179233. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu opitaxiális növesztéséhez

179233

a/ nem igényel segédszeletet, pert az olvadék a telitéshez szükséges komponenseket feleslegben is tartalmazhatja,

b/ a hűtés során az olvadék felületén keletkező kéreg nem akadályozza a felület nedvesítését, ugyanis a 6 szelet az olvadék belsejébe oldalról hatol be,

c/ a kéregben kiváló kristályszemcsék nem karcolják a 6 szelet felületét, illetve a levált réteget. A vékony rétegekből álló szerkezetek esetén ez a karc a következő réteg felnövesztesekor villamosán rövidre zárja az aktiv félvezető szerkezeteket,

d/ a. 6 szelet a telitési fázis során a kályha magas hőmérsékletű terén kivül tárolható, s ezáltal a felületi kipárolgás kiküszöbölhető,

e/ a rétegnövesztés befejezésekor az olvadék a felületről biz tonságosan eltávolítható, és ezáltal kiküszöbölhető az olvadékfázisu epitaxiás technológiák leggyakoribb hibája, a telitett olvadék cseppek visszamaradásából eredő, parazita “inhomogén felnőves ,

f/ a félvezető szelet mindkét felületén kialakítható a kívánt szerkezet, s ezáltal a jobb minőségű struktúra kerülhet felhasználásra,

g/ a 6 szelet körbeforgatásával, illetve az olvadékokba való tetszőleges számban történő újbóli betolásával a rétegek egymás utániságának tetszőleges variánsait alakíthatjuk ki

Megfelelően kialakított kazetta konstrukció esetén lehetővé válik egyidejűleg több félvezető szelet felületén az epi-A találmány szerinti eljárásnak az az előnye az eddig alkalmazott eljárásokkal szemben, hogy:

sérlet elvégzése a rendszer megbontása nélkül. Az eljárás különösen előnyösen alkalmazható többréteges, elsősorban lézer struktúrák előállítására. A fenti eljárással a szokásos laboratóriumi műveletek megtartásával a növesztő rendszer kapacitása megsokszorozható.

Szabadalmi igénypontok

1. Eljárás félvezető struktúrák olvadékfázisu epitaxiális növeszt éséreT~amelyne k-során-f élve zet ő-s-zerlete t—olvadó ktartró-ban elhelyezett előirt hőmérsékletű és összetételű félvezető olvadékkal érintkéztétünk, miközben az olvadékot előirt sebességgel hütjük, azzal jellemezve, hogy az érintkeztetést a félvezető szeletnek az olvadék belsejébe az-olvadéktartó keskeny nyílásán át történő betolásával végezzük.

2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatositási módja, azzal jellemezve, hoçy a félvezető szelet végét tartóba fogjuk be, a tartóból kiálló félvezető szeletet az olvadéktartón kialakított ,_^sze.let^asJt|gaigáí^l^L^á_.s_zéie_sebb_j^ilás|n_át. az olvadék belsejébe toljuk, majd az előirt időtartamú növesztés után a szeletet az olvadékból kihúzzuk.

3. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosátási módja, azzal jellemezve, hogy a szeletnek az olvadékból való kihúzását ugyanazon nyilason át'végezzük, mint amelyen át a szeletet az-olvadékba betoltuk.

4. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosít azzal jellemezve, hogy a szeletet az olvadék belsej vadéktartó első nyílásán át toljuk he, a szeletnek

isi módja, ében az ólán olvad ai:-