172499. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés fotomaszkok ellenőrzésére kivonásos eljárással
1] 172499 12 9. A 7. vagy 8. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja a 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy a koherens sugárforrás (1) és a"~sugárérzékelő elem (32) között legalább egy leképező elem például lencse (33,34) 5 van. 10. Az előző igénypontok bármelyikében meghatározott berendezés kiviteli alakja, több vizsgálandó tárgy esetén az 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy a referencia sugárágban legalább két sugárosztó (36, 39 , 42) és legalább két - például elektromechanikus - fényzár (37, 40, 43) van. 11. Az előző igénypontok bármelyikében meghatározott berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a koherens sugárforrás (1) után az egységes sugárútban - például elektromechanikus - fényzár (3) van. 5 rajz, 5 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és jogi Könyvkiadó igazgatója 784686 - Zrínyi Nyomda 6
