170529. lajstromszámú szabadalom • Eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotorezisztek megvilágosításához használatos, ezüsthalogenid- alapú filmek kétlépéses gyengítésére

7 170529 8 7 - 75 g/liter nátriumtioszulfatot, 1,1- 1,2 g/liter káliumhidroxidot, 0,5- 0,6 g/liter tiokarbamidot és 0,8- 0,9 g/liter nátriumoxalátot tartalmazó oldatban 15-25 C°-on utókezeljük, (Elsőbbsége: 1976. április 26.) 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a gyengítéshez 20 - 50 g/liter kálium-hexaciano-ferrát(III)-ot, 10 — 20 g/liter káliumbromidot. 5 - 6 g/liter nátriumtioszulfatot, 1 - 3 g/liter nátriumszulfitot és 0,5 - 10 g/liter ammóniumhidroxidot, az utókezeléshez pedig 5 65 — 75 g/liter nátriumtioszulfatot, 1,1- 1,2 g/liter káliumhidroxidot, 0,5— 0,6 g/liter tiokarbamidot és 0,8- 0,9 g/liter nátriumoxalátot 10 tartalmazó oldatot használunk fel. (Elsőbbsége: 1974. szeptember 10.) 4 A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 774321 - Zrínyi Nyomda