171618. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés rétegvastagság mérésére

171618 Nemzetközi osztályozás: G 01 B 7/06, G 01 N 25/32 h-X r f? / 6 \ T0 % 7. a bra r i_ -15 11 12 hr

^' 1— /7 » i —' V 78 Í6 V, J 70 2 V 5. ábra