170862. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára
7 8 170862 Nemzetközi osztályozás: G 01 N 27/02 G 01 N 27/50 43 FIG.1 2 X h vb r-\ 7 Ih 8 2 FIE.2 tíz T: 5
/
