183574. lajstromszámú szabadalom • Beállító hajtómű févezető szeletek vizsgálatára
1 183 574 2 val, amely a 107 csatlakozó elektromos érintkezését biztosítja a 104 tömítődugattyún át, a 109 betétig. A 101 tartógyűrű tartja a 109 betét útján központosított 113 szelettányért, amely a 114 csavarral van a 109 betéthez rögzítve. Ez a 114 csavar egyúttal elektromos kapcsolatként szolgál a 113 szelettányértól a 109 betétig és ezáltal a 107 csatlakozóig. A 113 szelettányérban radiális 113.1 és 113.2 furatok vannak, amelyeket a 115 tömítőcsavarok zárnak. Az első 116 csatornarendszer a 106 tömlőcsonkot köti össze a 113.1 furatokkal, amelyekből ferde 113.3 furatok vezetnek a 113 szelettányér felületéig, valamennyien egy szállítási irányba mutatva. A 106 tőmlőcsonkra adott, sűrített levegő esetében egy nem ábrázolt félvezető-szelet a 113 szelettányérról a légpárnára mozdul szállítási irányban. A 105 tömlőcsonkról a második 117 csatornarendszer vezet a 113.2 furathoz. A 113.2 furat hosszában több 118 szeleppel van ellátva. A 118 szelepek a 111 csavarokkal két helyzetben rögzíthetők és a helyzetnek megfelelően a 113.2 furatban a vákuumellátásnak vagy megadják a továbbmenetet és a 113.4 horonyhoz a kapcsolatot vagy nem. A 117 csatornarendszertől továbbá elvezet nyolc ferde 113.5 furat a 113 szelettányér felületéig. így azután a 105 tömlőcsonkra adott vákuummal és a 106 tömlőcsonkra ráengedett sűrített levegő egyidejű lekapcsolásával a 113.5 furatokon keresztül a 37 mm illetve 1 1/2" átmérőjű félvezető-szeletek és a 113.4 gyűrűhornyok bekötésével 50 mm illetve 2"-tói 150 mm, illetve 6" átmérőig szorosan befogadhatók. A 100 szelettámasz követi továbbá az 50 csúszókeret minden mozgását, úgymint a tetszőleges szögű elfordulást, állandó magassági beállítást és vastagsági tűrések kiegyenlítésére a félvezető-szeleteknél és a gyors kiemelést a félvezető-szeleteknek a szeletvizsgáló szondáival történő kontaktálásához. A 6. ábrának megfelelően az első 120 fényrekesz a 61 peremen nyer rögzítést. A két 19.1 fog közé van beragasztva a 121 tükörlap, amivel a fény reflexiója történik. Ezzel meghatározást kap a 19 fogaskerék alapállása. A második 125 fényrekesz az 50 csúszókereten nyer elhelyezést, amint ez a 7. ábrán látható. Az 51 fogasgyűrűre van felszerelve a 126 támaszték a tükröző 126.1 homlokfelülettel, amely a fény útját lezárja az 50 csúszókeret valamilyen meghatározott szöghelyzetében a 19 fogaskerék alsó helyzetében. Amennyiben mindkét 120 és 125 fényrekesz zárt fényutat mutat, akkor az 50 csúszókeret és ezzel együtt a 100 szelettámasz szöghelyzete és magassági állása egyértelműen meghatározott. A 11 alaplap kerületén a 11.2 vájatban van a 130 csatlakozó tömb beerősítve, mint ez a 8. ábrán látható. A 131 alapzaton vannak felerősítve a 132 tömlőcsonkok, amelyekből nem ábrázolt tömlők vezetnek a 65 tömlőcsonkokhoz. Egy további 133 tömlőcsonk a 33 tömlőcsonkkal van összekötve. A 132 és 133 tömlőcsonkok a 131 alapzat belsejében lévő csatornákon át vannak összekötve a légpárnák sűrített levegője számára szolgáló 134 első főcsatlakozóval. A második 135 főcsatlakozó a 136 tömlőcsonk és tömlő útján van összekötve a 105 tömlőcsonkkal és a vákuumellátást képezi. A harmadik 137 főcsatlakozó a 138 tömlőcsonkon át csatlakozik a 106 tömlőcsonkhoz és a szállítás ellátását végzi. A 131 alapzat felső oldalán van a 141 dugaszolóval ellátott 139 lap felerősítve. A 141 dugaszolót a 142 fedél burkolja. A 141 dugaszoló a 75 fülekkel, a 86 forrfülekkel, a 43 adapterekkel, a 107 csatlakozóval és a 120 és 125 fényrekeszekkel van összekötve. A 130 csatlakozó tömb ily módon lehetőséget nyújt a 10 beállító hajtómű egyszerű csatlakozására egy itt nem ismertetett külső vezérléshez. Szabadalmi igénypontok 1. Beállító hajtómű szelettámaszon elhelyezett félvezető-szelet integrált áramköreinek vizsgálatára, amelynél a szelettámasz X- és Y-irányban van pozícionálva és el van látva eszközökkel a szelettámasz két stabil helyzet közötti X-irányú elállítására, valamint Z-tengely körüli szelettámasz-forgatás hajtására, azzal jellemezve, hogy a két stabil helyzet közötti szelettámasz-elállításhoz való eszközök egy forgásszimmetrikus emelőmágnesből (30) és egy, az emelőmágnest (30) körülvevő forgásszimmetrikus csúszókeretből (50) állnak, hogy a Z-tengely körüli szelettámasz (100) forgatásához a hajtómű csapágygyűrűből (60) és csúszókeretből (50) áll és hogy a beállító hajtómű (10) egy további hajtóművei rendelkezik, az említett emelőmozgástól független állandó a szelettámasz (100) X-irányú mozgatásához. 2. Az 1. igénypont szerinti beállító hajtómű kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a csúszókeret (50) első stabil helyzetéhez az emelő mágneshez képest olyan első légpárna tartozik, amelyet egy felső lap (52) és egy felső légpárna-felület (44) képez és hogy a csúszókeret (50) második stabil helyzetéhez egy második légpárna tartozik, amelyet egy alsó lap (53) és egy alsó légpárna-felület (45) képez, ahol a légpárna-felületekben (44, 45) sűrített levegővel táplált fúvókák (36) egyenletesen elosztva vannak beszerelve, és a lapok (52, 53) a csúszókereten (50) vannak rögzítve. 3. Az 1. igénypont szerinti beállító hajtómű kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a csapágygyűrű (60) vágataiban pólusok (70) vannak elhelyezve, és hogy a vájatok közötti felületeken sűrített levegővel táplált fúvókák (62) vannak felszerelve. 4. A 2. vagy 3. igénypont szerinti beállító hajtómű kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a csúszókeret (50) az első légpárnában vagy a második légpárnában Z-irányban van ágyazva és a felületek (61.1) és a csúszókeret (50) közötti légpárnában sugárirányban van csapágyazva. 5. Az 1. igénypont szerinti beállító hajtómű kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a folytonos Z-mozgás hajtóműve legalább egy állórészből (80) és egy fogakkal (19.1) ellátott fogaskerékből (19) áll, aholis a fogaskerék (19) anyával (18) van összekötve, amely egy orsópersely (15) külső menetén (15.1) mozgathatóan van elhelyezve. 6. Az 5. igénypont szerinti beállító hajtómű kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az állórész (80) két-két pólust (83) hordó két pólustartóból (81) áll, ahol a pó5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65
