179233. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu opitaxiális növesztéséhez
1792Ő3 gezzük* 5» A 4. igénypont szerinti eljárás foganatositási módja, azzal jellemezve, hogy a szeletet először első olvadéktartóban elhelyezett első olvadék belsejébe toljuk be, majd első növesztés után a második nyiláson át második olvadéktartóban elhelyezett második olvadék belsejébe toljuk át, majd második növesztés után harmadik nyiláson át kihúzzuk vagy kivánt esetben rendre további egy vagy több olvadéktartóban elhelyezett egy .vagy_több_úivaA4.k_beJ^e j£beJ^ljjik_ájL,-6. Kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu epitaxiális növesztéséhez, amelynek kazettateste, ebben kiképzett legalább egy olvadéktartója és a növesztendő legalább egy félvezető szeletet befogadó, a kazettatesthez illeszkedő tartója van, azzal jellemezve, hogy az olvadéktartó./3/ legalább egyik oldalán a félvezetőszelet /S/ átbocsátására szolgáló nyilás /8/ van kialakítva, és a tartó /4/ a félvezető szelet /6/ kiálló befogására alkalmas rögzitőelemmel /5/ van ellátva. _____7. AJ5. igénypont szerinti kazetta kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kazettateste /Ï07 a felvezető szeletet fáj befogó tartót /4/ megvezető részt /9/ tartalmaz, amely megvezető rész /9/ az olvadéktartóval /3/ az emlitett nyiláson /8/ át van-összekötve. 8. A 7. igénypont szerinti kazetta kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a~kazettateste /10/ hasáb alakú, amelynek megvezető részébe /9/ vízszintesen csúsztatható be a félvezető szeletet /6/ befogó tartó /4/a 9. A 7. igénypont szerinti kazetta kiviteli alakja, azzal -j el-lemezvey-hogy—e—kaset-ta te st e Vl^/~henger~alaküy -m-elyne k -kö— zepén van kialakítva a félvezető szeletet /6/ befogó hengeres tartót /14/ megvezető axiális furat /19/, a henger alakú kazettatestnek /IQ/ a furatot /19/ körülvevő egyik részén a félvezető szelet /6/ bevezetésére kivágás /20/, tobábbi részein egy vagy több olvadéktartó /13/ van kiképezve, amely kivágás /20/ és az olvadéktartók /13/ egymással a félvezető szeletek /6/ számának megfelelő számú nyilassal /18/ vannak összekötve. 10. A 6-9. igénypontok bármelyike szerinti kazetta kivit eld—a la k j aazza 1- - j el-leme zve^ 4iogy—az-c-lvad-ékha-rbé—/3/ -olda— Ián lévő legalább egy nyilás /8/ szélessége kisebb mint GOO^um. 11. A 6-10, igénypontok bármelyike szerinti kazetta kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az olvadéktartó /3/ oldalán lévő legalább egy nyilás /8/ szélességi mérete 10-50>um-rel nagyobb a növesztendő félvezető szelet /6/ vastagságánál. 2 db rajz Kiadja Országos Találmányi Hivatal, Budapest A kiadásért felel: Himer Zoltán osztályvezető 70 -OTH -82.612 7
