171618. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés rétegvastagság mérésére

171618 10 és a hordozó (1) szabad felületéhez csatlakoztatott hőnyelő - adott esetben a környezet - alkotják. 15. A 14. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a jelkiértékelő egység (8) oszcilloszkópot és/vagy csúcsdetektort tartalmaz. 16. A 14. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a jelkiértékelő egység (8) a lézersugár impulzus és a szondákon (5,6) levő feszültség csúcsértéke közötti időkésleltetést mérő kapcsolási elrendezést tartalmaz. 17. A 16. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kapcsolási elrendezésnek a szondákhoz (5,6) differenciálótagon (14) át csatlakoztatott nullkomparátora (13) van, amely nullkomparátor (13) kimenete a lézersugár impulzussal együtt indított és órajelgenerátor (18) által léptetett digitális számláló (16) léptetését leállító kapuáramkörhoz (17) van csatlakoztatva. 18. A 14. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a jelkiértékelő egység (8) a szondákhoz (5,6) csatlakoztatott két mintavevő és tartó áramkört (20,21), valamint ezek kimenetére kapcsolt hányadosmérőt (22) tartalmaz. 19. A 14. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a jelkiértékelő egység (8) a szondákhoz (5,6) csatlakoztatott egy mintavevő és tartó áramkört (20,21), továbbá egy csúcsdetektort, valamint ezek kimenetére kapcsolt hányadosmérőt (22) tartalmaz. 20. A 14. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy periodikusan ismétlődő lézersugár impulzust kibocsátó lézersugárforrása (10) van, és a jelkiértékelő egység (8) amplitúdómérőt vagy fázismérőt tartalmaz. 21. A 14. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a jelkiértékelő egység (8) egyik bemenetével - előnyösen erősítőn (11) át- a szondákhoz (5,6) csatlakoztatott fázisdetektort (31), a fázisdetektor (31)" kimenetére csatlakoztatott feszültség-frekvencia átalakítót (30) és a feszültség-frekvencia átalakító (30) kimenetére kapcsolt frekvenciamérőt (33) tartalmaz, amely feszültség-frekvencia átalakító (30) kimenete továbbá egyrészt a fázisdetektor (31) másik bemenetére, másrészt a lézersugárforrás (10) impulzusvezérlő bemenetére van csatlakoztatva. 22. A 12. vagy 13. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy stacionárius hőáramot létrehozó eszközei vannak, és a jelkiér-25 tékelő egység a szondákhoz (5,6) csatlakoztatott egyenfeszültségmérőt tartalmaz. 10 15 20 4 rajz, 7 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 784524 - Zrínyi Nyomda