182777. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosítására
182.777 a ^Gm + ^ = % összefüggés határozza meg, ahol Tgm a második típusa gerjesztő impulzus időtartama. A PGIj gerjesztő impulzus kezdeti tg időpontját tehát a Tjj holt idő es a beállított TQm idő ismeretében a rögzített fázisú t-,2 időpontból viS3zaszámitva kell iaeghatározni. * A II. szakaszban mind az első típusu Tq gerjesztő impulzusok, mind pedig a második tipusu Pr gerjesztő impulzusok egymáshoz rögzített fázisban 2Tp periódusidővel ismétlődnék. A másouik P_ gerjesztő impulzus intenzitásban és/vagy időtartamban különbőzik az első tipusu PG gerjesztő impulzustól és az 1. ábrán vázolt példaként! esetben Im lntentiztasa és Tom időtartama egyaránt kisebb az első tipusu PG gerjesztő impulzus hasonló jellemzőinél. Ebből adódóan a belőle származó Spm válaszjel nagysága is kisebb. A két tipusu betöltésből származó tranziens válaazfüggványek találmány szerinti feldolgozása, azaz a Pg szinkronizáló impulzussal. mint sulyfüggvénnyel való megszorzása és integrálása hasonló mérési lehetőséget biztosit, mint az elterjedten használt kettős korrelációs HL 23, azaz a DÏÏLTS eljárás. Különbség adódik a találmány szerinti megoldás előnyére abból a körülményből, hogy az integrálás a valaszjel teljes tartamára és nemcsak egy-egy időablakra történik, igy a hosszabb idő alkalmazása miatt az érzékenység nagyobb, a jel-zaj viszony pedig kedvezőbb. Az I. szakasz kapcsán a Tjj holt idő megválasztásara vonatkozó meggondolások a II. szakaszban is érvényesek, mivel a bekapcsolási tranzienseket követő feléledési szakaszok /a ta és a t-jp időpontokat követően/ a súlyozásnál ellenkező előjellel szerepelnek. A két tipusu gerjesztő impulzus válászfággvényelnek ellentétes előjelű súlyozással való figyelembevételét biztositó eljárással például lehetőség van a mely nivó koncentrációja térbeli eloszlásának meghatározására, ha a Pq. és Pq^ gerjesztő impulzusok időtartamát azonosra vesszük és intenzitásukat egymáshoz képest változtatjuk. Azonos intenzitás, de eltérő időtartam esetén a kapott eredmény a befogási hat ás keresztmetszet tel arányos. A találmány szerinti eljárás foganatos it ás ára'alkalmas berendezés tömbvázlatát a 2. ábrán vázoltuk. A vizsgálandó minta megfelelő 1 mérőkörbe van kapcsolva. Az 1 mérőkor kimenete 2 kapuáramkör bemenetéhez, ennek kimenete pedig 5 mérőegység bemenetéhez csatlakozik. A 5 mérőegység kimeneté olyan 4 transzmissziós kapu bemenetével kapcsolódik, amelynek első 41 kamuja, ennek kimenetével összekötött bemenetű 42 követő-tartó áramköre és a 41 kapuval ellentétesen vezérelt második 45 kapuja van. A 5 raérőegyaég kimenete a 4 transzmissziós kapun keresztül 5 lock-in erosito bemenetéhez csatlakozik. Az 1 mérőkörben lévő minta impulzusszerü gerjesztéséről 6 gerjesztést létesítő szerv gondoskodik. A berendezés egyes részegységeinek és áramköreinek impulzusszerü vezérlését 7 vezérlő egység végzi, amelynek órajelbemenet e 8 óragenerátor kimenetével van összekötve. Az eddig ismertetett kapcsolás egy példaként! kiviteli alakját ismerteti a hivatkozott 1459/80 sz. magyar szabadalmi bejelentés az 1. és 2. ábra kapcsán. 8
