, és az egyik A sor 47 permanens mágnesei a másik B sor 47 permanens mágneseivel váltakozva, és egymást átlapolva vannak elrendezve. Az A és B sorokban lévő 47 permanens mágnesek egymáshoz képest szöget bezáróan vannak elrendezve, amint az a 3. ábrán látszik, és a 44 vezetékhez vannak rögzítve bilincsekkel vagy hasonló eszközökkel. Az A sorban lévő 47 permanens mágnesek külső 48 szárai egy hosszirányban elnyúló, viszonvlae keskeny 49 szalaghoz kapcsolódnak, amely megfelelő mágneses anyagból van, mint például melegen hengerelt lágyacélból, míg a B sorban lévő 47 permanens mágnesek külső 50 szárai egy hasonló mágneses 51 szalaghoz kapcsolódnak, amely a mágneses 49 szalaggal párhuzamosan van elhelyezve. Az A és B sorokban lévő 47 permanens mágnesek belső 52 és 53 szárai egymást átlapolják, és egy középen hosszirányban elnyúló, mágneses 54 szalaghoz kapcsolódnak, amely párhuzamosan húzódik a külső mágneses 49 és 51 szalagokkal. A 47 permanens mágnesek a hozzájuk tartozó 49, 51 és 54 szalagokhoz 55 csavarok segítségével vannak rögzítve, amely 55 csavarok a 49, 51 és 54 szalagokon keresztülnyúlnak, és ez a szerelvény egyetlen egységet alkot. A mágneses 49, 51 és 54 szalagok alsó 59 felületei a 31 cső belső felülete görbületének megfelelő alakú. A középső mágneses 54 szalag ferde levágásai váltakozva az egyik, majd a másik oldal felé lejtenek, amint az a 3A. ábrán az 54a levágásoknál látható; ily módon a 47 permanens mágnesek belső 52 és 53 szárai lapjukkal érintkeznek az 54 szalaggal. A 47 permanens mágnesek előnyösen úgy vannak elrendezve, hogy azok északi sarka a külső mágneses 49 és 51 szalagokhoz csatlakoznak, míg a déli pólusuk a középső mágneses 54 szalaghoz csatlakozik. A 47 permanens mágneseknek, valamint a mágneses 49, 51 és 54 szalagoknak ez az elrendezése két párhuzamos mágneses teret hoz létre, amelynek mentén a porlasztandó anyagból lévő 33 réteg eróziója létrejön. A porlasztás létrejöttéhez szükséges nagyságú 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 3
