170529. lajstromszámú szabadalom • Eljárás ultraibolya fényre érzékeny fotorezisztek megvilágosításához használatos, ezüsthalogenid- alapú filmek kétlépéses gyengítésére

3 170529 4 25 30 5-6 g/liter nátriumtioszulfátot és/vagy 1 - 3 g/liter nátriumszulfitot tartalmazó oldatban 15-25 C°-on gyengítjük, majd a filmet vizes öblítés után 5 7-75 g/liter nátriumtioszulfátot, 1,1- 1,2 g/liter káliumhidroxidot, 0,5- 0,6 g/liter tiokarbamidot és 0,8- 0,9 g/liter nátriumoxalátot tartalmazó oldatban 15—25 C°-on utókezeljük, 10 olyan filmet kapunk, amelynek emulziórétege használat során az ultraibolya sugarak hatására nem repedezik meg és nem sötétedik vissza. A találmány szerinti eljárás további előnye, hogy az alapfilm elkészítésének paramétereitől és egyéb jellem- 15 zőitől függetlenül mindenféle filmre azonosan alkalmazható, így nincs szükség arra, hogy az egyes filmtípusok esetén kísérletileg meghatározzuk a szükséges gyengítési időt. Mindezek az előnyök annak tulajdoníthatók, hogy a fenti összetételű 20 gyengítő oldatban túlgyengítés egy széles időintervallumon belül nem következik be, és az utólagos színezés során a kigyengített emulziórétegek a film sajátságaitól függetlenül teljesen egyenletesen színeződnek el. A fenti kedvező jellemzők egyrészt annak tulajdoníthatók, hogy a gyengítés első lépésében ammónium-hidroxidot és viszonylag nagy mennyiségű kálium-hexaciano-ferrátot tartalmazó oldatot használunk fel. A kálium-hexaciano-ferrát nagy koncentrációja gyors komplexképzést biztosít, a jelenlevő ammóniumhidroxid pedig tovább fokozza a komplexképzés előtt lezajló oxidáció és az azt követő komplexképzés sebességét. Ennek megfelelően a gyengítés a találmány szerinti összetételű 3S oldatot alkalmazva 1-2 perc alatt lezajlik. Ugyanez a folyamat a hagyományos, ammóniumhidroxidot egyálialán nem tartalmazó, kis kálium-hexaciano-ferrát-koncentrációjú gyengítő oldatok esetén körülbelül 15-20 percet igényel, amely idő alatt a filmben levő zselatin nagymértékben károsodik, és ez a film további felhasználhatóságát jelentősen rontja. Az utókezelés alkalmával a zselatin-rétegben kialakult, teljesen egyenletes és finom eloszlású ezüstkomplex egy része a nátriumtioszulfát hatására kioldódik, míg a zselatin-rétegben maradt, egyenletes eloszlású komplex másik része ultraibolya fényben fekete, látható fényben azonban átlátszó, sárgás-barnás színű ezüstvegyületeket (feltehetően ezüstszulfidot és ezüstoxalátot) képez. Minthogy e vegyületek kis koncentrációban és kolloid méretű szemcsék alakjában vannak jelen, az eredetileg látható fényben is fekete zselatin-réteg áttetszővé válik. Vizsgálataink szerint ez a hatás csak nátriumtioszulfát jelenlétében biztosítható, ab- 55 ban az esetben ugyanis, ha az utókezeléshez felhasznált oldatban káliumhidroxidon kívül csak tiokarbamidot vagy csak nátriumoxalátot használunk fel, átlátszatlan fekete vagy vörös szín képződik, a tiokarbamid és nátriumoxalát együttes felhasználásakor pedig szintén átlátszatlan, fekete filmet kapunk. Cseppgyengítés esetén célszerűen a megadott felső koncentrációhatárhoz közel eső (például 100-120 g/liter) mennyiségű kálium-hexaciano-ferrát(IH)-ot tartalmazó gyengítőfürdőt alkalmazunk, míg az utókezelő fürdőben a nátriumtioszulfát mennyiségét a kezelendő film anyagi minőségétől függően változtatjuk a megadott határokon belül. COS-7 minőségű filmek cseppgyengítése esetén célszerűen 30-40 g/liter nátriumtioszulfátot, AGFA Gaewert minőségű filmek cseppgyengitésekor pedig célszerűen 10-15 g/liter nátriumtioszulfátot tartalmazó utókezelő fürdőt használunk fel. Cseppgyengítéskor az utókezelőfürdővel végzett kezelés idejét a film anyagi minőségétől és az ezüstemulzió rétegvastagságától függően változtatjuk. A kezelési idő rendszerint 1-5 perc, ezen belül az AGFA Gaewert minőségű filmek rövidebb, a COS—7 minőségű filmek hosszabb kezelési időt igényelnek. A találmány szerinti eljárást az oltalmi kör korlátozása nélkül az alábbi példákban ismertetjük. 1. példa Ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megvilágításához felhasználandó, ezüsthalogenid-alapú filmet 15-25 C°-on az alábbi összetételű fürdőben gyengítünk: 40 50 60 kálium-hexaciano-ferrát(III) káliumbromid nátriumtioszulfát nátrium szulfit ammóniumhidroxid 40 g/liter 15 g/liter 5 g/liter 2 g/liter 4 g/liter Az így kezelt filmet 15-20 percig desztillált vízzel vagy folyó csapvízzel öblítjük, majd 15—25 C°-on az alábbi összetételű fürdőben utókezeljük: nátriumtioszulfát 70 g/liter nátriumoxalát 0,86 g/liter tiokarbamid 0,54 g/liter káliumhidroxid 1,15 g/liter Világos sárgásbarna, átlátszó filmet kapunk. 45 2. példa Ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszttel bevont nyomtatott áramkörök megvilágításához felhasználandó, ezüsthalogenid-alapú filmet 15-25 C°-on az alábbi összetételű fürdőben gyengítünk: kálium-hexaciano-ferrát(HI) káliumbromid ammóniumhidroxid 40 g/liter 15 g/liter 4 g/liter Az így kezelt filmet 15-20 percig desztillált vízzel vagy folyó csapvízzel öblítjük, majd 15—25 C°-on az alábbi összetételű fürdőben utókezeljük: nátriumtioszulfát nátriumoxalát tiokarbamid káliumhidroxid 70 g/liter 0,86 g/liter 0,54 g/liter 1,15 g/liter 65 Világos sárgásbarna átlátszó filmet kapunk. 2