180502. lajstromszámú szabadalom • Keskenysávú interferencia szűrő optikai analitikai mérésekhez és eljárás annak előállítására
5 ÎÔO 5Ô2 például rezgő kvarcos vastagságméréssel határozunk meg. A 15 fémréteg vastagsága a kívánt vágási kontraszttól és a hullámhossztól függően 250—600 A°. Mivel az ilyen módon létrehozott szűrő már önmagában biztosítja a kívánt csúcstranszmissziónak megfelelő hullámhossz kivágását, a további rétegeknél a vastagság ellenőrzésére monokromatikus fényre már nincs szükség. Ezután a rétegek sorozatát legalább egy 16, 17 indukáló réteg felvitelével zárjuk, mely réteg/ek vastagságát ugyancsak szélsőérték érzékelésével végezzük, de most már sokszínű fényforrás segítségével. Ezáltal lehetővé válik a korábbi rétegvastagság hibákból eredő optikai pontatlanságok korrigálása az 1. ábra szerinti 16 indukáló réteg vastagságának megfelelő beállításával. A találmány szerinti keskenysávú interferencia szűrő előnyeit a következőkben foglaljuk össze : — kis sávszélesség, — nagy csúcstranszmisszió, — jó vágási hatásfok, — egyszerű elkészíthetőség. Szabadalmi igénypontok : 1. Keskenysávú interferencia szűrő optikai analitikai mérésekhez, amelynek hördozó anyagon dielektrikum rétegekből álló interferencia tükör és >1/2 vastagságú közbenső dielektrikum rétegből álló része van, azzal jellemezve, hogy az interferencia tükörből (12) és a közbenső dielektrikum rétegből (13) álló részhez további rész van kapcsolva, amely 25—60 nm vastagságú fémrétegből (15) és a fémrétegnek (15) az interferenca tükör (12) felé eső oldalán páros számú rétegből álló reflexió növelő (14), a fémréteg (15) másik oldalán pedig legalább egy reflexió csökkentő indukáló rétegből (16, 17) van. 2. Az 1. igénypont szerinti interferencia szűrő kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a reflexió növelő rétegnek (14) a fémréteggel (15) érintkező kis törésmutatójú oldala a lehető legkisebb törésmutatójú anyagból, például kriolitból van, míg a fémréteg (15) másik oldalával érintkező indukáló réteg (16, 17) a lehető 10 legnagyobb törésmutatójú anyagból, például germániumból van. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti interferencia szűrő kiviteli alakja, azzal jellemezv e, hogy az alkalmazott fémréteg (15) a trnasz- 15 missziós fény hullámhosszának megfelelő fémből van, pl. közeli ultraibolya fény esetén alumíniumból, közeli infravörös fény esetén ezüstből, távoli infravörös fénynél pedig aranyból van. 25 4. Eljárás az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti keskenysávú interferencia szűrő előállítására, amelynél átlátszó hordozóra, pl. üvegre -1/4 vastagságú rétegekből álló interferencia tükörrészt és ebre egy Â/2 vastagságú közbenső 30 dielektrikum réteget viszünk fel vákuumpárologtatással, azzal jellemezve, hogy az interferencia tükör egyes rétegeinek törésmutatóját úgy választjuk meg, hogy azok váltakozva kis és nagy törésmutatójúak legyenek és a közben- 35 ső dielektrikum réteg törésmutatója e váltakozásban kis törésmutatójú legyen, a közbenső dielektrikum rétegre ugyancsak vákuumpárologtatással nagy és kis törésmutatójú páros számú t 4 vastagságú reflexió növelő réteget vi- 40 szünk fel, a vákuumpárologtatás közben az elérni kívánt csúcstranszmisszió-hullámhosszának megfelelő monokromatikus fényt bocsátunk át az interferencia szűrőn és az átbocsátott fény intenzitását mérjük, majd az intenzitások szélső, 45 maximum és minimum értékeinek észlelésével biztosítjuk a kívánt rétegvastagságokat, a dielektrikum és reflexiónövelő rétegek után egy 25—60 nm vastagságú és a kívánt csúcstranszmisszió hullámhosszának megfelelő tulajdon- 50 Sággal rendelkező fémréteget viszünk fel, amelynek vastagságát például rezgőkvarcos vastagságméréssel határozunk meg, ezután a rétegek sorozatát legalább egy indukáló réteg felvitelével zárjuk, mely réteg/ek vastagságát 55 ugyancsak szélső, maximum és minimum értékeinek észlelésével végezzük. 1 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó Igazgatója 84 84. 40 908 Petőfi Nyomda, Kecskemét — Felelős vezető: Ablaka István igazgató
