170805. lajstromszámú szabadalom • Eljárás IG-FET tranzisztorok előállítására

170805 Nemzetközi osztályozás: H 01 L 29/78 0 SiOi '/////s /jj/s/js/s/s; /'$/ //;///?; s////// 777777y ;;;;;; s ; ; / ; ; ; ; / / / /-rr-r ¥77777. -poli Si '97777? J>JSSS/SS/J>S /yffi > Js 77-7-7*//////. f Y////A -Si02 P-Si " "' ^oliS, W777Z P-Si N-Si SiOz i ábra