182777. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezetők és szigetelők töltött energiaállapotainak meghatározására a mély nívók tranziens spektroszkópiájával és berendezés az eljárás foganatosítására
182.777 fcében történnek, amit követően a lock-in negativ átlagolást végez. Ilivel az adott mérőberendezés kapcsolás utáni tranziens viselkedése a mérőberendezéstől függ es lényegében független a mérőjeltől, és egy teljes lock-in periódusban az 1. ábra feltételei mellett a tranziens folyamatok kétszer ismétlődnek, a lock-in erősítő ezt a két ismétlődő választ ellentétes előjellel veszi figyelembe, igy a tranziens folyamatoknak a mérésre gyakorolt hatása kiegyenlítődik* Ennek hatása a pontosság jelentős növekedésén kivül a Th holt idő lecsökkenthetőségében van. Amit a 1459/80 az. bejelentésnél a % holt időt a mérőegységT’feléledési idejének mintegy 15-szörosére kellett legalább választani, hogy addigra a kapcsolási tranziens folyamatok hatása már ne érvényesüljön, a találmány szerinti megoldásnál elegendő a Tfi^ 'T/ feltétel biztosítása. Ennek következtében a Tp periódusidő megváltoztatására eddig rendelkezésre álló három nagyságrend helyett 4,5 nagyságrenden belül lehet a periódusidőt változtatni, ami a mérési lehetőségeket nagymértékben bővíti. A Tjj holt idő lecsökkenése miatt a detektálási periódus időtartama és eszel az érzékenység is megnövekszik. Az 1. ábra idődiagramjain két I. és II. tartományt tüntettünk fel. Az eddig elmondottak az I. tartományra jellemzőek. Az impulzussorozat a leírtak szerint ismétlődhet a tg időpont után is. Tételezzük fel, hogy a tn időpontban, amely a II. tartomány kezdetét jelöli ki, ugyanazokat az impulzusokat generáljuk, mint az I. tartományban a t0 időpontban tettük. A tn időpont ezért as I. tartománynál tárgyalt t0 időpontnak felél meg. Ezzel összhangban a II. tartományban létrehozzuk a Pg vezérlőimpulzust, az ezzel kiváltott Pq gerjesztő impulzust,- a P. leválasztó impulzust, a Pfji£ Impulzust a transzmissziós kapu^lezáráaára, és ezek hatására a minta válasza alapján kialakul az S-r válaszjel, amely a lock-in erősítő bemenetét vezérli. A Pq gerjesztő impulzus tg időpontban fejeződik be és Tg ideig tart. Ezt követi a Tg holt idő, amely tg időpontban fejeződik be. A Pmj, impulzus a Pq vezérlőimpulzus'es a Ta holt idő együttes Tm idejéig tart, azaz a tg időpontig. A lock-in. erősítő Pj- szinkronizáló impulzusa a tn időpontban kezdődik és periódusideje 2Tp. A folyamat a II. szakaszban tehát az I. szakaszban leírtakkal' egyezően zajlik. A lényeges funkcionális többletet az képezi, hogy a Pq gerjesztő impulzus kezdetétől számított mintegy Tp Időtartam elteltével egy második tipusu Pc vezérlőimpulzust hozunk létre, amelynek TqTMidőtartama van, ezzel együtt generáljuk a hozzárendelt P^m leválasztó impulzust, a transzmissziós kapu Pfpim impulzusát és egy a Pq gerjesztő impulzustól intenzitásában és/vagy időtartamban különböző második PQm gerjesztő impulzust. A pontos időzítés biztosításához arra van szükség, hogy a Pq_ gerjesztő impulzus befejeződési t^ időpontjától számított Tjj holt idő elteltével Pgjim impulzus éppen abban a t^ időpontban fejeződjék be, ami a tg időpontban indított és 2Tp periódusidejű Pt szinkronizáló impulzusnak az előjelváltását jelöli ki. A transzmissziós kapu Pminl Impulzusának tehát éppen a ti2 időpontban kell befejeződnie. A 3?rprm impulzus T^ tartamát 7
