170862. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszközök és integrált áramkörök jóságának vizsgálatára
170862 Nemzetközi osztályozás: G 01 N 27/02 G 01 N 27/50 vi 1 32 •33 t* * 4, "T is x \$ 30 \. r-VW-i' r\s ! 5 \ M 37 % FIG. a ,3 l-VVV-ii f-\Wv—\ Iß FIE. ID \-JJ i =m.r ÜS\ Wr^ 13% '11 \ 17 5 •ts ;/-J FIE. 11
/
