180502. lajstromszámú szabadalom • Keskenysávú interferencia szűrő optikai analitikai mérésekhez és eljárás annak előállítására
s 180 502 4 kör felé eső oldalán páros számú rétegből álló reflexió csökkentő indukáló rétegből van kiképezve. A találmány értelmében célszerű, ha a reflexió növelő réteg fémréteggel érintkező kis törésmutatójú rétege lehetőleg legkisebb törésmutatójú anyagból, például kriolitból van, míg a fémréteg másik oldalával érintkező nagy törésmutatójú réteg a lehető legnagyobb törésmutatójú anyagból, például germániumból van. Célszerű továbbá, ha az alkalmazott fémréteg a transzmissziós fény hullámhosszának megfelelő fémből van, például közeli ultraibolya fény esetén alumíniumból, közeli infravörös fény esetén ezüstből, távoli .infravörösnél pedig aranyból van. A találmányt részletesebben a rajz alapján ismertetjük, amelyen a találmány szerinti keskenysávú interferencia szűrő egy példakénti kiviteli alakját és az interferencia szűrő transzmissziós görbéjét tüntettük föl. A rajzon az 1. ábra a találmány szerinti keskeny sávú interferencia szűrő egy példakénti kiviteli alakja, a 2. ábra a keskeny sávú interferencia szűrő számított és mért transzmissziós görbéje, a fény hullámhosszának függvényében. Amint az 1. ábrán látható a találmány .szerinti keskeny sávú interferencia szűrő 11 hordozón, amely lehet kvarc vagy üveglemez dielektrikum rétgekből álló 12 interferencia tükörből és X/2 vastagságú közbenső 13 dialektikum rétegből álló része van. Mint a bevezetésben említettük, a továbbfejlesztés, vagyis a találmány abban van, hogy a 12 interferencia tükörből és a közbenső 13 dielektrikum rétegből álló részhez további rész van kapcsolva. Ez a további rész 25—60 nm vastagságú 15 fémrétegből, és a 15 fémréteg tükör felé eső oldalán páros .számú rétegből álló 14 reflexió növelő rétegből áll, a 15 fémréteg másik oldalán pedig legalább 1 reflexió csökkentő 16, 17 indukáló réteg van. A 15 fémrétegen elhelyezett 14 reflexió növelő réteg lehetővé teszi a sávszélesség szinte tetszőleges csökkentését. A transzmissziós csúcs hullámhosszát alapevetően meghatározó X/2 hullámhossz vastagságú közbenső 13 dielektrikum réteg törésmutatója alacsony, így forgatással a szűrő jól hangolható. Az interferencia szűrő előállíthatóságának szempontjából igen lényeges, hogy a 13 dielektrikum réteg és a 16, 17 indukáló réteg törésmutatójának alkalmas megválasztásával elérhető, hogy a 13 dielektrikum réteg vastagságának pontatlanságára az interferencia szűrő paraméterei csak kissé érzékenyek. Az ismert szűrők előállítása során az egyes rétegvastagságok pontos beállítása nehézkes és különleges laboratóriumi körülményeket igénylő feladat. A találmány szerinti szűrő előnyös tulajdonsága abban .jelentkezik, hogy egyszerű eszközökkel gazdaságosan biztosítja a szűrő kívánt paraméterekkel történő előállítását. A vákuumpárologtatással felvitt egyes rétegek vastagságának méréséhez szükséges monokromatikus fényt a hagyományos 18 fényforrással és a 19 monokromátorral állítjuk elő, Célszerű, ha a 14 reflexió növelő réteg 15 fémréteggel érintkező kis törésmutatójú rétege lehetőleg legkisebb törésmutatójú anyagból, például kriolitból, míg a 15 fémréteg másik oldalával érintkező nagy törésmutatójú 16 indukáló réteg a lehető legnagyobb törésmutatójú anyagból, például germániumból van. Célszerű az is, ha az alkalmazott 15 fémréteg a transzmissziós fény hullámhosszának megfelelő fémből van, például közeli ultraibolya fény esetén alumíniumból, közeli infravörös fény esetén ezüstből, távoli infravörösnél pedig aranyból van. A rajzon a számokkal jelölt rétegek közül a 12 interferencia tükör, a 13 dielektrikum réteg, a 14 reflexió növelő réteg és a 16, 17 indukáló rétegek valós törésimutatójú diélektrikum anyagból, a 15 fémréteg pedig az adott hullámhosszon nagy k/n arányú fémből készül, ahol k a törésmutató képzetes, n pedig a törésmutató valós része. A 2. ábrán a fény A hullámhosszának függvényében ábrázoltuk az A számított és B mért T transzmissziós spektrumokat, ahol a 20 első és 21 második görberészek az áteresztési sávot jelentik. Eljárás keskenysávú interferencia szűrő előállítására optikai .analitikai mérésekhez, amelynél átlátszó hordozóra, például üvegre A/4 vastagságú különböző törésmutatójú rétegekből váltakozva, legalább 3 rétegben tükröt alakítunk ki úgy, hogy vákuumpárologtató berendezésben az elérni kívánt csúcstranszmisszió-hullámhossznak megfelelő monokromatikus fényt bocsátunk át és különböző törésmutatójú rétegek felpárologtatása közben a fény intenzitását mérjük. Majd erre a tükörrészre egy i/2 vastagságú közbenső réteget viszünk fel vákuumpá'rologtatással, miközben a fény intenzitását ugyancsak mérjük.. A találmány szerinti eljárásnál a továbbfejlesztés, vagyis a találmány abban van, hogy a tükör egyes rétegeinek törésmutatóját úgy választjuk meg, hogy azok váltakozva kis és nagy törésmutatójúak legyenek és a közbenső dielektrikum réteg törésmutatója e változásokban kis törésmutatójú legyen. Ilyen anyag lehet például a germánium és a kriolit. A 13 dielektrikum rétegre ugyancsak vákuumpárologtatással páros számú nagy és kis törésmutatójú ^/4 vastagságú reflexió növelő réteget viszünk fel és a rétegek felvitele közben az elérni kívánt csúcstranszmisszc-hullámhossznak megfelelő monokromatikus fényt bocsátunk át, és az átbocsátóit fény intenzitását mérjük. Az intenzitások szélső, maximum és minimum értékeinek észlelésével biztosítjuk a kívánt rétegvastagságokat. A dielektrikum rétegek után egy 25—60 nm vastagságú és a kívánatos csúcstranszmisszió-hullámhossznak megfelelő tulajdonsággal rendelkező fémréteget viszünk fel, amelynek vastagságát 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2
