169943. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű elektronikai elem és eljárás az elem rétegei közötti átvezetőréteg kialakítására
169943 11 12 kenyítőt tartalmazó oldatba merítettük. Az oldat az alábbi vegyületeket tartalmazta: SnCl2 • 2H 2 0 3- 10 _1 mól/l, 5 HCl 1 mól/l. 0 Az oldat hőmérséklete 25 C volt és a többrétegű elemet 2 percig tartottuk benne. A többrétegű elem rétegeit összekötő átvezető- 10 -fémréteg kialakításának lépései pontosan megegyeztek az 1. példában ismertetett lépésekkel, az érzékenyítőt tartalmazó oldattal történt kezelés azonban a palládium-vékonyréteg kialakulásának sebességét mintegy 10-szeresére növelte. 15 3. példa 3,5 mm vastag többrétegű vezetőlapot kezeltünk. 20 A többrétegű elem 480 x 320 mm méretű volt, és 16 kapcsolórétegből állt. Az elem 3000 darab 0,8 mm átmérőjű furattal volt ellátva. A vezetőlapot alkotó rétegek nem voltak azonos vastagságúak, azonban a furatok fala körül olyan rézre- 25 tegek is voltak, amelyek a kapcsolórétegekhez nem csatlakoztak, és csupán érintkező homlokfelületeket biztosítottak. Ily módon a furatok falában egyenletesen követték egymást 0,035 mm vastag rézréteg homlokfelületek és 0,5 mm vastag dielektromos ré- 30 teg homlokfelületek. A dielektromos rétegeket üvegepoxid alkotta. A többrétegű elemet a 2. példában ismertetett, érzékenyítő elemet tartalmazó oldatban kezeltük, majd folyóvízzel lemostuk. Ezt követően az elemet 35 olyan oldatba helyeztük, amely az alábbi vegyületeket tartalmazta: AgN03 5 • 10 "2 mól/l, NH4 0H 7 mól/l. 40 Az oldatot 20 C hőmérsékleten tartottuk, és a többrétegű elemet akkor vettük ki belőle, amikor zárt ezüst-vékonyréteg alakult ki rajta. Az ezüst-vékonyréteg a rézrétegek homlokfelületén porózus 45 szerkezetű, a dielektromos rétegek felületén monolitikus szerkezetű volt. Miután a többrétegű elemet ebből az oldatból kivettük, lemostuk, majd újabb oldatba helyeztük. Ez az oldat az alábbi vegyületeket tartalmazta: 50 Hg(N03 ) 2 0,01 mól/l, H2 S 4 0,1 mól/l. Az oldat hőmérséklete 25 C° volt, és a kezelést 55 25 másodpercig végeztük. A többrétegű elem furataiban a kezelés eredményeképpen higany-vékonyréteg rakódott a többrétegű elem dielektromos rétegeinek homlokfelületein kialakult monolitikus ezüst-vékonyrétegre, a fémrétegeknek megfelelő he- 60 lyeken viszont a porózus ezüstréteg a rézrétegek felületéről levált. A furatok falán ezután az 1. példában ismertetett módon rézréteget alakítottunk ki, hogy a folyamatos átvezető-fémréteg kialakuljon. Ez a réteg a furatok falát alkotó réz 65 homlokfelületekkel együtt egységes réteget képezett, amely a rézrétegeknél kialakult bordás részek következtében az egész többrétegű elem járulékos megszilárdítását eredményezte. 4. példa Az 1. példában ismertetett többrétegű elemet olyan oldatba merítettük, amely az alábbi vegyületeket tartalmazta: Hg(N03 ) 2 10 -3 mól/l, H2SO4 10-2 mól/l. A többrétegű elemet mintegy 20 másodpercig tartottuk a fenti oldatban és ezalatt a 10;u vastagságú higany-vékonyréteg alakult ki. Ezután a többrétegű elemet az 1. példában ismertetett, palládium-vékonyréteg kialakítására alkalmas oldatba merítettük. A palládium-vékonyréteget ezúttal ultrahang alkalmazása mellett alakítottuk ki. Az oldatot tartalmazó fürdőben az ultrahangot magnetostrikciós oszcillátor segítségével állítottuk elő. A berendezés paraméterei az alábbiak voltak: rezgési frekvencia 18 kHz, előmágnesező áramerősség 18 A, anódfeszültség 4,5 kV, kimenőfeszültség 250-280 V. Az ily módon végzett kezelés eredményeképpen a furatok falán zárt, egyenletes villamosan vezető vékonyréteg alakult ki. A vékonyréteg kialakulásának ideje megegyezett az 1. példában ismertetettel. A vékonyréteg vastagsága az 1. példában ismertetettnek mintegy ötöd része volt. A többrétegű elem további kezelését az 1. példában ismetetett módon végeztük. 5. példa Az 1. példában bemutatott többrétegű elemet a fémrétegek és a dielektromos rétegek homloklapjaira felvitt átvezető-fémréteggel olyan oldatba merítettük, amely az alábbi vegyületeket tartalmazta: H2 0 2 1 mól/l, H2 S0 4 10-' mól/l. Az oldatban történő kezelést a 4. példában ismertetett módon ultrahang alkalmazása mellett végeztük. Ennek eredményeképpen a rézrétegek homlokfelületein kialakult porózus rétegek rendkívül egyenletesen eltávolítothatók voltak. Az eltávolítás ideje ugyanakkor 5 másodpercre csökkent. Az elektrolitikus bevonat felhordása ugyancsak az 1. példában ismertetett módon történt. 6. példa 100x100 mm métetű többrétegű elemet kezeltünk, amely váltakozva elhelyezett 0,035 mm vastag rézrétegekből és 1 mm vastag kerámiából kiala-6
