182777. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosítására
182.777 A berendezés jelen találmány szerinti kivitelénél az 5 lock-in erőaitő 51 referencia /vagy szinkronizáló/ bemenete és a 7 vozérlőegységnek a 71 kimenete közé kettes osztási arányú 9 frekvenciaoazto kapcsolódik. A 7 vezérlő egység 72 kimenete a 41 kapu vezérlő bemenetével, 10 inverteren keresztül pedig a 43 kapu vezérlő bemenetével van összekötve. A 72 kimenet szolgáltatja az 1. ábrán vázolt P^,-impulzusokat. A 2 kapuáramkör a gerjesztés T« időtartamára és egy ezt követő néhány nanossekundomos késleltetési időre az 1 mérőeszköz kimenetét leválasztja a 3 mérőegység bemenetéről, például oly módon, hogy a 3 méroegyaég bemenetét földre kapcsolja. A 2 kapuáramkör vezérlő bemenete a 7 vezérlő egység 73 kimenetéről kapja a Pj_ leválasztó impulzusokat. A gerjesztést létesítő szervben 61 első impulzuskeltő és 62 második impulzuskeltő egység van. A 61 első impulzus keltő egység első 611 bemenete a 7 vezérlő egység 74 kimenetével van összekötve és fogadja a Pq gerjesztést vezérlő impulzusokat. A 61 el3Ő impulzuskeltő egység második 612 tiltó bemenete a 7 vezérlő egyseg 75 kimenetével van összekötve, amely a Pm tiltó impulzusokat szolgáltatja. Ilyen tiltó impulzusok jelenlétében a 61 első impulzuskeltő egység gerjesztő impulzust nem állit elő. A 62 második impulzus keltő(egység feladata a második típus u'Pqjíj gerjesztő impulzusok előállítása, természetesen csak a II. szakasznak megfelelő üzemmódban. A 62 második impulzuskeltő egység 621 vezérlő bemenete a 7 vezérlő egység 76 kimenetével van összekötve, amely a második tipusu PQm gerjesztésvezérlő impulzusokat állítja elő. A találmány szerinti berendezés működése az 1. ábra diagramjai alapján ismertetett találmány szerinti eljárással van összhangban. Egy a rajzon nem vázolt kezelő szerv gondolkodik a 7 vezérlő egységnek az I. vagy II. szakasz szerinti feltételek mellett történő beállítás ár ól, a 8 óragenerátor frekvenciájának a beállításáról és a gerjesztő impulzusok időtartamának beállításáról. Ha a 2. ábrán vázolt berendezést a DDLTS eljárás gyakorlására használt ismert berendezésekkel hasonlítjuk Össze', akkor kitűnik egyszerűsége. Az ismert megoldásoknál használt többcsatornás jelfeldolgozás és a többszörös ana]óg müveletvégzés a . jel-zaj viszonyt rontja és az érzékenységet csökkenti. Ezek a hatások a találmány szerinti berendezésnél nem jelentkeznek. Méréseink szerint a 2. ábrán vázolt találmány szerinti berendezés segítségével 10”? pp nagyságú tranziens kapacitásváltozást is ki tudtunk mutatni. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nivok tranziens spektroszkópiája módszerével, amelynek során a vizsgált félvezető vagy szigetelő mintára periodikusan gerjesztő impulzusokkal /Pq/ ráhatást gyakorlunk, amellyel a minta kezdeti töltésállapotát megváltoztatjuk és a gerjesztés megszüntetése után a termodinamikai egyensulyi állapotba visszatérő minta tranziens válaszjelét detektáljuk, a detektálást a gerjesztő impulzus /Pq/, valamint a detektáló szerv ezt követő feléledési idejét magaba foglaló 9
