170529. lajstromszámú szabadalom • Eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotorezisztek megvilágosításához használatos, ezüsthalogenid- alapú filmek kétlépéses gyengítésére

170529 3. példa 15-25 C -on az kezeljük: alábbi i összetételű fürdőben utó-Ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megv ilágításához felnátriumtioszulfát 10 g/liter használandó, ezüst-halogenid-alapú filmet 15-25 5 nátriumoxalát 0,82 g/liter C°-on az alábbi összetételű fürdőben gyengítünk: tiokarbamid 0,56 g/liter káliumhidroxid 1,11 g/liter kálium-hexaciano-ferrát(HI) 110 g/liter káliumbromid 15 g/liter Világos sárgásbarna, ; átlátszó filmet kapunk. nátriumtioszulfát 5 g/liter 10 nátriumszulfit 2 g/liter ammóniumhidroxid 5 g/liter 6. példa Az így kezelt filmet 15-20 percig desztillált Az 1. példában ismertetettel azonos összetételű, vízzel vagy folyó csapvízzel öblítjük, majd 15

azonban ammoniumhidroxidot nem tartalmazó für-15-25 C°-on az alábbi összetételű fürdőben utó- dőt használunk fel. E fürdőben a gyengítés körülkezeljük: belül 15 perc alatt megy végbe. nátriumtioszulfát nátriumoxalát tiokarbamid káliumhidroxid 70 g/liter 0,86 g/liter 0,54 g/liter 1,15 g/liter Világos sárgásbarna, átlátszó filmet kapunk. 4. példa 20 7. példa A 4. példában ismertetettel azonos összetételű fürdőben gyengített filmeket a 4. példában megadottal egyébként azonos összetételű, azonban nát-25 riumtioszulfátot nem tartalmazó fürdőben utókezeljük. Feketére színeződött, átlátszatlan filmet kapunk. Ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megvilágításához fel- 30 8. példa használandó, COS-7 minőségű filmet cseppgyengítés céljából 15-25 C°-on az alábbi összetételű fürdővel kezelünk. káliumhexaciano-ferrát(III) káliumbromid ammóniumhidroxid 110 g/liter 15 g/liter 5 g/liter 35 A 4. példában ismertetettel azonos összetételű fürdőben gyengített filmeket a 4. példában megadottal egyébként azonos összetételű, azonban nátriumtioszulfátot és nátriumoxalátot nem tartalmazó fürdőben utókezeljük. Feketére színeződött, átlátszatlan filmet kapunk. Az így kezelt filmet 15-20 percig desztillált vízzel vagy folyó csapvízzel öblítjük, majd 40 9. példa 15 25 C°-on az alábbi összetételű fürdőben utókezeljük: nátriumtioszulfát nátriumoxalát tiokarbamid káliumhidroxid Sötétbarna, átlátszó filmet kapunk. A 4. példában ismertetettel azonos összetételű fürdőben gyengített filmeket a 4. példában meg-30 g/liter adottal egyébként azonos összetételű, azonban nát-0,82 g/liter 45 riumtioszulfátot és tiokarbamidot nem tartalmazó 0,56 g/liter fürdőben utókezeljük. Vöröses árnyalatú, átlátszat -1,11 g/liter lan filmet kapunk. 50 Szabadalmi igénypontok: 5. példa Ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megvilágításához felhasználandó, AGFA Gaewert minőségű filmet cseppgyengítés céljából 15—25 C°-on az alábbi összetételű fürdővel kezelünk: kálium-hexaciano-ferrát(lll) káliumbromid ammóniumhidroxid 110 g/liter 15 g/liter 5 g/liter 55 60 Az így kezelt filmet 15-20 percig desztillált vízzel vagy folyó csapvízzel öblítjük, majd 65 1. Eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotorezisztek megvilágításához használatos, ezüsthalogenid-alapú filmek kétlépéses gyengítésére, azzal jellemezve, hogy a filmet 20 -130 g/liter kálium-hexaciano-ferrát(III)-ot, 10 - 20 g/liter kálium bromid ot, 0,5- 10 g/liter ammoniumhidroxidot, továbbá adott esetben 5—6 g/liter nátriumtioszulfátot és/vagy 1 — 3 g/liter nátriumszulfitot tartalmazó oldatban 15-25 C°-on gyengítjük, majd a filmet vizes öblítés után 3