170805. lajstromszámú szabadalom • Eljárás IG-FET tranzisztorok előállítására

170805 Nemzetközi osztályozás: H 01 L 29/78 N-Si rejfef 5i02 KN.HNW<IH.K^hJ^ U1NTV7T SSSZSHÍSESSSES Hmsmssmzs Essmszssa. JCAAXX ' ' | 777777; m/smiJM///////////^ M, 7777777, 7\smr&//////////////////A idoppolt S\0z -SiOo T> SS ^s ZZzX P-Si P-Si rejteti- SiOz' N-Si N-Si Z. ábra