172499. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés fotomaszkok ellenőrzésére kivonásos eljárással
172499 Nemzetközi osztályozás: G 03 F 1/00. G 03 H 1/04
/
172499 Nemzetközi osztályozás: G 03 F 1/00. G 03 H 1/04