184437. lajstromszámú szabadalom • Integrált áramkörös elektromechanikai átalakító
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY (11> 184437 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZOj G 01 L 1/22 OR8ZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41) (42) 83. 10. 28. Megjelent: (45) 87. 10. 15. Feltalálóik): (72) ALMÁSI István, üzemmérnök, 40% BÁRSONY István, oki. fizikus, 25% BERKECZ János, üzemmérnök, 10%, dr. HAHN Emil, oki. villamosmérnök, 10% OROSZ Lajos, műszerész, 15%, Budapest Szabadalmi Tár ^ TULAJDOÿ^^ Szabadalmas: (73) Mikroelektronikai Vállalat, Budapest (54) INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖS ELEKTROMECHANIKAI ÁTALAKÍTÓ 57 (57) KIVONAT A találmány tárgya olyan integrált áramköri elektromechanikai átalakító szerkezet, mely alkalmas abszolút és relatív nyomás, erő gyorsulás és más mechanikai mennyiségek mérésére. A javasolt mérőrendszerrel a mechanikai mennyiségek úgy mérhetők, hogy a korszerű félvezető alapú elektromechanikai átalakítók előnyös jellemzőinek megőrzése mellett egyidejűleg azok hiányosságai és hibái csökkenthetők, illetve kiküszöbölhetők. A kitűzött feladatot azzal oldjuk meg, hogy a félvezető érzékelő testben teljesen áttört nyílást vagy üreget képezünk ki és a deformációérzékeny integrált áramkör vagy áramköri elemek az áttört nyílás körül vannak elhelyezve és az áttörés felülete mentén azzal párhuzamos cső helyezkedik el.
