170862. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára
170862 Nemzetközi osztályozás: G 01 N 27/02 G 01 N 27/50 r~ !r r^vj T^fc 7 & f4 JT-s i ' •_] y -25 «•_ . -'// ?^" /7Z7.£ í r____Z____^~_f=«#\|| 'll J> -ll i_ ^s— iiii'i— _ 'S— i # $ r%[í _^ /•/£.*
/
