172253. lajstromszámú szabadalom • ION-GETTER szivattyúberendezés
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 172253 Bejelentés napja: 1976. VII. 16. (II—242) Elsőbbsége: Bulgária 1975. VII. 17. (30 561) Nemzetközi osztályozás: H 01 J 41/12 Közzététel napja: 1978.1. 28.ORSZÁGOS 1 ' 1 ' TALÁLMÁNYI 1 v ív-í ) HIVATAL Megjelent: 1979. V. 31. u.i Feltalálók : Grigorov Grigorii Jossifov fizikus, Szófia, Zazov Konstantin Konstantinov oki. mérnök, Szófia, Drajeva-Grigorova Liljana Ivanova fizikus. Szófia, Bulgária Tulajdonos: Institut po Elektronika, Szófia, Bulgária ION-GETTER szivattyúberendezés 1 2 A találmány tárgya ion-getter szivattyúberendezés, amely mind az alapkutatásoknál, mind az alkalmazott kutatási ágakban, pl. a fizika, a fizika-kémia, az űrkutatás stb., valamint a mikroelektronikai, a vákuum-fémkohászati, a villamos vákuumszigetelési technológiák S során, fémek és más anyagok megmunkálása során alkalmazható. Már ismeretes egy olyan ion-getter szivattyú, amelynél az ionizációt egy ún. „Orbitron” típusú elektronikus rendszerrel végzik, míg a szublimálást elektronágyúzás- 10 sál valósítják meg. A berendezés szerkezete egy vagy két hajcsat alakú elektronforrással rendelkezik, amely egy olyan hengeres tok alsó részén van elhelyezve, amelynek közepében tengelyirányban rúd alakú anód-szublimátor van elrendezve. Az anód-szublimátoron hengeres alakú 15 getteranyag van, amelynek átmérője jelentősen nagyobb, mint az anód-szublimátor átmérőjének mérete. A tulajdonképpen fűtött katódot alkotó hajcsat alakú elektronforrás és az anód-szublimátor között egy árnyékolóernyő van elhelyezve, amely megakadályozza, hogy az 20 elektronok közvetlenül az anód-szublimátorra ráeshessenek. Ezen ismert berendezés hátránya az, hogy rendkívül bonyolult szerkezetű, igen kicsi az ionizációs hatásfoka, kicsi a getteranyag-készlete, az anód-szublimátor sza- 25 bálytalanul fogy, végül pedig azért hátrányos, mert nagy nyomás alatt igen nehezen indítható. Ion-getter szivattyúzás részére egy másik berendezés is ismeretessé vált. Ezt részletesebben a bolgár 14 354 sz. szerzői tanúsítvány ismerteti. Ennél a megoldásnál egy 30 hengeres anód-szublimátort alkalmaznak, amely egy kör alakú elektronforrás körül koncentrikusan helyezkedik el. Az elektronforrás alatt és az anód-szublimátor fölött megfelelő távolságban egy alsó és egy felső lapos reflexiós elektróda van elhelyezve. Az egész berendezés egy fémházban van elrendezve, amely egy axiális irányú mágneses térben helyezkedik el. Ezen utóbb említett berendezés hátránya abban van, hogy a 10 2 Pa nyomásértéknél nagyobb nyomásnál igen nehezen indítható, az anód-szublimátor szabálytalanul fogy, igen kis getteranyag-készlettel rendelkezik az anód-szublimátor és a felső reflexiós elektróda közötti távolság következtében. Célunk, hogy olyan ion-getter szivattyúberendezést javasoljunk, amelynek az ismert berendezésekhez képest viszonylag nagyobb getteranyag-készlete van, amelynél az anód-szublimátor egyenletesen fogy, és amely 10 2 Pa nyomásértéknél nagyobb nyomáson könnyen indítható. A feladatot a találmány szerint oly módon oldjuk meg, hogy az ion-getter szivattyú alsó reflexiós elektródáját üreges henger alakjában készítjük el, amelynek alapját (alsó részén) egy lap nyílásán rögzítjük. Az elektronforrás az alsó reflexiós elektróda üreges hengerét körülfogja, míg az anód-szublimátor alapja (alsó része) több mint kétszer kisebb, mint magassági mérete. Az alsó reflexiós elektróda lapja és a felső reflexiós elektróda közötti távolság 70 mm-nél nagyobb. A találmány szerinti ion-getter szivattyúberendezés előnyei főként azzal jellemezhetők, hogy igen olcsó az 172253 1
