186159. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés tárgyfelületek geometriai paramétereinek meghatározására
1 186159 2 mért eloszlás a keresett tengely irányában az S és a ű paraméterek alapján meghatározható. A A érték meghatározása az alábbi képlet alapján történik: Arcost? Az interferencia nullsáv jelölésére célszerű, ha két hasonló interferenciaképet hozunk létre, amelyeket az interferencia szélsőértékek térbeli eloszlásának azonos időbeli lefutása jellemez, és különböző konstans értékkel térnek csak el egymástól, és egymással oszthatatlan távolsági értékkel vannak kialakítva, és nullsávként egy olyan sávot kell kijelölni, amely mindkét képre közös. A nullsávnak ilyen módon történő jelölése biztosítja azt, hogy a fénynyalábok teljes metszési tartományában az interferencia szélsőértékek egységes felülettel rendelkeznek. Ez a felület általában a fénynyalábok szimmetriasíkja. A találmány szerinti interferenciakép jelzési eljárás tetszőleges interferencia szélsőérték tartományokra alkalmazható. Mozgó tárgy geometriai paramétereinek meghatározására célszerű, ha az interferenciaképet rövid idejű impulzusok sorozatával állítjuk elő a tárgyfelületen. Ebben az esetben egy sor interferenciaképet kapunk, amelyek a vizsgálandó tárgyakról, annak a helyzetéről és alakjáról tartalmaznak információt egy adott időpillanatban, és amelynek alapján a tárgyfelület tetszőleges pontjának a haladási görbéje megállapítható, illetőleg a tárgy deformációja megállapítható. A találmány tárgya továbbá egy berendezés az eljárás megvalósítására, amely berendezés két koherens fénynyaláb előállítására és vetítésére kiképzett optikai rendszert tartalmaz, aholis a két fénynyaláb egymással szöget bezáró síkban van a vizsgálandó felületre vetítve, továbbá tartalmaz fénysugárregisztrálót, két koordináta-adó egységet, valamint a regisztrált interferenciakép sávszámának mérésére kiképzett egységet. A találmány szerinti berendezés a tárgy felületén egy nullsávot kijelölő egységet, a fénynyaláb metszési tartományában lévő interferencia szélsőértékek síkjainak térbeli helyzetét, valamint a közöttük fázisszöget mérő egységet, egy tartóelemet, fotocellát tartalmaz, amely a sugárnyalábok kereszteződésében van elhelyezve, továbbá tartalmaz a berendezés egy a felületi pont harmadik koordinátáját meghatározó egységet, amely tárolóval ellátót! folyamatszámítógépet tartalmaz, amelynek bejnenete össze van kapcsolva a koordináta-adó egység, a sávszám-mérő egység és az interferencia szelsőértéke síkjainak térbeli helyzetét és a közöttük, lévő távolságot mérő elem kimeneteivel és úgy van kialakítva, hogy a nullsáv és a szükséges pont közötti sáv egész és tört számban meghatározott értékének a függvényében a megfelelő metszethez tartozó két koordinátát összegzi, és a nullsáv felületének ebben a metszetben lévő koordinátához hozzáadja, és ennek alapján kiadja a harmadik koordináta abszolút értékét. A találmány szerinti berendezés előnyös kiviteli alakja szerint a sávszámmérő egység koordináta-adókkal és villamos hajtásokkal ellátott két szabadsági fokkal rendelkező koordináta-mérőasztallal van ellátva, amelyen a regisztrátum el van helyezve, továbbá tartalmaz a vándorló interferenciasávok képének az előállítására kiképzett koherens és folyamatos sugárforrással ellátott optikai rendszert, egy, az interferenciasávok egybehangolására kiképzett elemet, forgásszögadót, villamos hajtást, fényelektromos vetőt, amely azon sugár vételére van kiképezve, amely sugár a vándorló interferenciasávok képének középső részéből az előtt a sáv előtt, ahol a regisztrált képpel kölcsönhatásba lép, le van választva, továbbá tartalmaz a berendezés egy további fényelektromos vevőt, amely a sugarat a regisztrált képpel együtt érzékeli, egy fázisszög-digitális jelátalakítót, amelynek bemenetei a fényelektromos vevővel egy rádiófrekvenciás szűrőn keresztül vannak összekapcsolva, egy vezérlő mikroprocesszort, amelynek bemenetei a fázis-digitális átalakító kimenetével, a koordináta-asztal adóival és a forgásszögadóval vannak összekapcsolva, kimenetei pedig a koordináta-asztal és az interferenciaképek egybehangolására kialakított berendezés villamos hajtásával van összekapcsolva. A találmány szerinti eljárással és az eljáráshoz tartozó berendezéssel a nagy mérési pontosságot és mérési megbízhatóságot azáltal érjük el, hogy a regisztrált képben lévő sávszámokat egy vándorló interferenciasávú kiegészítőkép segítségével határozzuk meg, amelynek sávnagysága a regisztrált képhez képest sokkal kisebb, és egymástól való távolságuk a regisztrált kép sávtávolságával megegyezik, vagy annak egész számú többszöröse. A két koordinátával meghatározott pontban a járulékos képet folyamatosan érzékeljük, és a regisztrált kép és a járulékos kép fényét együttesen villamos jellé alakítjuk át, és a sávszámot, amely egész és törtszámból áll, a kapott villamos jel váltóáramú komponense fázisszögének a regisztrált kép nullsávjához tartozó váltójel fázisszögéhez képesti változása alapján határozzuk meg. A fényelektromos jel váltóáramú komponensének a fázisszög változása egyenlő a regisztrált képpel lévő azonos sávszámokkal, amelyek az érzékelés során a járulékos kép középpontjában kereszteződnek, és a teljes fáziseltolás egész számnak felel meg, míg a 2n tartományon belül fáziseltolódás azzal az intervallummal egyezik amely a megelőző és a futópont között van. A modern villamos működésű fázisszögmérők hibája általában 0,1 fok, ami kb. 3,4-^ periódusnak felel meg. Tehát a regisztrált képben a sávmérés A/10000... A/1000 pontossággal mérhető meg, sőt adott esetben még ennél nagyobb pontossággal is. A találmány szerinti eljárás során a fényelektromos jelek egy keskenysávú rádiófrekvenciás jel által vannak képezve, amelyet azután önmagában ismert rádiótechnikai berendezéssel, szűrőkkel, zajelnyomó berendezésekkel zavarmentesen lehet felerősíteni. A fázisszögmérés lehetővé teszi, hogy a mérendő jelet tetszőlegesen hosszú ideig továbbítsuk, ami az optikai és villamos berendezésekben fellépő rezgések, zajok és egyéb zavaró jelenségek hatásának befolyását kiküszöbölhetővé teszi. Azáltal, hogy a koordinátákat érzékelővel mérjük, kiküszöböljük az olyan szubjektív hibajelenségeket is, mint leolvasási hiba, kézi adatregisztrá-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 4
