170862. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára
170862 Nemzetközi osztályozás: G 01 N 27/02 G 01 N 27/50 Ä 7 Js r" —t—--^-~\ -,M 10 'u | \y *4AA/V—o ! x /4 r ^ i L. £ 6 18 i—VVir-1 1^/jiX^ 4 7" r/ZF.j rJi^f i X\y/: l >-^ _J /<?> 11 7" /7£.5
/
