172253. lajstromszámú szabadalom • ION-GETTER szivattyúberendezés
3 172253 4 előállítása, rendkívül megbízható üzemű és az ionszivattyúzás meglepően nagy sebességű. Egy formáló reflexiós elektróda behelyezése lehetővé teszi, hogy az anód-szublimátor hosszúságát megnöveljük, miáltal a getteranyag-készletet 10—15 g-ra növelhetjük, míg a kémiailag aktív gázok szivattyúzásának sebességét egy inert anyagból készült fal által megnövelt felület következtében jelentősen gyorsíthatjuk. A találmány példa szerinti kiviteli alakját részletesebben rajz alapján ismertetjük. Amint a rajzon látható, a találmány szerinti ion-getter szivattyúberendezés 1 házzal rendelkezik, egy alsó 2 reflexiós elektródája van, amely utóbbi egy üreges 21 hengerből és egy 22 lapból áll, továbbá egy 3 elektronforrása, egy 4 anód-szublimátora, egy felső 5 reflexiós elektródája és egy 6 elektromágnese van. A 4 anód-szublimátor alapjának átmérője 5—10 mm, magassága 10—60 mm. A 4 anód-szublimátor egy 15— 40 mm átmérőjű elektronsugár fölött helyezkedik el. A 3 elektronforrás egy alsó 2 reflexiós elektródára van szerelve, amely a villamos teret formáló elektróda szerepét tölti be. Ez utóbbi egy 15—25 mm alapátmérőjű hengerből van kialakítva. A henger magassága 6—12 mm között váltakozik, alaplapja pedig a 22 lap nyílásához van rögzítve. A 2 reflexiós elektróda 22 lapja és a 4 anód-szublimátor alapja közötti távolság 20—40 mm, míg a 3 elektronsugár legalsó pontjáig a távolság 3—12 mm nagyságú. A 4 anód-szublimátor fölött egy felső 5 reflexiós elektróda van elhelyezve, amennyiben az 5 reflexiós elektróda és az alsó 2 reflexiós elektróda 22 lemeze közötti távolság nagyobb, mint 70 mm. A fent leírt rendszer egy olyan 1 házban van elhelyezve, amelynek falai lehűthetőek, és amely.egy 6 elektromágnessel van körülvéve. A 4 anód-szublimátor és a 3 elektronforrás között 5000—10 000 V potenciálkülönbség van. A 3 elektronforrás szolgáltatja a pozitív gyorsítási potenciált, amely 400—700 V feszültségű, míg az 1 ház falai földelve vannak. Ezen 400—700 V gyorsítási potenciálnál az ionszivattyúzás sebessége a maximális hatásfokú. A 6 elektromágnes tengelyirányban konstans mágneses teret hoz létre. Ennek értéke 0,01—0,024 T. A találmány szerinti berendezésben végbemenő fizikai folyamatok a következők : A 3 elektronforrásról érkező elektronok a szuperponált villamos és mágneses tér hatására a felső 5 reflexiós elektróda irányában rendeződnek, ahonnan sokszoros oszcillálás után az őket körülvevő felület tangensének irányában az anód-szublimátorra csapódnak be. Az alsó 2 reflexiós elektróda alakja és méretei, az ezen elektróda és a 3 elektronsugár közötti távolság, valamint a 4 anód-szublimátorhoz mért távolság lehetővé teszi, hogy az elektronok a 4 anód-szublimátor teljes felületét egyenletesen szórják be, valamint egy mágnestér jelenléte esetén — beleértve az indítást — 5 normális üzemi körülményeket tesz lehetővé. Amint az elektronok energiájukat leadják, az egész környező felületet felmelegítik, és eközben az 1 ház lehűtött falaira getteranyag csapódik le. Az oszcilláló elektronok kötege a maradék gázokat ionizálja. A nem állandó viszonyok 10 miatt, amelyek az alsó és felső 5 és 2 reflexiós elektródák között létrejött mágneses tér és a gyorsító potenciál következtében jönnek létre, az ionok az 1 ház falai irányában rendeződnek és ott a szakaszosan lecsapódó getteranyagba beépülnek. A lecsapódó getterréteg a 15 kémiailag aktív gázokat akkor köti le, ha azok a fent leírt módon a vákuumtérből eltávoznak. A találmány szerinti berendezés működésének módja a következő : A berendezés akkor indul, ha a nyomás értéke kisebb, 20 mint 1 Pa. Ez akkor következik be, ha a 4 anód-szublimátor pozitív nagyfeszültséget kap, és az emisszió egyenletes növekedésével a getteranyagot elgőzölögtetjük. A rendszernek ekkor nincs mágnestere és a 3 elektronsugár földelve van. A gázok kiszivattyúzását ilyenkor 25 tisztán szublimálással végezzük. Amint a nyomás 5,10_s Pa értékű lesz, mind a gyorsító feszültséget, mind az axiális irányú mágnesteret létrehozzuk. Ekkor mind szublimált, mind ionszivattyú-gázokat kapunk, és így a berendezés „normál” üzemi viszonyok között 30 üzemel. Az a nyomás-határérték, amelyet elérhetünk, mindenkor a getteranyag tisztaságától függ. Ennek figyelembevételével 10~5 Pa nyomásérték is elérhető. 1 Pa nyomásérték esetén a berendezés 10—15 percen belül indítható. 35 Szabadalmi igénypont Ion-getter szivattyúberendezés, amelynek üreges hen- 40 ger alakú háza van, amelynek tengelye irányában egymástkövetően egy alsó reflexiós elektróda, egy gyűrű alakú elektronforrás, egy henger alakú anód-szublimátor és egy felső reflexiós elektróda van elhelyezve, és hogy a ház kívülről konstans mágnesteret létrehozó 45 elektromágnessel van körülvéve, azzal jellemezve, hogy az alsó reflexiós elektróda (2) alakja üreges henger (21), amelynek alapja egy lemezhez (22) van rögzítve, és hogy az elektronforrás (3) az üreges hengert (21) körbefogja, míg az anód-szublimátor (4) alapja kétszer kisebb* 50 mint annak a magassági mérete; és hogy a lemez (22) és a felső reflexiós elektróda (5) közötti távolság 70 mm-nél nagyobb. 1 rajz* 1 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 79.6715.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató 2
